KR20190031450A - Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 59
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 title abstract 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 140
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 claims abstract description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 107
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 69
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 claims description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 43
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 29
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 21
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 claims description 20
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 15
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 claims description 14
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 9
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 9
- 239000002952 polymeric resin Substances 0.000 claims description 8
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 8
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 claims description 8
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 claims description 7
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 6
- 239000005060 rubber Substances 0.000 claims description 6
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 5
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 4
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 23
- 230000002596 correlated effect Effects 0.000 abstract 1
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 147
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 53
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 19
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 17
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 15
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 13
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 10
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 10
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 10
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 8
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 5
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 5
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 4
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 4
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 4
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 3
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 3
- 238000005382 thermal cycling Methods 0.000 description 3
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 230000001788 irregular Effects 0.000 description 2
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 2
- 239000000047 product Substances 0.000 description 2
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 238000010923 batch production Methods 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000001010 compromised effect Effects 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 1
- 230000002939 deleterious effect Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 238000005401 electroluminescence Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 1
- 238000004062 sedimentation Methods 0.000 description 1
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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-
- H01L33/12—
-
- H01L33/005—
-
- H01L33/20—
-
- H01L33/44—
-
- H01L33/48—
-
- H01L33/54—
-
- H01L33/56—
-
- H01L33/58—
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/50—Assembly of semiconductor devices using processes or apparatus not provided for in a single one of the groups H01L21/18 - H01L21/326 or H10D48/04 - H10D48/07 e.g. sealing of a cap to a base of a container
- H01L21/56—Encapsulations, e.g. encapsulation layers, coatings
- H01L21/568—Temporary substrate used as encapsulation process aid
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/02—Bonding areas; Manufacturing methods related thereto
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- H01L2224/04105—Bonding areas formed on an encapsulation of the semiconductor or solid-state body, e.g. bonding areas on chip-scale packages
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/01—Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/18—High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
- H01L2224/19—Manufacturing methods of high density interconnect preforms
-
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- H01L2224/00—Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
- H01L2224/93—Batch processes
- H01L2224/95—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips
- H01L2224/96—Batch processes at chip-level, i.e. with connecting carried out on a plurality of singulated devices, i.e. on diced chips the devices being encapsulated in a common layer, e.g. neo-wafer or pseudo-wafer, said common layer being separable into individual assemblies after connecting
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12041—LED
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- H01L2933/0033—
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Abstract
Description
본 발명은 발광 디바이스(light emitting diode (LED) device) 및 그 제조방법에 관한 것으로 특히 칩 스케일 패키지 발광 다이오드(LED) 디바이스에 관한 것으로서 동작 중에 광 방사(optical radiation)를 발생시키는 플립칩 LED 반도체 다이(flip-chip LED semiconductor die)를 포함한다.The present invention relates to a light emitting diode (LED) device and a method of manufacturing the same. More particularly, the present invention relates to a chip scale package light emitting diode (LED) device and a flip chip LED semiconductor die (flip-chip LED semiconductor die).
LED는 교통 신호등, 백라이트 유닛, 일반 조명, 휴대용 디바이스, 자동차 조명 등과 같은 다양한 응용에서 광범위하게 사용된다. 일반적으로 LED 반도체 다이는 리드 프레임(lead frame)과 같은 패키지 구조 내부에 배치되어 패키지 LED 디바이스를 형성한다. LED 반도체 다이는 형광체 변환 백색 LED 디바이스(phosphor-converted white LED device)를 형성하기 위해 추가로 배치되어 형광체와 같은 축광 물질에 의해 커버될 수 있다. LEDs are widely used in a variety of applications such as traffic lights, backlight units, general lighting, portable devices, and automotive lighting. Typically, an LED semiconductor die is disposed within a package structure, such as a lead frame, to form a package LED device. The LED semiconductor die may be further disposed to form a phosphor-converted white LED device and covered by a phosphorescent material such as a phosphor.
최근 칩스케일 패키지(CSP) LED 디바이스의 개발은 훌륭한 이점들 때문에 더 많은 관심을 모았다. 일반적인 예로서, 백색광 CSP LED 디바이스는 일반적으로 청색광 LED 반도체 다이와 소형 칩스케일 크기의 LED 반도체 다이를 커버하는 축광 구조로 구성된다. 청색 LED 반도체 다이는 전형적으로 상면 및 네 개의 주변 가장자리 면들에서 동시에 청색광을 방출하는 플립칩 LED 다이다. 네 개의 주변 가장자리 면들뿐만 아니라 상면에서 방출되는 청색광의 파장을 저역 변환(down-convert)시키기 위해 축광 구조가 배치되어 LED 반도체 다이를 커버한다. 축광 구조를 통과한 후에 청색광의 일 부분은 더 높은 파장(더 낮은 에너지)광으로 변환되어 다른 파장 스펙트럼을 가진 상기 광은 다음 목표 색 온도 백색 광을 발생시키기 위해 이후에 기 설정된 비율로 혼합된다. 균일하게 청색광을 변환시키는 목적을 달성하기 위해 축광 구조는 상면 및 네 개의 주변 가장자리 면들 위에 있는 축광 물질의 동일한 두께 및 동일한 분포 밀도를 포함하는 것, 이른 바, 축광 구조의 컨포멀 코팅층(conformal coating layer)을 형성하는 것이 바람직하다.Recent developments in chip scale package (CSP) LED devices have attracted more attention due to their excellent benefits. As a general example, a white light CSP LED device typically consists of a phosphorescent structure that covers a blue light LED semiconductor die and a small chip scale sized LED semiconductor die. A blue LED semiconductor die is typically a flip chip LED that emits blue light at the top and four peripheral edge sides simultaneously. A phosphorescent structure is disposed to cover the LED semiconductor die to down-convert the wavelengths of the blue light emitted from the top surface as well as the four peripheral edge surfaces. After passing through the phosphorescent structure, a portion of the blue light is converted to a higher wavelength (lower energy) light and the light having a different wavelength spectrum is mixed at a later predetermined rate to generate the next target color temperature white light. To achieve the goal of uniformly converting blue light, the phosphorescent structure comprises the same thickness and the same distribution density of the phosphorescent material on the top and four peripheral edge faces, so to speak, the conformal coating layer ) Is preferably formed.
표면 실장형(PLCC) LED 디바이스와 비교해 보면, CSP 발광 디바이스는 다음과 같은 이점들을 나타낸다. (1) 본딩 와이어(bonding wire) 및 리드 프레임을 사용하지 않아 재료비가 상당히 절감된다. (2) LED 반도체 다이와 일반적으로 인쇄 회로 기판(PCB)인 마운팅 기판(mounting substrate) 사이의 열 저항은 그 사이에 리드 프레임의 사용 없이 더 감소된다. 그러므로 동일한 구동 전류에서 LED 동작 온도는 더 낮아진다. 다시 말해, CSP LED 디바이스를 위한 더 많은 광 전력을 얻기 위해 더 적은 전기 에너지가 소비될 수 있다. (3) 더 낮은 동작 온도는 CSP LED 디바이스에 더 높은 LED 반도체 양자 효율을 제공한다. (4) 광원의 훨씬 더 작은 폼 팩터(form factor)는 모듈 레벨 LED 픽스쳐(module-level LED fixture)에 더 많은 설계 유연성을 제공한다. (5) 작은 발광 면적을 가지는 CSP LED 디바이스는 포인트 소스(point source)와 더 유사하므로 2차 광학계(secondary optics) 설계를 더 용이하게 한다. 소형 CSP LED 디바이스는 자동차 전조등과 같은 일부 투사되는 광 응용들에 특정되는 더 높은 광 강도를 가진 작은 에텐듀 광(small-Etendue light)을 발생시키기 위해 설계될 수 있다.Compared to surface mount type (PLCC) LED devices, CSP light emitting devices exhibit the following advantages. (1) Since the bonding wire and the lead frame are not used, the material cost is considerably reduced. (2) The thermal resistance between the LED semiconductor die and a mounting substrate, typically a printed circuit board (PCB), is further reduced without the use of a lead frame in between. Therefore, at the same drive current, the LED operating temperature is lower. In other words, less electrical energy may be consumed to obtain more optical power for CSP LED devices. (3) Lower operating temperatures provide higher LED semiconductor quantum efficiency for CSP LED devices. (4) a much smaller form factor of the light source provides more design flexibility for module-level LED fixtures. (5) A CSP LED device having a small light emitting area is more similar to a point source, thereby making it easier to design a secondary optics. Small CSP LED devices can be designed to generate small-etendue light with higher light intensity that is specific to some projected optical applications such as automotive headlamps.
그러나 CSP LED 디바이스가 많은 이점을 가지고 있더라도 축광 구조 및 LED 반도체 다이 간 접착력은 PLCC 유형 LED 디바이스의 접착력에 비해 상대적으로 약하다. CSP LED 디바이스의 경우 리드 프레임 또는 서브마운트(submount)가 생략될 수 있어서 축광 구조는 리드 프레임 또는 서브마운트와 접촉하는 추가 표면 없이 주로 또는 오직 표면이 LED 반도체 다이와 접촉하게 된다. 그러므로 축광 구조의 접촉 면적은 서브마운트 면적에 대한 추가 접촉 없이 LED 반도체 다이 표면으로만 상대적으로 한정된다. 한정된 접촉 면적은 일반적으로 축광 구조와 LED 반도체 다이 사이의 접촉력을 약화시킨다. 더 나아가 축광 구조 물질(일반적으로 유기 수지 물질로 구성됨)의 열팽창계수(CTE)는 일반적으로 LED 반도체 다이 물질(일반적으로 무기 물질로 구성됨)의 열팽창계수보다 훨씬 더 크다. CSP LED 디바이스를 동작시키는 동안 열 순환 중 명백한 CTE의 불일치는 이러한 두 물질들의 인터페이스들 사이에서 내부 스트레스를 유발할 것이다. LED 반도체 다이에 대한 약한 접착력으로 인해 축광 구조는 LED 반도체 다이에서 쉽게 탈층(delaminated)되고 박리(peeled off)되는 경향이 있다. 축광 구조의 탈층은 CSP 유형 LED 디바이스의 동작 시 주요 CSP 고장 메커니즘들 중 하나다. 이러한 단점은 CSP LED 디바이스의 신뢰도에 영향을 주고 CSP LED 응용에 실질적인 제약이 된다.However, even though the CSP LED device has many advantages, the adhesion between the phosphorescent structure and the LED semiconductor die is relatively weak compared to the adhesion of the PLCC type LED device. In the case of CSP LED devices, the lead frame or submount can be omitted so that the phosphorescent structure comes into contact with the LED semiconductor die primarily or only with the surface without the additional surface contacting the leadframe or submount. Therefore, the contact area of the phosphorescent structure is relatively limited only to the LED semiconductor die surface without further contact to the submount area. The limited contact area generally weakens the contact force between the phosphorescent structure and the LED semiconductor die. Furthermore, the coefficient of thermal expansion (CTE) of a phosphorescent structured material (typically composed of an organic resin material) is generally much greater than the coefficient of thermal expansion of an LED semiconductor die material (typically composed of inorganic materials). The apparent CTE mismatch during thermal cycling while operating the CSP LED device will cause internal stress between the interfaces of these two materials. Due to the weak adhesion to the LED semiconductor die, the phosphorescent structure is easily delaminated and tends to be peeled off from the LED semiconductor die. The phosphorescent delamination is one of the major CSP failure mechanisms in the operation of CSP type LED devices. This disadvantage affects the reliability of CSP LED devices and is a practical limitation to CSP LED applications.
CSP 유형 LED 디바이스의 또 다른 문제점은 낮은 색 균일도다. 낮은 색 균일도를 발생시키는 주요 메커니즘은 두 가지다. 1. 축광 구조의 일정하지 않은 기계 치수 및 2. 하나의 디바이스에서 또 다른 디바이스로 축광 구조 내 조절 불가능한 형광체 입자 분포다. CSP 유형 LED 디바이스를 제조하기 위한 상대 제조 프로세스에서는, 우선 형광체 입자는 형광체 슬러리(phosphor slurry)를 형성하기 위해 바인더 수지 물질 내에서 혼합된다; 그리고 이어서 형광체 슬러리는 몰딩, 스크린 인쇄, 스프레이 등과 같은 방법을 이용하여 축광 구조를 형성하기 위해 LED 반도체 다이 위에 배치된다. 형광체 슬러리가 축광 구조를 형성하기 위해 사용되는 경우 축광 구조의 기하학적 치수의 정확한 조절이 CSP LED 디바이스의 요구되는 상호 색 온도(CCT)를 달성하는 데 바람직하다는 것을 알게 될 것이다. 그러나 대량 생산 제조 프로세스에서 정확하고 균일하게 각각의 축광 구조의 치수를 조절하는 것은 매우 어렵다. 대량 생산 시 축광 구조의 기하학적 치수가 정확하게 조절되더라도 축광 구조 내부의 형광 물질의 입자 분포를 조절하는 메커니즘이 없다. 사실상 형광체 물질의 분포 조절은 CSP LED 디바이스의 CCT와 같은 광 특성을 결정하는 가장 중요한 요인들 중 하나다. 그러므로 축광 구조를 형성하기 위해 LED 반도체 다이의 상면과 네 개의 가장자리 면들을 커버하는 형광체 입자의 컨포멀 코팅을 달성하여 CSP LED 디바이스의 균일한 광변환 특성을 대량 생산 제조 프로세스에서 달성하는 것이 상당히 바람직하다.Another problem with CSP type LED devices is low color uniformity. There are two main mechanisms for producing low color uniformity. 1. Unequal mechanical dimensions of the phosphorescent structure and 2. Non-adjustable phosphor particle distribution in the phosphorescent structure from one device to another. In a relative manufacturing process for manufacturing a CSP type LED device, first, the phosphor particles are mixed in a binder resin material to form a phosphor slurry; The phosphor slurry is then placed on the LED semiconductor die to form a phosphorescent structure using methods such as molding, screen printing, spraying, and the like. It will be appreciated that when the phosphor slurry is used to form a phosphorescent structure, precise regulation of the geometric dimensions of the phosphorescent structure is desirable to achieve the required cross-color temperature (CCT) of the CSP LED device. However, it is very difficult to accurately and uniformly adjust the size of each phosphorescent structure in a mass production process. Even when the geometrical dimensions of the phosphorescent structure are precisely controlled in mass production, there is no mechanism for controlling the particle distribution of the fluorescent material inside the phosphorescent structure. In fact, the control of the distribution of phosphor materials is one of the most important factors in determining optical properties such as CCT of CSP LED devices. It is therefore highly desirable to achieve the conformal coating of the phosphor particles covering the top and four edge surfaces of the LED semiconductor die to form a phosphorescent structure to achieve uniform photoconversion characteristics of the CSP LED device in a high volume manufacturing process .
구체적으로, 대량 생산 공정에서 여러 제조 단계는 저조한 제조량의 결과를 가져오는 CSP 유형 LED 디바이스에 대한 낮은 색 균일도를 발생시킬 수 있었다. 예를 들어 CSP LED 디바이스의 축광 구조는 몰딩 (또는 스크린 인쇄) 프로세스를 통해 형광체 물질로부터 형성되는 경우, 선행 단계는 몰드 (또는 스텐실(stencil))의 내부 표면 안에 어레이를 형성하기 위해 다수의 LED 반도체 다이를 배열하는 것이다. 그러나 LED 반도체 다이의 어레이를 형성하는 부정확한 배열은 축광 구조의 상측 및 가장자리 측면들의 일정하지 않은 두께를 형성할 것이다. 게다가, 축광 구조의 어레이가 형성된 후에 이어서 CSP LED 디바이스의 어레이를 분리하기 위해 보통 싱귤레이션(singulation) 프로세스가 활용된다. 다이싱 톱의 불완전한 위치 조절은 하나의 CSP LED 디바이스로부터 또 다른 CSP LED 디바이스까지의 축광 구조의 가장자리 면의 두께를 일정하지 않게 만들 것이다. 또한 형광체 슬러리 내부의 형광체 물질의 입자 분포가 조절될 수 없어서 색 균일도 확보를 저해한다. 결과적으로 LED 디바이스의 비균일적인 축광 구조를 통과하는 광은 낮은 색 균일도를 생산할 것이다. 심지어 각각의 CSP LED 디바이스의 경우 청색광이 경험할 축광 구조의 다양한 형광체 변환 거리 때문에 다른 시야각에 대한 낮은 공간 색 균일도가 일반적이다. 낮은 색 균일도는 대량 생산에서 저조한 제조량을 발생시킨다.Specifically, several manufacturing steps in a mass production process were able to generate low color uniformity for CSP type LED devices resulting in poor manufacturing yields. For example, when the phosphorescent structure of a CSP LED device is formed from a phosphor material through a molding (or screen printing) process, the preceding step involves forming a plurality of LED semiconductors (or semiconductors) And arranging the die. However, the incorrect arrangement to form an array of LED semiconductor dies will form an irregular thickness of the top and edge sides of the phosphorescent structure. In addition, a common singulation process is utilized to subsequently separate the array of CSP LED devices after the array of phosphorescent structures is formed. Imperfect positioning of the dicing saw will make the thickness of the edge of the phosphorescent structure from one CSP LED device to another CSP LED device uneven. In addition, the particle distribution of the phosphor material in the phosphor slurry can not be controlled, thereby hindering the color uniformity. As a result, light passing through the non-uniform phosphorescent structure of the LED device will produce low color uniformity. Even for each CSP LED device, low spatial color uniformity for different viewing angles is common due to the varying phosphor translational distance of the phosphorescent structure that blue light will experience. Low color uniformity results in poor production in mass production.
대안으로 스프레이 코팅 프로세스가 컨포멀하게 코팅된 형광체층을 가지는 축광 구조를 형성하기 위한 또 다른 제조 프로세스다. LED 반도체 다이의 부정확한 배열로 인해 발생되는 문제는 몰딩 또는 스크린 인쇄 프로세스보다는 스프레이 프로세스를 사용하여 완화시킬 수 있다. 그러나 스프레이 프로세스를 사용하여 축광 구조를 제조하는 경우 또 다른 문제점이 발생한다. 제조 시 중력효과가 형광체 입자들을 침전시키기 때문에 LED 반도체 다이의 수직 가장자리 면 옆에 있는 형광체 입자들을 확보하기 어렵다는 것을 알 수 있다. 이러한 중력효과는 LED 반도체 다이의 가장자리 면 위에 형광체 물질들의 실질적으로 연속적인 층을 형성하는 것을 어렵게 만들 것이다. 투명하고 연속적인 수지층이 LED 반도체 다이의 가장자리 면 위에 형성될 수 있다고 하더라도 수지재 안에 있는 형광체 입자층은 위치적으로 불연속적이다. 즉, 스프레이 프로세스를 활용하여 축광 구조가 제조되는 것은 "보이드"의 실질적으로 크고 광학적으로 투명한 구조를 형성할 것이다. 그러므로 LED 반도체 다이에서 조사되는 청색광은 보이드에서 더 많이 누설되어 청색광은 형광체 물질에 의한 파장 변환의 기회가 더 적은 상태로 직접 통과하게 된다. 일반적으로 네 개의 수직 가장자리 면에서 발견되는 보이드가 CSP LED 디바이스의 가장자리 면에서 청색광이 더 많이 누설되도록 할 것이라는 것을 알게 될 것이다. 그러므로 청색 링은 이러한 스프레이 프로세스를 활용하여 제조된 CSP LED 디바이스를 위해 발생된다. 다시 말해 스프레이 프로세스는 일반적으로 형광체 분말의 바람직한 컨포멀 코팅이 되는 축광 구조를 달성하기 위해 사용될 수 없다. 더 나아가 스프레이 구조가 얇은 축광 구조를 형성하기 위해 사용된다면 LED 반도체 다이의 상부 바로 위에 있는 축광 구조의 상부는 입자 응집 효과(paricle aggregation effect)를 갖는 경향이 있다. 이렇게 응집된 형광체 분말 분포는 내부에서 혼합된 많은 형광체 물질 없이 광학적으로 투명한 수지재로 구성된 실질적으로 큰 광학 보이드를 발생시킬 것이다. 이러한 형광체 물질 응집 효과는 바람직하지 않은 "청색광 스팟(blue light spots)"을 가지는 형광체 변환 LED에 대한 주 원인이다. 실질적으로 크고 실질적으로 투명한 보이드에서 누설되는 청색 광은 청색 광의 위치 상 강한 강도를 발생시킬 수 있어 낮은 공간 색 균일도를 발생시키고 또한 사람의 눈에 해로운 청색 광의 위험요소를 일으킨다. 형광체 분말 응집으로 인한 기타 부작용에는 낮은 색 균일도, 저조한 제조량 및 낮은 형광체 파장 변환 효율성이다.Alternatively, a spray coating process is another manufacturing process for forming a phosphorescent structure with a conformally coated phosphor layer. Problems caused by incorrect alignment of LED semiconductor dies can be mitigated using a spray process rather than a molding or screen printing process. However, another problem arises when manufacturing a phosphorescent structure using a spray process. It can be seen that it is difficult to obtain the phosphor particles beside the vertical edge side of the LED semiconductor die because the gravitational effect precipitates the phosphor particles during manufacturing. This gravitational effect will make it difficult to form a substantially continuous layer of phosphor materials on the edge sides of the LED semiconductor die. Even though a transparent and continuous resin layer can be formed on the edge surface of the LED semiconductor die, the phosphor particle layer in the resin material is positionally discontinuous. That is, the fabrication of a phosphorescent structure utilizing a spray process will form a substantially larger, optically transparent structure of "voids ". Therefore, the blue light emitted from the LED semiconductor die leaks more from the void and the blue light passes directly through the phosphor material with less opportunity for wavelength conversion. You will find that the voids found on the four vertical edge faces will generally cause more of the blue light to leak from the edge of the CSP LED device. Therefore, the blue ring is generated for CSP LED devices manufactured using this spray process. In other words, the spray process can not generally be used to achieve a phosphorescent structure that is the preferred conformal coating of the phosphor powder. Furthermore, if the spray structure is used to form a thin phosphorescent structure, the top of the phosphorescent structure directly above the top of the LED semiconductor die tends to have a paricle aggregation effect. This agglomerated phosphor powder distribution will generate substantially large optical voids consisting of an optically transparent resin material without many phosphor materials mixed therein. This phosphor material aggregation effect is a major cause for the undesirable " blue light spots " Blue light leaking from substantially large and substantially transparent voids can generate strong intensity at the position of blue light, resulting in low spatial color uniformity and also a risk factor of blue light harmful to the human eye. Other side effects due to phosphor powder aggregation are low color uniformity, poor throughput and low phosphor wavelength conversion efficiency.
CSP 유형 LED 디바이스를 사용할 때 마주하게 되는 또 다른 문제는 디바이스 신뢰도다. CSP 유형 LED 디바이스의 주요 기술 특징 중 하나는 서브마운트 기판 또는 리드 프레임을 포함하지 않는다는 것과 LED 반도체 다이에서 하부 본딩 패드(underneath bonding pad)를 직접적으로 노출한다는 점이다. 서브마운트 기판 없이 CSP LED 디바이스의 축광 구조 또한 하부에서 노출된다. 리플로우 솔더링(reflow soldering) 프로세서는 보통 CSP LED 디바이스가 PCB와 같은 응용 기판 위에 결합될 때 사용된다. 리플로우 솔더링 프로세스 중에 솔더링 플럭스(soldering flux)는 일반적으로 CSP LED 디바이스와 기판 사이의 결합품질을 향상시키기 위해 사용된다. 그러나 솔더링 플러스에 함유된 첨가물이 실리콘 바인더 물질(silicon binder material)에서 흔히 발견되는 벤젠 구조와 반응하는 경향이 있다. 그러나 축광 구조는 실리콘 수지재로 구성될 수 있다. 이러한 화학 반응은 축광 구조의 하면 위에 유해한 다크 레이어를 형성할 것이다. 따라서 CSP LED 디바이스의 광학 효율 및 신뢰도가 악화될 것이다.Another issue encountered when using CSP type LED devices is device reliability. One of the key technical features of the CSP type LED device is that it does not include a submount substrate or leadframe and that it directly exposes an underneath bonding pad in the LED semiconductor die. Without the submount substrate, the phosphorescent structure of the CSP LED device is also exposed at the bottom. A reflow soldering processor is usually used when a CSP LED device is bonded onto an application substrate such as a PCB. During the reflow soldering process, the soldering flux is generally used to improve the bond quality between the CSP LED device and the substrate. However, the additives contained in the soldering plus tend to react with the benzene structures commonly found in silicon binder materials. However, the phosphorescent structure can be composed of a silicone resin material. This chemical reaction will form a harmful dark layer on the lower surface of the phosphorescent structure. Therefore, optical efficiency and reliability of CSP LED devices will deteriorate.
그러므로 대량 생산 해결책을 제공하는 것은 LED 반도체 다이와 축광 구조 사이의 향상된 인터페이스 접착력을 제공하고 공간 색 균일도 및 CCT 비닝 일관성을 향상시키며 광학 효율을 늘리고 축광 구조의 하면 위에 부정적인 다크 레이어가 형성되는 것을 예방함으로써 CSP LED 디바이스의 상기 문제점을 해결하기 위해 필요하다. Therefore, providing a mass-production solution provides improved interface adhesion between the LED semiconductor die and the phosphorescent structure, enhances spatial color uniformity and CCT binning consistency, increases optical efficiency and prevents formation of a negative dark layer on the bottom of the phosphorescent structure, It is necessary to solve the above-mentioned problem of the LED device.
본 발명의 일부 실시예의 목적은 CSP LED 디바이스에 작은 방사 조도 면적, 향상된 신뢰도, 공간 색 균일도, CCT 비닝 일관성, 광학 효율 및 낮아진 열 저항을 제공하는 것이다.An object of some embodiments of the present invention is to provide a CSP LED device with a small irradiance area, improved reliability, spatial color uniformity, CCT binning consistency, optical efficiency and reduced thermal resistance.
본 발명의 실시예의 또 다른 목적은 공개된 CSP LED 디바이스를 제조하기 위한 제조 방법을 제공하는 것이다.Another object of an embodiment of the present invention is to provide a manufacturing method for manufacturing an open CSP LED device.
목적을 실현하기 위해 LED 반도체 다이와 패키지 구조를 포함하고 패키지 구조는 소프트 버퍼층, 축광 구조(photoluminescent structure) 및 봉지 구조(encapsulant structure)를 포함하는 CSP LED 디바이스가 본 발명의 일부 실시예에 따라 공개된다. LED 반도체 다이는 상면, 하면, 모서리 면 및 전극 세트를 포함하는 플립칩 LED 반도체 다이다. 상기 모서리 면이 형성되어 상기 상면 및 하면 사이에서 연장되고 상기 전극 세트는 하면에 배치된다. 소프트 버퍼층은 일부 실시예의 고분자수지재로 만들어지거나 고분자수지재를 포함한다. 소프트 버퍼층은 LED 반도체 다이 상면에 형성되거나 배치된 상부와 LED 반도체 다이의 모서리 면을 커버하도록 형성된 단부(edge portion)를 포함한다. 상기 상부는 볼록면을 나타내고 상기 단부는 상기 볼록면을 부드럽게 인접하는 연장면을 포함한다. 축광 구조는 볼록면과 연장면을 커버하는 소프트 버퍼층 위에 형성된다. 축광 구조는 실리콘, 에폭시, 고무 등과 같은 수지 바인더 물질과 바인더 물질 안에 분산되어 있는 축광 물질을 포함한다. 경도가 소프트 버퍼층의 경도보다 작지 않은 고분자 물질로 만들어질 수 있는 봉지 구조는 축광 구조 위에 형성된다. In order to realize the object, a CSP LED device including an LED semiconductor die and a package structure and including a soft buffer layer, a photoluminescent structure, and an encapsulant structure is disclosed according to some embodiments of the present invention. The LED semiconductor die is a flip chip LED semiconductor including top, bottom, corner, and electrode sets. The corner surface is formed and extends between the upper surface and the lower surface, and the electrode set is disposed on the lower surface. The soft buffer layer may be made of a polymeric resin material of some embodiments or may include a polymeric resin material. The soft buffer layer includes an upper portion formed or disposed on the upper surface of the LED semiconductor die and an edge portion formed to cover the corner surface of the LED semiconductor die. The upper portion shows a convex surface and the end portion includes an extending surface that smoothly abuts the convex surface. The phosphorescent structure is formed on the soft buffer layer covering the convex surface and the extending surface. The phosphorescent structure includes a resin binder material such as silicon, epoxy, rubber and the like and a phosphorescent material dispersed in the binder material. An encapsulant structure that can be made of a polymeric material whose hardness is not less than the hardness of the soft buffer layer is formed on the phosphorescent structure.
상기 목적을 실현하기 위해 일부 실시예의 CSP LED 디바이스의 제조 방법은 LED 반도체 다이의 어레이를 형성하기 위해 이형 필름 위에 다수의 LED 반도체 다이를 배열하는 것, LED 반도체 다이의 어레이 위에 연결된 패키지 구조의 어레이를 형성하는 것, 그리고 다수의 CSP LED 디바이스를 형성하기 위해 패키지 구조의 어레이를 싱귤레이팅하는 것을 포함하며 상기 이형 필름은 패키지 구조를 싱귤레이팅 하기 전 또는 후에 제거될 수 있다. To achieve this object, a method of manufacturing a CSP LED device of some embodiments includes arranging a plurality of LED semiconductor dies on a release film to form an array of LED semiconductor dies, arranging an array of package structures connected over the array of LED semiconductor dies Forming a plurality of CSP LED devices, and singulating an array of package structures to form a plurality of CSP LED devices, wherein the release films can be removed before or after singulating the package structure.
LED 반도체 다이의 어레이 위에 있는 패키지 구조의 어레이를 형성하는 상기 방법은 다음과 같은 단계를 더 포함한다: 1. LED 반도체 다이의 어레이 위에 소프트 버퍼층의 어레이를 형성하는 것으로 볼록면을 나타내는 각각의 소프트 버퍼층의 상부는 각각의 LED 반도체 다이의 상면에 배치되고 상부 볼록면에 인접하는 연장면을 포함하는 각각의 소프트 버퍼층의 단부가 형성되어 각각의 LED 반도체 다이의 가장자리 면을 커버하는 단계; 2. 상기 볼록면과 연장면을 커버하는 소프트 버퍼층의 어레이 위에 축광 구조의 어레이를 형성하는 것으로 축광 구조를 형성하기 위해 축광 물질과 고분자 물질을 차례대로 증착하는 방법이 사용될 수 있는 단계; 그리고 3. 축광 구조의 어레이 위에 봉지 구조의 어레이를 형성하는 것으로 봉지 구조의 경도가 소프트 버퍼층의 경도보다 작지 않은 단계다. The method of forming an array of package structures on an array of LED semiconductor dies further comprises the steps of: 1. forming a respective array of LED semiconductor dies, each soft buffer layer Wherein an upper portion of each LED semiconductor die is formed with an end portion of each soft buffer layer disposed on an upper surface of each LED semiconductor die and including an extension surface adjacent the upper convex surface to cover an edge surface of each LED semiconductor die; 2. A method of sequentially depositing a phosphorescent material and a polymeric material to form a phosphorescent structure by forming an array of phosphorescent structures on an array of soft buffer layers covering the convex surface and the extending surface; And 3. forming an array of encapsulation structures on the array of phosphorescent structures, wherein the hardness of the encapsulation structure is not less than the hardness of the soft buffer layer.
따라서 본 발명의 일부 실시예에 따라 향상된 CSP LED 디바이스는 적어도 다음과 같은 이점들을 제공한다.Thus, an improved CSP LED device according to some embodiments of the present invention provides at least the following advantages.
첫째, 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스는 동작 중에 신뢰도를 향상시켰다. 상대 CSP LED 디바이스의 경우, 축광 구조가 LED 반도체 다이와 직접 접촉되도록 형성된다. 축광 구조는 일반적으로 고분자 바인더 물질 안에 분산된 분말의 형태로 있는 세라믹 형광체 물질을 포함하는 것을 알게 될 것이다. 그러나 일반적으로 세라믹 물질은 CSP 제조 프로세스 중에 LED 반도체 다이와 화학적 결합을 형성하지 않을 것이고 따라서 세라믹 물질은 LED 반도체 다이와의 접착력 또는 결합력이 약하다. 축광 구조 및 LED 반도체 다이 사이의 접착력은 주로 고분자 바인더 물질로부터 향상된다. 형광체 분말이 고분자 바인더 물질 내부에서 분산될 때 고분자 물질과 LED 반도체 다이의 표면 사이의 접촉면을 감소시킨다. 반면에 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스의 경우, 소프트 버퍼층이 고분자 물질과 LED 반도체 다이 사이의 완전한 접촉을 제공한다. 그러므로 축광 구조와 LED 반도체 다이 사이의 결합력은 소프트 버퍼층을 도입함으로써 상당히 향상될 수 있다. 따라서 소프트 버퍼층은 접착 증진층으로서의 기능을 한다.First, the CSP LED device according to some embodiments of the present invention has improved reliability during operation. In the case of a relative CSP LED device, the phosphorescent structure is formed in direct contact with the LED semiconductor die. It will be appreciated that the phosphorescent structure generally comprises a ceramic phosphor material in the form of a powder dispersed in a polymeric binder material. In general, however, the ceramic material will not form a chemical bond with the LED semiconductor die during the CSP manufacturing process, and thus the ceramic material has poor adhesion or bonding strength with the LED semiconductor die. The adhesion between the phosphorescent structure and the LED semiconductor die is mainly improved from the polymeric binder material. Thereby reducing the contact surface between the polymeric material and the surface of the LED semiconductor die when the phosphor powder is dispersed within the polymeric binder material. On the other hand, in the case of a CSP LED device according to some embodiments of the present invention, the soft buffer layer provides complete contact between the polymeric material and the LED semiconductor die. Therefore, the bonding strength between the phosphorescent structure and the LED semiconductor die can be significantly improved by introducing a soft buffer layer. Therefore, the soft buffer layer functions as an adhesion promoting layer.
게다가 소프트 버퍼층은 더 낮은 경도를 가질 수 있어서 CSP LED 디바이스 내 부품들 중 CTE의 불일치 인해 유도된 내부 스트레스를 완화한다. 따라서 소프트 버퍼층은 스트레스 완화층으로서의 기능도 한다. In addition, the soft buffer layer can have a lower hardness to alleviate the internal stress induced by the CTE mismatch among the components in the CSP LED device. Therefore, the soft buffer layer also functions as a stress relaxation layer.
그러므로 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스의 신뢰도는 패키지 구조가 LED 반도체 다이에서 박리되는 것을 방지함으로써 동작 중 상당히 향상된다. Therefore, the reliability of the CSP LED device according to some embodiments of the present invention is significantly improved during operation by preventing the package structure from being peeled off from the LED semiconductor die.
둘째, 본 발명의 일부 실시예에 따른 소프트 버퍼층의 단부의 연장면은 경사면(slope)의 더 작은 경사도를 가지는 상대적으로 완만한 면이다. 소프트 버퍼층의 연장면이 더 작은 경사도를 가지는 것이 바람직하므로 LED 반도체 다이의 가장자리 면의 더 급격한 수직 "스텝"을 완만하게 한다. 완만하고 더 작은 경사도의 소프트 버퍼층이 없으면 형광체 물질은 중력으로 인해 바인더 물질 내부에 침전하는 경향이 있을 수 있으므로 실질적으로 연속적인 컨포멀 형광체 코팅층을 형성하기 위해 LED 반도체 다이의 가장자리 면에 형광체 분말을 확보하는 것이 어려울 수 있다. 반면 본 발명의 일부 실시예에 따른 소프트 버퍼층은 중력에 의해 발생되는 형광체 분말의 침전 효과를 상당히 줄일 수 있으므로 실질적으로 연속적인 형광체 분말 분포는 소프트 버퍼층의 단부를 따라 형성된다. 다시 말해 축광 구조 내 형광체 분말을 가진 근사 컨포멀 코팅은 본 발명의 일부 실시예를 따라 실현된다. 그러므로 CSP LED 디바이스 내 청색 광 누설 문제는 해결된다. 따라서 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스는 향상된 공간 색 균일도 및 향상된 CCT 비닝 일관성을 나타낸다. 따라서 소프트 버퍼층은 축광 구조 내 형광체 분말의 근사 컨포멀 코팅의 형성을 용이하게 하기 위한 완만한 층으로서의 기능을 한다.Second, the extended surface of the end of the soft buffer layer according to some embodiments of the present invention is a relatively gentle surface with a smaller slope of the slope. It is desirable for the extended surface of the soft buffer layer to have a smaller slope, so that the more abrupt vertical "step" of the edge surface of the LED semiconductor die is gentle. Without a soft, less inclined soft buffer layer, the phosphor material may tend to settle within the binder material due to gravity, so that a phosphor powder is provided on the edge of the LED semiconductor die to form a substantially continuous conformal phosphor coating layer It can be difficult. On the other hand, the soft buffer layer according to some embodiments of the present invention can significantly reduce the precipitation effect of the phosphor powder generated by gravity, so that a substantially continuous phosphor powder distribution is formed along the end of the soft buffer layer. In other words, an approximate conformal coating with a phosphor powder in a phosphorescent structure is realized according to some embodiments of the present invention. Therefore, the blue light leakage problem in the CSP LED device is solved. Thus, a CSP LED device according to some embodiments of the present invention exhibits improved spatial color uniformity and improved CCT binning consistency. The soft buffer layer therefore functions as a gentle layer to facilitate the formation of an approximate conformal coating of the phosphor powder in the phosphorescent structure.
셋째, 본 발명의 CSP LED 디바이스의 일부 실시예에 따라 축광 구조의 제조 프로세스 중에 예를 들어 미국 특허 US2010/0119839(참조에 의해 전부 통합됨)에 공개된 바와 같이 축광층과 고분자 수지층은 순차적으로 분리되어 형성되는 것이 바람직하다. 공개된 형광체 증착 방법을 활용하여 매우 작은 형광체층이 형성될 수 있다. 한 이점은 형광체 입자가 균일하고, 얇고 작은 컨포멀 코팅층처럼 증착된다는 것이다. 따라서 그로 인해 축광 물질의 실질적으로 큰 "보이드"가 형성되지 않을 것이다. 결과적으로 "청색 광 스팟" 및 청색 광 누설 문제는 해결되고 사람의 눈에 해로운 청색 광의 위험요소 또한 감소된다. 또 다른 이점은 일단 고충진밀도(high packing density)를 가진 축광 구조가 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스에 대해 형성되는 경우 축광 구조는 향상된 변환 효율성을 나타내고 따라서 전체적인 광학 효율이 향상된다.Third, during the manufacturing process of the phosphorescent structure according to some embodiments of the CSP LED device of the present invention, the phosphorescent layer and the polymer resin layer are sequentially separated (for example, as disclosed in U. S. Patent No. US2010 / 0119839 . A very small phosphor layer can be formed by utilizing the disclosed phosphor deposition method. One advantage is that the phosphor particles are deposited as a uniform, thin, small conformal coating layer. And therefore substantially no "void" of phosphorescent material will be formed. As a result, the "blue light spot" and the blue light leakage problem are solved and the risk of blue light harmful to the human eye is also reduced. Another advantage is that once a phosphorescent structure with a high packing density is formed for a CSP LED device according to some embodiments of the present invention, the phosphorescent structure exhibits improved conversion efficiency and thus overall optical efficiency is improved.
넷째, 본 발명의 CSP LED 디바이스의 일부 실시예에 따라 소프트 버퍼층을 형성하기 위한 제조 물질은 솔더링 플럭스 내에 함유된 첨가물과 화학적으로 반응할 물질(예를 들어 벤젠)을 포함하지 않는 고분자 물질에서 선택되는 것이 바람직하다. 리플로우 솔더링 프로세스는 보통 PCB와 같은 응용 기판 위에 CSP LED 디바이스를 결합할 때 사용된다. 리플로우 솔더링 프로세스 중에 솔더링 플럭스는 일반적으로 CSP LED 디바이스와 기판 사이의 결합품질을 향상시키기 위해 활용된다. 그러나 솔더링 플럭스 내에 함유된 첨가물은 실리콘 바인더 물질에서 발견되는 벤젠과 반응하는 경향이 있다. 벤젠을 함유하는 고분자 물질로 소프트 버퍼층이 만들어지는 경우 이러한 화학 반응이 축광 구조의 하면 위에 유해한 다크 레이어를 형성할 것이다. 그러나 소프트 버퍼층이 벤젠이 없는, 실질적으로 벤젠이 결여된 고분자 물질로 구성되는 경우 추후 결합 프로세스 중에 플럭스 첨가물에 접촉하는 것으로부터 축광 구조를 차단할 것이다. 그러므로 CSP LED 디바이스가 리플로우 솔더링 프로세스를 통해 기판 위에 결합될 때 솔더링 플럭스 내 함유된 첨가물은 소프트 버퍼층에 의해 실질적으로 CSP LED 디바이스의 아래 영역에 한정되고 축광 구조에 미치지 못하게 억제된다. 따라서 이렇게 유해한 화학 반응은 (예를 들어) 솔더링 플럭스의 첨가물과 축광 구조를 제조하기 위해 사용되는 실리콘 바인더 물질에서 볼 수 있는 벤젠 사이에서 상당히 방지된다. 따라서 이러한 화학 반응의 결과인 다크 레이어는 상당히 감소되고 CSP LED 디바이스의 광학 효율 및 신뢰도를 저하시키는 또 다른 유형이 방지된다. 다시 말해 소프트 버퍼층은 환경 장벽 층으로서의 기능도 한다. Fourth, the manufacturing material for forming the soft buffer layer according to some embodiments of the CSP LED device of the present invention is selected from polymeric materials that do not contain a substance (e.g., benzene) that will chemically react with additives contained within the soldering flux . The reflow soldering process is typically used to bond CSP LED devices onto an application substrate such as a PCB. During the reflow soldering process, the soldering flux is typically utilized to improve the bond quality between the CSP LED device and the substrate. However, the additives contained within the soldering flux tend to react with the benzene found in the silicone binder material. When a soft buffer layer is made of a polymeric material containing benzene, this chemical reaction will form a harmful dark layer on the lower surface of the phosphorescent structure. However, if the soft buffer layer is composed of a benzene-free, substantially benzene-free polymeric material, it will block the phosphorescent structure from contacting the flux additive in a subsequent bonding process. Therefore, when the CSP LED device is bonded onto the substrate through the reflow soldering process, the additive contained in the soldering flux is substantially confined to the lower region of the CSP LED device by the soft buffer layer and is inhibited from reaching the phosphorescent structure. Thus, this deleterious chemical reaction is considerably prevented between (for example) the addition of the soldering flux and the benzene found in the silicon binder material used to make the phosphorescent structure. The dark layer, which is the result of this chemical reaction, is therefore significantly reduced and another type of degradation of the optical efficiency and reliability of the CSP LED device is avoided. In other words, the soft buffer layer also functions as an environmental barrier layer.
본 발명의 기타 측면 및 실시예도 고려된다. 상기 요약 및 이하 발명의 상세한 설명은 본 발명을 어느 특정 실시예에 한정하는 것이 아니고 단지 본 발명의 일부 실시예를 기재한 것이다.Other aspects and embodiments of the invention are contemplated. The foregoing summary and the following detailed description of the invention are not intended to limit the invention to any particular embodiment, but merely illustrate some embodiments of the invention.
도 1A, 도 1B, 그리고 도 1C는 본 발명의 첫 번째 실시예에 따른 CSP LED 디바이스의 횡단면의 개략도이고 도 1D 및 도 1E는 기타 실시예에 따른 소프트 버퍼층의 연장면의 기타 형태를 도시하는 개략도다.
도 2는 본 발명의 두 번째 실시예에 따른 CSP LED 디바이스의 횡단면의 개략도다.
도 3A, 도 3B 및 도 3C는 본 발명의 세 번째 실시예에 따른 CSP LED 디바이스의 횡단면의 개략도다.
도 4A, 도 4B, 도 4C, 도 4D, 도 4E 및 도 4F는 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스를 형성하기 위한 제조 방법의 단계를 도시하는 횡단면의 개략도다. FIGS. 1A, 1B and 1C are schematic cross-sectional views of a CSP LED device according to a first embodiment of the present invention, and FIGS. 1D and 1E are schematic views showing other forms of extension surfaces of a soft buffer layer according to another embodiment All.
2 is a schematic cross-sectional view of a CSP LED device according to a second embodiment of the present invention.
Figures 3A, 3B and 3C are schematic cross-sectional views of a CSP LED device according to a third embodiment of the present invention.
FIGS. 4A, 4B, 4C, 4D, 4E and 4F are schematic cross-sectional views illustrating steps of a fabrication method for forming a CSP LED device in accordance with some embodiments of the present invention.
[정의][Justice]
다음 정의는 본 발명의 일부 실시예와 관련하여 기재된 기술 측면의 일부에 적용된다. 마찬가지로 이러한 정의는 본 설명에 따라 확대될 수 있다. The following definitions apply to some of the technical aspects described in connection with some embodiments of the present invention. Likewise, this definition can be expanded in accordance with the present description.
본 설명에 사용된 바와 같이 단수 용어 "한(a)", "일(an)" 그리고 "상기(the)"는 본문에서 명확하게 가리키지 않는 한 복수의 참조 대상을 포함한다. 그러므로 예를 들어 한 층(a layer)에 대한 언급은 본문이 명백하게 교시하지 않는 경우 여러 층들을 포함할 수 있다. As used in this description, the singular terms "a," "an," and "the" include plural referents unless the context clearly dictates otherwise. Thus, for example, reference to a layer may include multiple layers unless the text clearly teaches.
본 설명에 사용된 바와 같이 용어 "세트"는 하나 이상의 부품들의 집합을 가리킨다. 그러므로 예를 들어 층 세트는 하나의 층 또는 다수의 층들을 포함할 수 있다. 한 세트의 부품들 또한 해당 세트의 부재들을 언급하는 것일 수 있다. 한 세트의 부품들은 동일하거나 다를 수 있다. 일부 사례에서, 한 세트의 부품들은 하나 이상의 공통된 특징을 공유할 수 있다. As used in this description, the term "set" refers to a collection of one or more parts. Thus, for example, a layer set may comprise one layer or multiple layers. A set of parts may also refer to members of the set. A set of parts may be the same or different. In some instances, a set of components may share one or more common features.
본 설명에 사용된 바와 같이 용어 "인접한"은 근처 또는 인접한 것을 가리킨다. 인접한 부품들은 서로 이형되거나 서로 실질적으로 또는 직접적으로 접촉할 수 있다. 일부 사례에서, 인접한 부품들은 서로 연결되거나 서로 일체형으로 형성될 수 있다. 일부 실시예의 설명에서 부품이 또 다른 부품 "위" 또는 "상부 위"에 제공되는 것은 전자 부품과 후자 부품 사이에 위치하는 하나 이상의 낀 부품들이 있는 경우뿐만 아니라 전자 부품이 직접적으로 후자 부품 위에 있는 (예를 들어 직접 물리적으로 접촉된) 경우를 포함한다. 일부 실시예의 설명에서 부품이 또 다른 부품 아래 제공되는 것은 전자 부품과 후자 부품 사이에 하나 이상의 낀 부품들이 위치하는 경우뿐만 아니라 전자 부품이 직접적으로 후자 부품 아래에 있는 (예를 들어 직접 물리적으로 접촉된) 경우를 포함한다.As used in this description, the term "adjacent" Adjacent components may be released from each other or may be in substantial or direct contact with each other. In some cases, adjacent components may be interconnected or formed integrally with each other. In the description of some embodiments parts are provided "above" or "above" another part, as well as when there are one or more frayed parts located between the electronic part and the latter part, as well as when the electronic part is directly on the latter part For example, directly physically contacted). In the description of some embodiments, a part is provided beneath another part, as well as where one or more fused parts are located between the electronic part and the latter part, as well as where the electronic part is directly under the latter part ).
본 설명에 사용된 바와 같이 용어 "연결하다", "연결된" 그리고 "연결"은 운영상 결합 또는 연결된 것을 가리킨다. 연결된 부품들은 서로 직접적으로 연결되거나 또 다른 부품 세트들을 통한 것처럼 서로 간접적으로 연결될 수 있다. As used in this description, the terms "connect," " connected, " and "connection, " Connected components can be connected directly to each other or indirectly connected to each other as through another set of components.
본 설명에 사용된 바와 같이 용어 "대략", "실질적으로" 그리고 "실질적인"은 상당 정도(considerable degree or extent)를 가리킨다. 사건 또는 상황과 관련하여 사용될 때 상기 용어들은 사건 또는 상황이 본 설명에 기재된 제조 동작의 전형적인 공차레벨을 설명하는 것과 같이 근사치가 발생하는 사례들 뿐만 아니라 사건 또는 상황이 정확하게 발생하는 사례들을 가리킬 수 있다. 예를 들어 수치와 관련되어 사용될 때 상기 용어들은 수치의 ±5%보다 작거나 동일하고, ±4%보다 작거나 동일하고, ±3%보다 작거나 동일하고, ±2%보다 작거나 동일하고, ±1%보다 작거나 동일하고, ±0.5%보다 작거나 동일하고, ±0.1%보다 작거나 동일하고 또는 ±0.05%보다 작거나 동일한 것과 같이 ±10%보다 작거나 동일한 범위의 변화를 포함할 수 있다. As used in this description, the terms "approximately "," substantially "and" substantial "refer to a considerable degree or extent. When used in connection with an event or situation, the terms may refer to instances where an event or circumstance occurs precisely as well as instances where an event occurs, such as an event or situation describing typical tolerance levels of manufacturing operations described herein . For example, when used in connection with a numerical value, the terms are less than or equal to ± 5% of the numerical value, less than or equal to ± 4%, less than or equal to ± 3%, less than or equal to ± 2% Less than or equal to ± 1%, less than or equal to ± 0.5%, less than or equal to ± 0.1%, or less than or equal to ± 0.05%. have.
축광과 관련하여 본 설명에 사용된 바와 같이 용어 "효율" 또는 "양자 효율"은 입력 광자의 수에 대한 출력 광자의 수의 비율을 가리킨다.The term "efficiency" or "quantum efficiency, " as used in this description in connection with phosphorescence, refers to the ratio of the number of output photons to the number of input photons.
본 설명에 사용된 바와 같은 용어 "크기"는 특정 치수를 가리킨다. 구형의 물체(예를 들어 입자)인 경우에는 해당 물체의 크기는 해당 물체의 다이어미터를 가리킬 수 있다. 물체가 비구형인 경우에는 물체의 크기는 물체의 다양한 직교 치수의 평균을 가리킬 수 있다. 그러므로 예를 들어 구형인 물체의 크기는 물체의 주축 및 부축의 평균을 가리킬 수 있다. 특정 크기를 가진 것으로서 물체 세트를 가리키는 경우 물체들은 해당 크기 정도 크기들의 분포를 포함할 수 있는 것으로 간주된다. 따라서 본 설명에 사용된 것과 같은 물체 세트의 크기는 평균 크기, 중간 크기 또는 최대 크기와 같이 크기의 분포 중 전형적인 크기를 가리킬 수 있다. The term "size" as used in this description refers to a particular dimension. In the case of a spherical object (for example, a particle), the size of the object may indicate the dimension of the object. If the object is non-spherical, the size of the object may indicate the average of various orthogonal dimensions of the object. Thus, for example, the size of a spherical object may indicate the average of the major axis and minor axis of the object. If we refer to a set of objects as having a particular size, then the objects are considered to be able to contain a distribution of their magnitudes and sizes. Thus, the size of an object set such as that used in this description may indicate a typical size of a distribution of sizes, such as an average size, a medium size, or a maximum size.
도 1A는 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 첫 번째 실시예의 횡단면의 개략도를 도시한다. CSP LED 디바이스(1A)는 LED 반도체 다이 (10)와 패키지 구조(200)를 포함하고 상기 패키지 구조(200)는 소프트 버퍼층(20), 축광구조(30) 및 봉지 구조(40)를 포함한다.1A shows a schematic cross-sectional view of a first embodiment of a CSP LED device according to the present invention. The
상기 LED 반도체 다이(10)는 상면(11), 하면(12), 가장자리 면(13) 그리고 전극 세트(14)를 포함하는 플립칩 LED 반도체 다이다. 상면(11)과 하면(12)은 실질적으로 평행하게 형성되어 반대쪽에서 서로 마주 본다. 가장자리 면(13)이 형성되어 상면(11)과 하면(12) 사이에서 연장되고 상면(11)의 림, 외곽테(111)와 하면(12)의 림, 외곽테(outer rim)를 연결한다. 다시 말해 가장자리 면(13)은 상면(11)의 외곽테(111)와 하면(12)의 외곽테를 따라 형성된다.The LED semiconductor die 10 is a flip chip LED semiconductor including an
전극 세트(14) 또는 다수의 전극은 하면(12)에 배치된다. 전기 에너지(도시되지 않음)는 전극 세트(14)를 통해 LED 반도체 다이(10)에 적용되어 전계발광소자(electro-luminescence)가 발생되고 상면(11)과 가장자리 면(13)에서 조사된다. 기재된 실시예의 이러한 플립칩 유형 반도체 다이(10) 내 상면(11)에는 전극이 배치되지 않는다. The electrode set 14 or a plurality of electrodes are disposed on the
소프트 버퍼층(20)은 1) CSP LED 디바이스(1A)의 부품들 중 CTE의 불일치에 의해 유발되는 내부 스트레스를 완화하고, 2) LED 반도체 다이(10)와 패키지 구조(200) 사이의 결합력을 증가시키며, 3) 근사 컨포멀 코팅을 실현하기 위해 소프트 버퍼층(20) 위에 축광 구조(30)의 형성을 용이하게 하기 위해 배치된다. 구체적으로 소프트 버퍼층(20)은 실리콘, 에폭시, 고무 등과 같은 투명한 고분자 물질로 바람직하게 만들어진 상대적으로 부드러운 물질이다. 설명하자면, 소프트 버퍼층(20)은 상부(21)와 단부(22)(현재 하나의 단일 공정으로 형성됨)를 포함한다. 상부(21)는 LED 반도체 다이(10)의 상면(11)에 형성되고 단부(22)는 LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13)을 커버하도록 형성된다. 또한 소프트 버퍼층(20)은 실질적으로 LED 반도체 다이(10)의 상면(11)과 가장자리 면(13)을 완전히 커버하지만 LED 반도체 다이(10)의 전극 세트(14)는 커버하지 않는다. The
도 1B(축광 구조(30)와 봉지 구조(40)를 포함하지 않는 CSP LED 디바이스(1A)의 횡단면)에 도시된 바와 같이, 상부(21)는 볼록면(211)(상부(21)의 상면)을 나타낸다. 볼록면(211)의 최고점은 상면(11)의 중심점과 가깝고 LED 반도체 다이(10)의 광축과 일직선 상에 있으며 볼록면(211)의 최저점은 상면(11)의 외곽테(111)에 근접한다. 소프트 버퍼층은 경화를 통해 바람직하게 액체 고분자 물질로 만들어지므로 액체 고분자 물질의 밀착력의 효과로 인해 볼록 형태가 형성된다. 그렇게 해서 상부(21)는 볼록면(211)을 나타낸다. 볼록면(211)의 최고점에서 상면(11)까지의 거리(도 1B에 도시된 수직 방향을 따라)는 LED 반도체 다이(10)의 두께의 거의 절반보다 작아서 볼록면(211)이 급격한 경사를 가지지 않으므로 실질적으로 연속적인 형광체 층의 추후 형성을 용이하게 하는 것이 바람직하다. 예를 들어 볼록면(211)의 최고점에서 상면(11)까지의 거리가 LED 반도체 다이(10)의 두께의 대략 45% 이하, 대략 40% 이하, 대략 30% 이하, 대략 20% 이하 또는 대략 15%이하일 수 있다. As shown in Figure 1B (the cross section of the
단부(22)는 볼록면(211)과 연결되는 연장면(221)(단부(22)의 상면)을 포함한다. 연장면(221)은 연속적으로 볼록면(211)과 연결되어 연장면(221)과 볼록면(211) 둘 다 인접하는 경계에서 실질적으로 동일한 곡률을 갖는 것을 알게 될 것이다. 연속적으로 또는 완만하게 연결되는 연장면(221)과 볼록면(211)은 소프트 버퍼층(20) 위 축광 구조(30)의 추후 형성에 도움이 될 것이다. The
연장면(221)과 볼록면(211)은 LED 반도체 다이(10)의 상면(11)의 외곽테(111) 근처에서 서로 연결되고 인접할 수 있어서 외곽테(111)는 볼록면(211)과 연장면(221)에 거의 근접하거나 가깝다. 다시 말해, LED 반도체 다이(10)의 외곽테(111)와 연장면(221)과 볼록면(211) 사이의 인접 경계는 실질적으로 감소된 시프트(shift) 또는 간격(spacing)과 평행하며 바람직하게는 이러한 시프트는 허용되는 것만큼 작고 제조 프로세스의 제조 역량에 의해 특정된다. The
도 1B에 도시된 것처럼 연장면(221)은 오목면을 포함하는 것이 바람직하며, 다시 말해 연장면(221)의 곡률은 볼록면(211)의 곡률과 반대다. 또한 연장면(221)은 LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13)으로부터 더 멀어질 수록 더 평평해지고 결국 곡률은 0이 된다. 이러한 목표 프로파일을 포함하는 연장면은 축광 구조(30)의 형성을 용이하게 할 것이다. 기타 실시예들에 따라 연장면(221)은 경사면(도 1D) 또는 볼록면(도 1E)을 포함할 수 있다. 1B, the curvature of the
소프트 버퍼층(20)은 실리콘과 같은 액체 고분자 물질을 LED 반도체 다이(10) 위에 분사하여 형성되는 것이 바람직하고 고분자 물질은 LED 반도체 다이(10)의 상면(11)과 가장자리 면(13)에 밀착된다. 액체 고분자 물질 자체 내부의 표면 장력과 밀착력의 상호작용에 의해 상부(21)와 단부(22)를 포함하는 소프트 버퍼층(20)의 형태가 만들어지고 경화 공정 후 형성된다. The
소프트 버퍼층(20)은 LED 동작의 열 순환 중 소프트 버퍼층(20)의 더 큰 변형에 의해 CSP LED 디바이스(1A)의 부품들 중 CTE의 불일치에 의해 유발되는 내부 스트레스를 완화하기 위한 상대적으로 낮은 경도를 포함한다. 따라서 내부 스트레스로 인해 발생되는 LED 반도체 다이(10)로부터 패키지 구조(200)가 박리되는 고장 유형은 상당히 억제된다. 즉, 소프트 버퍼층(20)은 스트레스 완화층으로서의 기능을 한다. 소프트 버퍼층(20)의 경도가 너무 높은 경우 더 큰 변형을 지탱하기 위한 소프트 버퍼층(20)의 역량이 감소된다. 패키지 구조(200) 내 층들 중 내부 스트레를 완화시키는 역량도 손상된다. 소프트 버퍼층(20)의 경도는 A70 이하, A60 이하, A50 이하 또는 A40 이하 같이 쇼어경도표준에서 A80보다 크지 않는 것이 바람직하다. 소프트 버퍼층(20)의 경도는 주로 물성에 의해 결정된다. 소프트 버퍼층(20)의 적합한 제조 물질은 요구되는 경도에 의해 선택된다. 예를 들어 소프트 버퍼층(20)의 제조 물질은 실질적으로 실리콘 고무, 에폭시 등과 같이 요구되는 경도를 가진 투명한 고분자 물질이다. The
축광 구조(30)는 LED 반도체 다이(10)에서 소프트 버퍼층(20)을 통해 방사되는 파장을 부분적으로 저역변환시키기 위해 소프트 버퍼층(20) 위에 배치된다. 구체적으로 축광 구조(30)는 소프트 버퍼층(20)의 볼록면(211)과 연장면(221)을 따라 소프트 버퍼층(20) 위에 컨포멀하게 형성된다.The
도 1C는 봉지 구조(40)가 없는 CSP LED 디바이스(1A)의 횡단면도다. 축광 구조(30)는 상부(310)와 단부(32)를 포함한다. 축광 구조(30)의 상부(31)는 소프트 버퍼층(20)의 상부(21) 위에 형성되고 축광구조(30)의 단부(32)는 소프트 버퍼층(20)의 단부(22) 위에 형성된다. 상부(21)의 볼록면이 완만하게 연속적으로 단부(22)의 연장면(2210)에 연결되므로 축광 구조(30)의 상부(31) 또한 축광 구조(30)의 단부(32)에 완만하게 연속적으로 연결될 수 있다. 1C is a cross-sectional view of the
연장면(221)은 LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13)에 의해 만들어지는 가파른 "스텝"을 완만하게 할 수 있는 더 작은 경사도를 가진 상대적으로 완만한 면이다. 다시 말해 소프트 버퍼층(22)은 완만한 스텝 프로파일을 포함하고 추후에 형광체 분말의 근사 컨포멀 코팅을 형성하는 것이 용이하도록 완만한 층으로서의 기능을 한다. 예를 들어 도 1C에 도시된 연장면(2210)이 수평 방향으로 형성하는 각은 대략 85도 이하, 대략 80도 이하 또는 대략 75도 이하와 같이 90도 이하의 범위 내에 있을 수 있다. 스프레잉과 같은 코팅 공정이 축광 구조(30)를 형성하기 위해 사용될 때, 소프트 버퍼층(20)의 완만한 단계 프로파일을 덮는 액체 고분자수지재 안의 중력에 의해 발생되는 축광 물질의 침전이 상당히 완화된다. 그러므로 실질적으로 연속적인 축광 물질층이 형성되어 소프트 버퍼층(20)의 볼록면(211)과 연장면(221)을 커버한다. 따라서 축광 구조(30)를 형성하기 위한 축광 물질의 근사 컨포멀 코팅이 실현된다. 다시 말해 축광 구조(30)는 실질적으로 소프트 버퍼층(20)의 모양과 유사하고 LED 반도체 다이(10)의 모양과 거의 유사한 박막 구조일 수 있다. 따라서 CPS LED 디바이스 내 청색 광 누설 문제는 해결된다.The
축광 구조(30)는 축광 물질과 축광 물질을 결합하기 위해 사용되는 수지재를 포함한다. 예를 들어 바인더 물질은 실리콘, 에폭시 그리고 고무 등과 같이 투명한 고분자수지재 중 하나에서 선택된다. 바인더 물질은 소프트 버퍼층(20)을 형성하기 위해 사용되는 물질과 동일하거나 다를 수 있다. 미국 특허 US2010/0119839에 공개된 형광체 층을 형성하는 방법은 본 발명에 따른 다양한 실시예와 참조에 의해 전체적으로 통합된 기술 내용의 축광 구조(30)를 형성하기 위해 적용될 수 있다. 공개된 형광체 증착 방법을 사용하여 매우 작고 얇은 형광체층이 축광 구조(30)로서 형성될 수 있다. 한 이점은 형광체 입자가 균일하고 얇고 작은 컨포멀 코팅층으로 증착된다는 것이다. 따라서 축광 물질의 실질적으로 큰 "보이드"는 형성되지 않을 것이다. 결과적으로 "청색 광 스팟" 현상과 청색 광 누설 문제는 해결되고 사람의 눈에 해로운 청색 광의 위험요소 또한 줄어든다. 또 다른 이점은 일단 고 패킹 밀도를 가진 축광 구조(30)가 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스(1A)의 실시예에서 형성되면 축광 구조(30)는 향상된 변환 효과를 나타내고 따라서 CSP LED 디바이스(1A)의 전반적인 광학 효율이 향상된다. 다른 굴절률을 가진 다양한 축광 물질과 고분자수지재는 축광 구조(30)를 형성하기 위해 요구되는 증착 순서에 의해 층별로 증착될 수 있으므로 광 추출 효율 및 광 변환 효율이 더 향상될 수 있다.The
기재된 실시예의 축광 구조(30)는 축광 물질 및 고분자 물질을 포함한다. 상대 CSP LED 디바이스의 경우, 축광 구조는 LED 반도체 다이와 직접 접촉하도록 형성된다. 일반적으로 축광 구조는 고분자 바인더 물질 내부에 분포된 분말 형태의 세라믹 형광체 물질로 구성된다는 것을 알게 될 것이다. 그러나 세라믹 물질은 일반적으로 CSP 제조 프로세스 중에 LED 반도체 다이와 화학적 결합을 형성하지 못하므로 LED 반도체 다이와의 접착력을 감소시켰다. 축광 구조와 LED 반도체 다이 사이의 접착력은 주로 고분자 바인더 물질로부터 향상된다. 형광체 분말이 고분자 바인더 물질 내부에 분포될 때 고분자 물질과 LED 반도체 다이의 표면 사이의 접촉면의 비율이 감소하여 그로 인해 인터페이스에서 결합력이 줄어든다. 반면 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스(1A)에 경우, 소프트 버퍼층(20)은 고분자 물질과 LED 반도체 다이(10) 사이의 완전한 접촉을 제공하고 LED 반도체 다이(10)에 대한 결합력에 비해 축광 구조(30)는 소프트 버퍼층(20)에 대한 더 큰 결합력을 가진다. 그러므로 축광 구조(30)와 LED 반도체 다이(10) 사이의 결합력은 소프트 버퍼층(20)을 도입함으로써 상당히 향상될 수 있다. 따라서 소프트 버퍼층(20)은 접착 증진층으로서의 기능을 한다. The
도 1 A에 도시된 바와 같이 축광 구조(30) 위에 형성된 봉지 구조(40)는 환경 보호 구조로서 축광 구조(30)를 보호하기 위해 배치된다. 봉지 구조(40)는 축광 구조(30) 및 소프트 버퍼층(20)의 모양과 유사하지 않을 수 있다. 대신 봉지 구조(40)는 평면 구조로 제조될 수 있다. 봉지 구조(40)의 평평한 표면은 CSP LED 디바이스를 기판 위에 결합시키기 위한 추후 조립 프로세스 동안 로보트 팔로 처리하는 픽 앤 플레이스(pick-and-place)를 용이하게 할 것이다.An
봉지 구조(40)의 경도는 소프트 버퍼층(20)의 경도와 동일하거나 더 크다. 바람직하게는 봉지구조(40)는 추후 조립 프로세스에서 더 잘 처리하기 위해 더 높은 강도를 제공하기 위해 소프트 버퍼층(20)보다 더 단단하다. 구체적으로 봉지 구조(40)의 경도는 D35 이상, D45 이상, 또는 D55 이상과 같이 쇼어경도표준에서 D30과 같거나 더 큰 것이 바람직하다. The hardness of the
제조 물질은 봉지 구조(40)의 경도를 결정한다. 봉지구조(40)의 적합한 제조 물질은 요구되는 경도에 의해 선택된다. 예를 들어 봉지 구조(40)의 제조 물질은 실리콘, 고무, 에폭시 등과 같이 요구되는 경도를 가진 실질적으로 투명한 고분자 물질이다.The manufacturing material determines the hardness of the encapsulation structure (40). Suitable manufacturing materials for the
상기 상세한 설명에 따라 CSP LED 디바이스(1A)는 적어도 다음과 같은 기술적 특징들을 나타낸다. 상대 CSP LED 디바이스의 경우, 축광 구조(30)는 LED 반도체 다이(10)와 직접적으로 접촉한다. 세라믹 형광체 물질의 존재는 고분자 물질과 LED 반도체 다이(10) 사이의 접촉 면적을 줄여서 둘 사이의 결합력을 감소시킨다. 반대로 CSP LED 디바이스(1A)의 경우, 소프트 버퍼층(20)의 고분자 물질이 LED 반도체 다이(10)와 전체적으로 접촉한다. 그러므로 축광 구조(30)와 LED 반도체 다이(10) 사이의 결합력은 소프트 버퍼층(20)을 포함함으로써 상당히 증가된다. 더 나아가 소프트 버퍼층(20)은 경도가 더 낮기 때문에 CSP LED 디아비스(1A) 내 부품들 중 CTE의 불일치로 인해 유발되는 내부 스트레스를 완화하기 위한 더 큰 압박 변형을 견딜 수 있다. 소프트 버퍼층(20)은 결합력을 증가시키고 내부 스트레스를 완화하기 때문에 패키지 구조(200)가 CSP LED 디바이스(1A)의 동작 중에 열 순환에 의해 발생되는 내부 스트레스로 인해 LED 반도체 다이(10)로부터 쉽게 박리되지 않는다. 다시 말해 CSP LED 디바이스(1A)의 동작 중 박리로 인한 디바이스 고장 유형이 상당히 방지되거나 신뢰도가 상당히 향상된다. According to the above detailed description, the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서 소프트 버퍼층(20)의 단부(22)의 연장면(221)은 경사도의 기울기가 더 작은 상대적으로 완만한 면으로, LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13)의 더 급격한 수직 스텝을 완만하게 한다. 완만하고 더 작은 경사도의 버퍼층(20)이 없으면 형광체 분말은 중력효과로 인해 바인더 물질 내에 침전하려는 경향이 있어서 형광체 물질로 연속적인 컨포멀 코팅을 형성하기 위해 LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13) 위에 형광체 분말을 확보하고 있는 것이 어려울 수 있다. 반면 CSP 디바이스(1A)에 따른 소프트 버퍼층(20)은 중력에 의해 발생되는 형광체 분말의 침전 효과를 크게 감소시킬 수 있어서 실질적으로 연속적인 형광체 분말 분포가 소프트 버퍼층(20)의 단부(22)를 따라 형성된다. 다시 말해, 축광 구조(30) 내부에 형광체 분말을 가진 근사 컨포멀 코팅이 실현된다. 그러므로 CSP LED 디바이스의 청색 광 누설 문제가 해결된다. 따라서 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스(1A)는 더 나은 공간 색 균일도를 나타내고 CCT 비닝 일관성 또한 향상된다. Another feature of the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서 축광 물질과 고분자 물질의 순차적인 증착 방법이 축광 구조(30)를 형성하기 위해 사용될 수 있다. 공개된 형광체 증착 방법을 사용하여 축광 구조(30)와 같이 매우 작고 얇은 형광체층이 형성될 수 있다. 한 이점은 형광체 입자가 균일하고 얇고 작은 컨포멀 코팅층으로 증착된다는 것이다. 따라서 축광 물질의 실질적으로 큰 "보이드"가 형성되지 않을 것이다. 결과적으로 "청색 광 스팟" 현상과 청색 광 누설 문제가 해결되고 사람 눈에 해로운 청색 광의 위험요소 또한 감소된다. 또 다른 이점은 일단 고 패킹 밀도를 가진 축광 구조(30)가 CSP LED 디바이스(1A)의 실시예에서 형성되면 축광 구조(30)는 더 나은 변환 효과를 나타내고 따라서 CSP LED 디바이스(1A)의 전반적인 광학 효율이 향상된다. 다른 굴절률을 가진 다양한 축광 물질과 고분자수지재가 축광 구조(30)를 형성하기 위해 요구되는 증착 순서에 따라 층별로 증착될 수 있으므로 광 추출 효율 및 광 변환 효율이 더 향상될 수 있다는 것을 알게 될 것이다. As another technical feature of the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서, 봉지 구조(40)의 굴절률은 축광 구조(30)의 굴절률보다 더 작게 선택될 수 있고 축광 구조(30)의 굴절률은 소프트 버퍼층(20)의 굴절률보다 더 작게 선택될 수 있다. 다시 말해 패키지 구조(200)에서 굴절률 매칭이 이뤄질 수 있다. 즉, 패키지 구조(200)의 굴절률은 주변 환경(예를 들면 공기)의 굴절률에 가깝다. 그러므로 광로를 따라 서로 다른 굴절률에 의한 전반사(TIR)는 감소될 수 있고 그로 인해 CSP LED 디바이스(1A)의 광 추출 효율이 향상된다.As another technical feature of the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서, 봉지 구조(40)의 기하학적 치수의 경미한 편차는 봉지 구조(40) 내에 축광 물질이 포함되어 있지 않으므로 파장 변환과 관련된 광학 특성에 큰 영향을 주지 않는다. 즉, 봉지 구조(40)의 외측 덮개 치수(즉 CSP LED 디바이스(1A)의 외측 덮개 치수)를 결정하는 다이싱, 몰딩 등과 같은 제조 프로세스는 더 많은 가공 오차를 갖게 될 것이다. 그러나 CSP LED 디바이스(1A)의 공간 색 균일도 및 CCT 비닝 일관성과 같이 요구되는 광학 특성은 가공 오차 때문에 외측 덮개 치수의 편차에 영향을 받지 않는다(거의 받지 않는다).As a further technical feature of the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서, 패키지 구조(200)의 외측 덮개 치수의 길이 및 폭은 LED 반도체 다이(10)의 길이 및 폭처럼 기하학적 치수의 순서가 동일하다. PLCC 유형 LED 패키지 디바이스와 비교해보면 패키지 치수는 LED 반도체 다이(10)의 패키지 치수의 대략 3배 내지 20배 더 크다. CSP LED 디바이스(1A)의 실시예에 따른 패키지 구조(200)의 외측 덮개 치수는 LED 반도체 다이(10)의 외측 덮개 치수보다 100% 이상 또는 이하, 50% 이상 또는 이하, 또는 20% 이상 또는 이하이면 안 된다. 다시 말해, 패키지 구조(200)의 길이와 폭은 그에 상응하는 LED 반도체 다이(10)의 길이와 폭의 200% 이상 또는 이하, 150% 이상 또는 이하, 또는 120% 이상 또는 이하이면 안 된다. LED 반도체 다이(10) 밑에 배치된 추가 서브마운트(도시되지 않음)가 없으므로 CSP LED 디바이스(1A)는 소형 폼 팩터(compact form factor)를 가진다. 더 나아가 다른 응용에서의 사양을 기반으로 CSP LED 디바이스(1A)의 시야각을 더 정의하고 제한하기 위해 패키지 구조(200의 네 개의 주변 가장자리 면(부분 또는 전체)에 굴절 구조가 선택적으로 배치될 수 있다. As another technical feature of the
CSP LED 디바이스(1A)의 또 다른 기술적 특징으로서, 소프트 버퍼층(20)을 형성하기 위해 제조 물질은 솔더링 플럭스 내에 함유된 첨가물과 화학적으로 반응하는 물질(예를 들어 벤젠)을 포함하지 않는 고분자 물질에서 선택하는 것이 바람직하다. 리플로우 솔더링 프로세스는 보통 CSP LED 디바이스가 PCB와 같은 응용 기판 위에 결합될 때 사용된다. 리플로우 솔더링 프로세스 중에 솔더링 플럭스는 일반적으로 CSP LED 디바이스와 기판 사이의 결합 품질을 향상시키기 위해 사용된다. 그러나 솔더링 플럭스 내에 함유된 첨가물은 실리콘 바인더 물질에서 발견되는 벤젠과 반응하는 경향이 있다. 이러한 화학적 반응은 벤젠을 함유한 고분자 물질로 만들어지는 경우 축광 구조(30)의 하면 위에 유해한 다크 레이어를 형성할 것이다. 그러나 소프트 버퍼층(20)이 벤젠이 없거나 실질적으로 결여된 고분자 물질로 구성되고 도 1A의 실시예에 따라 배치된다면 축광 구조(30)가 추후 결합 프로세스 시 솔더링 플럭스 첨가물과 접촉하는 것을 차단할 것이다. 그러므로 CSP LED 디바이스(1A)가 리플로우 솔더링 프로세스를 통해 기판 위에 결합될 때 솔더링 플럭스에 함유된 첨가물은 실질적으로 소프트 버퍼층(20)에 의해 CSP LED 디바이스(1A)의 하면에 한정되고 축광 구조(30)에 닿지 않게 차단된다. 따라서 솔더링 플럭스의 첨가물과 축광 구조(30)를 제조하기 위해 사용되는 (예를 들어) 실리콘 바인더 물질에서 발견되는 벤젠 사이의 이러한 유해한 화학 반응은 방지된다. 따라서 이러한 화학 반응의 결과물인 다크 레이어는 상당히 감소되고 CSP LED 디바이스(1A)의 광학 효율 및 신뢰도를 저하시키는 요소도 방지된다. 다시 말해 소프트 버퍼층(20)은 또한 환경 장벽층으로서의 기능을 한다. As another technical feature of the
상기 문단들은 CSP LED 디바이스(1A)와 관련된 실시예들의 상세한 설명이다. 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 기타 실시예의 상세한 설명은 다음과 같이 설명된다. 발광 디바이스의 다음 실시예에서 발견되는 특징 및 이점의 일부 상세한 설명은 CSP LED 디바이스(1A)의 특징 및 이점과 유사하므로 간결성 목적에 따라 생략된다. The above paragraphs are a detailed description of embodiments related to the
도 2는 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 두 번째 실시예의 횡단면의 개략도를 도시한다. CSP LED 디바이스(1B)와 CSP LED 디바이스(1A) 간의 차이는 적어도 봉지 구조(40)가 마이크로 구조 렌즈 어레이층(41)을 더 포함한다는 것이다. 마이크로 구조 렌즈 어레이층(41)과 봉지 구조(40)는 하나의 단일 프로세스에서 동시에 함께 제조될 수 있다. 마이크로 구조 렌즈 어레이층(41)은 봉지 구조(40)의 표면에 순서대로 또는 랜덤으로 배열되는 복수의 마이크로 구조(411)를 포함할 수 있다. 마이크로 구조(411)의 기타 다른 형태에는 반구, 피라미드, 원뿔, 기둥 등이 있을 수 있거나 울퉁불퉁한 표면일 수 있다. Figure 2 shows a schematic cross-sectional view of a second embodiment of a CSP LED device according to the present invention. The difference between the
마이크로 구조 렌즈 어레이 층(41)은 주변 환경과 함께 봉지 구조(40)의 인터페이스에서의 전반사(TIR)로 인해 다시 반사되는 CSP LED 디바이스(1B)의 내부에서 조사되는 광의 가능성을 감소시킬 수 있다. 그러므로 광이 봉지 구조(40)를 빠져나가는 것이 더 쉽다. 따라서 봉지 구조(40)의 광 추출 효율성이 향상되고 CSP LED 디바이스(1B)의 광학 효율도 증가된다. The microstructured
도 3A 내지 3C는 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 세 번째 실시예의 횡단면의 개략도를 도시한다. 도 3A에 도시된 바와 같이 CSP LED 디바이스(1C)와 CSP LED 디바이스(1A)의 차이점은 CSP LED 디바이스(1C)의 소프트 버퍼층(20)이 광산란 입자(23)를 더 포함할 수 있다는 것이다. 도 3B 내지 3C에 도시된 바와 같이 봉지 구조(40)는 CSP LED 디바이스 1C' 및 1C"를 형성하기 위해 광산란 입자를 더 포함할 수 있다. 소프트 버퍼층(20)과 봉지 구조(40) 모두 동시에 광산란 입자를 포함할 수 있다 (도시되지 않음). Figures 3A-3C show schematic cross-sectional views of a third embodiment of a CSP LED device according to the present invention. The difference between the
광은 디바이스들(1C-1C")의 산란 입자(23 및 42)에 의해 분산될 것이다. 그래서 CSP LED 디바이스들(1C-1C")의 공간 색 균일도와 같은 광학 성능이 더 향상될 수 있다. 광산란 입자들(23 및 42)은 TiO2, SiO2, BN, Al2O3와 같은 무기물, 기타 금속 또는 비금속 산화물 등에서 선택될 수 있다. 광산란 입자(23)는 소프트 버퍼층(20) 안에 균일하게 분포될 수 있고 (도 3A에 도시된 바와 같이) 광산란 입자(42) 또한 봉지 구조 안에 균일하게 분포될 수 있다 (도 3B에 도시된 바와 같이). 또한 도 3C에 도시된 것처럼 광산란 입자(42)는 축광 구조(30) 위와 축광 구조(40) 안에 광산란층(43)을 형성하는 것처럼 컨포머층으로서 형성될 수 있다. The light will be scattered by the scattering
앞서 기재된 CSP LED 디바이스들(1A 내지 1C)의 경우, 소프트 버퍼층(20), 축광 구조(30) 또는 봉지 구조(40)와 같은 각각의 부품이 단층 구조 또는 다층 구조로서 형성될 수 있다. 각각의 부품이 단층 구조인 경우, 단일 경화 프로세스에 의해 제조 물질을 응고시켜 형성되고 각각 단일 경화 프로세스로서 형성된다. 각각의 부품이 다층 구조를 가지는 경우, 다수의 경화 프로세스들에 의해 제조 물질을 응고시켜 형성된다.In the case of the above-described
다음 문단은 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 일부 실시예에 대한 제조 방법을 기재한다. 제조 방법은 도 1 내지 도 3에 도시된 것처럼 CSP LED 디바이스들(1A 내지 1C)와 본질적으로 동일하거나 유사한 LED 디바이스를 제조하기 위한 방법을 제공한다. 그러므로 제조 방법의 변형에 대한 일부 상세한 설명은 간결성의 목적에 따라 생략되는 것을 알게 될 것이다. The following paragraphs describe a fabrication method for some embodiments of a CSP LED device in accordance with the present invention. The manufacturing method provides a method for manufacturing an LED device which is essentially the same as or similar to the
도 4A 내지 4F는 본 발명의 일부 실시예에 따른 CSP LED 디바이스 제조를 위한 제조 단계의 순서를 도시한다. 이러한 제조 프로세스는 적어도 세 개의 제조 단계를 포함한다: 이형층(release layer)(300) 위에 다수의 LED 반도체 다이(10)를 배치하는 단계; 다수의 LED 반도체 다이(10) 위에 다수의 패키지 구조(200)를 형성하는 단계; 및 다수의 패키지 구조(200)를 싱귤레이팅 하는 단계다. 각각의 제조 단계의 상세한 기술 측면은 다음과 같이 설명된다.Figures 4A-4F illustrate a sequence of manufacturing steps for manufacturing a CSP LED device in accordance with some embodiments of the present invention. This manufacturing process includes at least three manufacturing steps: placing a plurality of LED semiconductor dies 10 on a
도 4A에 도시된 바와 같이 이형 필름과 같은 이형층(300)이 먼저 준비되어 기판(예를 들어 실리콘 기판 또는 유리 기판, 도시되지 않음) 위에 이형층(300)이 배치될 수 있다. 그 다음에 다수의 LED 반도체 다이(10)(예시에는 두 개의 LED 반도체 다이(10)가 도시되어 있다.)가 LED 반도체 다이(10)의 어레이(100)를 형성하기 위해 이형층(300) 위에 배치된다. 각각의 LED 반도체 다이(10)의 전극 세트(14)는 이형층(300) 안에 내장되어 LED 반도체 다이(10)의 하면(12)이 이형층(300)에 접착되고 이형층(300)에 의해 커버되도록 하는 것이 바람직하다. A
도 4B 내지 4D에 도시된 바와 같이 이형층(300) 위에 배치되는 LED 반도체 다이(10)의 어레이(100)를 형성하기 위한 배열 이후 다수의 패키지 구조(200)가 LED 반도체 다이(10)의 어레이(100) 위에 형성된다. 이러한 제조 단계에서 다수의 패키지 구조(200)가 서로 연결된다. 구체적으로 LED 반도체 다이(10) 위에 패키지 구조(200)를 형성하는 절차는 다음의 세 단계들에서 구체화 된다. A number of
LED 반도체 다이(10) 위에 패키지 구조(200)를 형성하기 위한 첫 번째 단계에서 도 4B에 도시된 바와 같이 소프트 버퍼층(20)의 어레이는 LED 반도체 다이(10)의 어레이(100) 위에 형성된다. 구체적으로 소프트 버퍼층(20)을 제조하기 위해 사용되는 액체 고분자 물질이 LED 반도체 다이(10)의 어레이 위에 분사되고 그 다음에 액체 고분자 물질이 퍼져 각각의 LED 반도체 다이(10)의 상면(11)과 가장자리 면(13)에 접착된다 (액체 고분자 물질은 또한 이형층(300) 위에 퍼진다). 액체 고분자 물질 자체의 표면 장력과 접착력의 상호 작용 및 균형을 통해 소프트 버퍼층(20)(예를 들어 도 1A의 첫 번째 실시예에 기재된 것과 같이 볼록한 상부(21) 및 오목한 단부(222)와 같은)이 형성된다. 그 다음에 액체 고분자 물질이 경화되어 응고된다. 따라서 소프트 버퍼층(20)의 최고점은 상면(11)의 중심점 근처에 형성되고 LED 반도체 다이(10)의 광축과 일직선 상에 있다. An array of soft buffer layers 20 is formed on the
스프레이 프로세스 이외에도 소프트 버퍼층(20)을 제조하기 위해 사용되는 액체 고분자 물질은 스핀코팅 또는 그와 같은 방법에 의해 LED 반도체 다이(10)의 어레이(100) 위에 코팅될 수 있다. 광산란 입자(23)는 액체 고분자 물질 내에서 미리 혼합될 수 있다는 것을 알게 될 것이다. 따라서 도 3A에 도시된 CSP LED 디바이스(1C)의 실시예에 따라 광산란 입자(23)를 포함하는 소프트 버퍼층(20)이 형성된다. In addition to the spray process, the liquid polymeric material used to fabricate the
LED 반도체 다이(10) 위에 패키지 구조(200)를 형성하는 두 번 째 단계에서는 도 4C에 도시된 바와 같이 축광 구조(40)의 어레이가 볼록면(211)과 연장면(221)을 덮는 소프트 버퍼층(20)의 어레이 위에 컨포멀하게 코팅된다. 컨포멀 축광 구조(30)는 미국 특허 US2010/0119839에 공개된 방법을 사용하여 형성되는 것이 바람직하다. 구체적으로 LED 반도체 다이(10)의 어레이와 상기 제조 단계에 의해 마련되는 소프트 버퍼층(20)의 어레이를 이동시키는 캐리어 기판은 프로세스 챔버(도시되지 않음) 안에 배치되어 축광 물질 및 고분자 물질이 각각 캐리어 기판의 표면 위에 컨포멀하게 배치된다. 축광 구조(30)를 제조하기 위해 빽빽하게 가득 찬 축광 입자가 프로세스 챔버 내에 분산되어 균일하게 캐리어 기판 위에 배치된 다음 캐리어 기판은 또 다른 프로세스 챔버 안에 배치되어 고분자 물질이 복합 축광층으로서 축광 입자를 함께 결합하기 위해 캐리어 기판 위에 추후에 배치될 수 있다. 축광 입자의 층을 준비하고 고분자 바인더층을 준비하기 위한 이러한 제조 프로세스는 역순으로 실시될 수 있다. In a second step of forming the
축광구조(30)가 상기 컨포멀 코팅 프로세스를 통해 형성될 때 이형층(300) 위에 LED 반도체 다이(10)의 어레이를 형성하기 위한 배열이 어려울 수 있지만 다수의 축광 구조(30)는 컨포멀 코팅 프로세스의 본질 때문에 LED 반도체 다이(10)의 어레이 위에 균일하고 대칭적으로 형성될 수 있어서 대량 생산에 적합하다. 반대로 축광 구조가 몰딩 또는 스크린 인쇄 방법으로 형성될 때 LED 반도체 다이의 어레이의 부정확한 배열이 축광 구조의 균일성과 대칭성에 영향을 줄 것이다. Although the arrangement for forming the array of LED semiconductor dies 10 on the
LED 반도체 다이(10) 위에 패키지 구조(200)를 형성하는 세 번째 단계에서는 도 4D에 도시된 바와 같이 봉지 구조(40)의 어레이가 축광 구조(30)의 어레이 위에 형성된다. 봉지 구조(40)를 형성하는 공정에서 봉지 구조(40)를 제조하기 위해 사용되는 액체 고분자 물질은 축광 구조(30)에 예를 들어 투여, 분사, 몰딩, 스핀코팅 등에 의해 배치되고 이후에 열 경화에 의해 응고된다. 또한 광산란 입자(42)는 액체 고분자 물질 안에서 미리 혼합될 수 있다. 따라서 광산란 입자(42)를 포함하는 봉지 구조(40)는 도 3B에 도시된 실시예를 따라 형성된다. In a third step of forming the
봉지 구조(40)가 마이크로 구조 렌즈 어레이층(41)을 더 포함하는 경우 도 2에 도시된 바와 같이 마이크로 구조 렌즈 어레이층(41)은 봉지 구조(40)를 형성하는 동시 또는 이후에 봉지 구조(40) 위에 형성될 수 있다. 몰딩 프로세스를 사용하는 경우 봉지 구조(40)와 마이크로 구조 렌즈 어레이층(410)은 하나의 단일 프로세스에서 동시에 형성될 수 있다.When the
LED 반도체 다이(10) 위에 패키지 구조(200)를 형성하기 위한 제조 프로세스를 사용하여 다수의 연결된 패키지 구조(200)가 형성되어 다수의 LED 반도체 다이(10)를 커버한다. 그리고 도 4E에 도시된 바와 같이 이형층(300)이 제거된다. 이후에 도 4F에 도시된 바와 같이 다수의 연결된 패키지 구조(200)가 다수의 분리된 CSP LED 디바이스(1)를 확보하기 위해 다이싱에 의해 싱귤레이트(singulate)된다. 대안으로 이형층(300)은 다수의 패키지 구조(200)가 싱귤레이트된 후에 제거될 수 있다.A number of
다수의 연결된 패키지 구조(200)를 싱귤레이트하는 제조 프로세스 동안 소프트 버퍼층(20)의 연장면(221)이 최소 곡률 또는 경사도를 가지는 위치에서 균등하게 패키지 구조(200)를 분리하기 위해 절삭 공구(예를 들어, 톱)가 사용되는 것이 바람직하다. 다시 말해, 절삭 위치는 LED 반도체 다이(10)의 가장자리 면(13)에서 더 멀어지는 경향이 있다. 그러므로 패키지 구조(200)는 축광 구조(30)의 단부(32)의 상대적으로 평평한 구간 또는 평평한 구간(321)에서 다이싱 된다. 이러한 방식으로 CSP LED 디바이스(1)의 공간 색 균일도는 다이싱 위치 공차 내 편차에 의해 심하게 영향을 받지는 않을 것이다. 구체적으로 다이싱 프로세스에 대한 위치 공차는 CSP LED 디바이스(10)에 대한 축광 구조(30)의 평평한 구간(321)의 불규칙적인 치수를 유발할 수 있다. 그러나 LED 반도체 다이(10)에서 조사되는 광은 시야각 범위를 포함하고 평평한 구간(321)을 거의 통과하지 않으므로 평평한 구간(3211) 내 크기 변화는 공간 색 균일도에 거의 영향을 주지 않는다. (E. G., ≪ RTI ID = 0.0 > example) < / RTI > to isolate the
일부 실시예에 대한 요약에서 본 발명에 따른 CSP LED 디바이스의 제조 방법은 대량 생산에 적합한 일괄 프로세스(batch process)에서 LED 디바이스(1)를 제조하기 위한 방법을 제공한다. 상기 실시예에 따라 CSP LED 디바이스(1)는 향상된 신뢰도, 향상된 공간 색 균일도, 더 일관된 CCT 비닝, 그리고 더 높은 광학 효율을 나타내며 훨씬 더 작은 폼 팩터에서 실현된다.In a summary of some embodiments, a method of manufacturing a CSP LED device according to the present invention provides a method for manufacturing an
또한 본 설명에 기재된 제조 방법에 따라 CSP LED 디바이스(1)를 제조하기 위한 몰드는 생략될 수 있다. 다시 말해 CSLP LED 디바이스(1)의 크기는 몰드의 크기에 의해 특정화되지 않고 대신 LED 반도체 다이(10)의 어레이의 배열된 피치에 의해 결정된다. 그러므로 공개된 제조 방법은 광범위한 치수의 CSP LED 디바이스를 제조하는 데 상당히 확장 가능하고 적용 가능하다. In addition, the mold for manufacturing the
본 발명의 설명은 특정 실시예에 대한 참조와 함께 기재되었지만 통상의 기술자들이 다양한 변화를 실시할 수 있고 첨부된 청구항에 의해 정의된 바와 같은 본 발명의 진정한 이상 및 범위에서 벗어나지 않는 범위에서 대체할 수 있는 상응하는 방식으로 대체할 수 있다. 또한 본 발명의 목적, 이상 및 범위에 특정 상황, 재료 물질의 구성, 방법, 또는 프로세스를 맞추기 위해 다양하게 수정될 수 있다. 그러한 모든 수정은 첨부된 청구항의 범위 내에서 실시되어야 한다. 특히 본 명세서에 공개된 방법은 특정 순서에 의해 실시되는 특정 동작에 대한 참조와 함께 기재되었지만 이러한 동작은 결합, 세부 분할, 또는 재배열되어 본 발명의 교시 내용에서 벗어나지 않는 상응하는 방법을 형성할 수 있다. 따라서 구체적으로 기재되지 않은 경우 동작의 순서 및 분류는 본 발명의 공개에 한정되지 않는다.Although the description of the present invention has been described with reference to specific embodiments, it will be understood by those skilled in the art that various changes may be made and equivalents may be substituted without departing from the true spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Can be replaced in a corresponding manner. It is also to be understood that the purpose, scope, and range of the present invention may be modified in various ways to suit particular situations, compositions of materials, methods, or processes. All such modifications should be made within the scope of the appended claims. In particular, although the methods disclosed herein are described with reference to particular acts performed by a particular order, such acts may be combined, subdivided, or rearranged to form corresponding methods that do not depart from the teachings of the invention have. Accordingly, the order and classification of operations are not limited to the disclosure of the present invention unless specifically described.
Claims (15)
상면, 상기 상면의 반대에 있는 하면, 가장자리면 및 전극 세트를 포함하고, 상기 가장자리면은 LED 반도체 다이의 상면과 상기 LED 반도체 다이의 하면 사이에서 연장되고, 상기 전극 세트는 상기 LED 반도체 다이의 상기 하면에 배치되는 플립칩 발광 다이오드(LED) 반도체 다이; 및
상기 LED 반도체 다이 위에 액체 고분자 물질을 분사하거나 스핀코팅하여 형성되며, 상부 및 단부를 포함하고, 상기 상부는 상기 LED 반도체 다이의 상기 상면에 배치되고 볼록면을 포함하며, 상기 단부는 배치되어 상기 LED 반도체 다이의 가장자리 면을 커버하고 연장면을 포함하며, 소프트 버퍼층의 상기 상부의 상기 볼록면은 상기 소프트 버퍼층의 상기 단부의 상기 연장면과 인접하는 상기 소프트 버퍼층;
상기 볼록면과 상기 연장면 위로 상기 소프트 버퍼층 위에 배치되는 축광 구조; 및
상기 축광 구조 위에 배치되고, 상기 소프트 버퍼층의 경도보다 더 큰 경도를 가진 봉지 구조를 포함하는 패키지 구조를 포함하고,
상기 LED 반도체 다이의 상기 상면은 림(rim)을 포함하고, 상기 소프트 버퍼층의 상기 볼록면과 상기 연장면의 경계는 상기 LED 반도체 다이의 상기 상면의 상기 림과 접하거나 인접하며, 상기 볼록면과 상기 연장면은 상기 경계에서 동일한 곡률을 갖는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
As a light emitting device,
Wherein the edge surface extends between an upper surface of the LED semiconductor die and a lower surface of the LED semiconductor die, the set of electrodes including an upper surface, a lower surface opposite the upper surface, an edge surface and an electrode set, A flip chip light emitting diode (LED) semiconductor die disposed on the underside; And
Wherein the upper portion is disposed on the upper surface of the LED semiconductor die and includes a convex surface and the end portion is disposed so that the LED The soft buffer layer covering an edge surface of the semiconductor die and including an extending surface, the convex surface of the upper portion of the soft buffer layer being adjacent to the extending surface of the end portion of the soft buffer layer;
A phosphorescent structure disposed on the soft buffer layer over the convex surface and the extended surface; And
And a package structure disposed on the phosphorescent structure and including an encapsulation structure having a hardness greater than a hardness of the soft buffer layer,
Wherein the upper surface of the LED semiconductor die comprises a rim and a boundary between the convex surface and the extended surface of the soft buffer layer is in contact with or adjacent to the rim on the upper surface of the LED semiconductor die, Wherein the extended surface has the same curvature at the boundary.
상기 패키지 구조의 폭과 길이가 상기 LED 반도체 다이의 폭과 길이의 200%를 넘지 않는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
The method according to claim 1,
Wherein the width and length of the package structure do not exceed 200% of the width and length of the LED semiconductor die.
상기 소프트 버퍼층의 상기 연장면의 모양은 오목형인 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
The method according to claim 1,
Wherein the shape of the extended surface of the soft buffer layer is concave.
상기 소프트 버퍼층의 상기 경도는 쇼어경도표준에서 A80을 넘지 않고, 상기 봉지 구조의 상기 경도는 쇼어경도표준에서 D30 미만이 아닌 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
The method according to claim 1,
Wherein said hardness of said soft buffer layer does not exceed A80 in Shore hardness standard and said hardness of said encapsulation structure is not less than D30 in Shore hardness standard.
상기 소프트 버퍼층의 재료에는 실리콘, 에폭시 또는 고무 중 하나 이상 포함되고, 상기 봉지 구조의 재료에는 실리콘, 에폭시 또는 고무 중 하나 이상 포함되는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
The method according to claim 1,
Wherein the material of the soft buffer layer comprises at least one of silicon, epoxy or rubber, and the material of the sealing structure comprises at least one of silicon, epoxy or rubber.
상기 봉지 구조는 마이크로 구조 렌즈 어레이층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the encapsulation structure further comprises a microstructured lens array layer.
상기 소프트 버퍼층 또는 상기 봉지 구조 중 적어도 하나가 광산란 입자를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein at least one of said soft buffer layer or said encapsulation structure comprises light scattering particles.
상기 봉지 구조가 광산란 입자를 포함하고 상기 축광 구조를 커버하는 광산란층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
6. The method according to any one of claims 1 to 5,
Wherein the encapsulation structure further comprises a light-scattering layer including light-scattering particles and covering the phosphorescent structure.
상기 패키지 구조의 상기 소프트 버퍼층, 상기 축광 구조 및 상기 봉지 구조 각각은 고분자수지재의 층을 적어도 하나 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스.
5. The method according to any one of claims 1 to 4,
Wherein the soft buffer layer, the phosphorescent structure and the encapsulation structure of the package structure each include at least one layer of a polymeric resin material.
플립칩 LED 반도체 다이의 어레이를 형성하기 위해 이형층(release layer) 위에 다수의 플립칩 LED 반도체 다이를 배열하는 단계;
상기 플립칩 LED 반도체 다이의 어레이 위에 연결된 패키지 구조의 어레이를 형성하는 단계로서,
상기 플립칩 LED 반도체 다이의 어레이 위에 액체 고분자 물질을 분사하거나 스핀코팅하여 상기 플립칩 LED 반도체 다이의 어레이 위에 소프트 버퍼층의 어레이를 형성하되, 각각의 소프트 버퍼층은 상부 및 단부를 포함하고, 상기 상부는 각각의 LED 반도체 다이의 상면에 배치되고, 상기 단부가 배치되어 각각의 LED 반도체 다이의 가장자리면을 커버하고, 상기 소프트 버퍼층의 상기 상부의 볼록면은 상기 소프트 버퍼층의 상기 단부의 연장면에 인접하는 것과,
상기 볼록면과 상기 연장면을 따라 상기 소프트 버퍼층의 어레이 위에 축광 구조의 어레이를 형성하는 것과,
상기 축광 구조의 어레이 위에 봉지 구조의 어레이를 형성하되, 상기 봉지 구조의 경도가 상기 소프트 버퍼층의 경도보다 더 큰 것을 포함하는 패키지 구조의 어레이를 형성하는 단계; 및
상기 패키지 구조의 어레이를 싱귤레이트하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.
A method of manufacturing a light emitting device,
Arranging a plurality of flip chip LED semiconductor die on a release layer to form an array of flip chip LED semiconductor die;
Forming an array of package structures coupled over the array of flip chip LED semiconductor dies,
Spraying or spin coating a liquid polymeric material onto the array of flip chip LED semiconductor die to form an array of soft buffer layers on top of the array of flip chip LED semiconductor dice, each soft buffer layer comprising an upper portion and an end portion, A plurality of LED semiconductor die encapsulant layers disposed on an upper surface of each LED semiconductor die and disposed at the ends to cover an edge surface of each LED semiconductor die and the upper convex surface of the soft buffer layer is adjacent to an extension surface of the end portion of the soft buffer layer And,
Forming an array of phosphorescent structures on the array of soft buffer layers along the convex surface and the extended surface,
Forming an array of encapsulation structures over the array of phosphorescent structures, wherein the encapsulation structure has a hardness that is greater than a hardness of the soft buffer layer; And
Lt; RTI ID = 0.0 > 1, < / RTI > and singulating the array of package structures.
상기 소프트 버퍼층의 어레이 위에 상기 축광 구조의 어레이를 형성하는 것은, 캐리어 기판을 이용하여 상기 소프트 버퍼층의 어레이로 커버되는 상기 플립칩 LED 반도체 다이의 어레이를 프로세스 챔버로 이동시키는 것;
축광 물질의 층을 상기 캐리어 기판의 표면 위에 배치하는 것; 및
상기 축광 물질의 층 위에 고분자 바인더층을 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Forming the array of phosphorescent structures over the array of soft buffer layers comprises moving an array of flip chip LED semiconductor die covered by the array of soft buffer layers to a process chamber using a carrier substrate;
Disposing a layer of phosphorescent material on the surface of the carrier substrate; And
And forming a polymeric binder layer on the layer of the phosphorescent material.
상기 축광 구조의 어레이 위에 상기 봉지 구조의 어레이를 형성하는 것은, 스프레이 프로세스, 스핀코팅 프로세스, 몰딩 프로세스 또는 투여 프로세스를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein forming the array of encapsulation structures over the array of phosphorescent structures comprises a spray process, a spin coating process, a molding process, or a dosing process.
상기 패키지 구조의 어레이를 싱귤레이트하기 전 또는 후에, 상기 이형층을 제거하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Further comprising the step of removing said release layer before or after singulation of said array of package structures.
상기 축광 구조의 어레이 위에 상기 봉지 구조의 어레이를 형성하는 것은, 상기 봉지 구조의 어레이 위에 마이크로 구조 렌즈 어레이층을 형성하는 것을 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.
11. The method of claim 10,
Wherein forming the array of encapsulation structures over the array of phosphorescent structures comprises forming a microstructured lens array layer over the array of encapsulation structures.
상기 마이크로 구조 렌즈 어레이 층과 상기 봉지 구조의 어레이를 형성하는 것은 단일 몰딩 프로세스를 포함하는 것을 특징으로 하는 발광 디바이스 제조 방법.15. The method of claim 14,
Wherein forming the array of microstructured lens array layers and the encapsulation structure comprises a single molding process.
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW104144441 | 2015-12-30 | ||
TW104144441A TWI581465B (en) | 2015-12-30 | 2015-12-30 | Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160183990A Division KR102091534B1 (en) | 2015-12-30 | 2016-12-30 | Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20190031450A true KR20190031450A (en) | 2019-03-26 |
Family
ID=59356421
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160183990A KR102091534B1 (en) | 2015-12-30 | 2016-12-30 | Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same |
KR1020190023328A KR20190031450A (en) | 2015-12-30 | 2019-02-27 | Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020160183990A KR102091534B1 (en) | 2015-12-30 | 2016-12-30 | Chip scale packaging light emitting device and manufacturing method of the same |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6596410B2 (en) |
KR (2) | KR102091534B1 (en) |
TW (1) | TWI581465B (en) |
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-
2015
- 2015-12-30 TW TW104144441A patent/TWI581465B/en active
-
2016
- 2016-12-29 JP JP2016257288A patent/JP6596410B2/en active Active
- 2016-12-30 KR KR1020160183990A patent/KR102091534B1/en active IP Right Grant
-
2019
- 2019-02-27 KR KR1020190023328A patent/KR20190031450A/en active Application Filing
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TW201724564A (en) | 2017-07-01 |
KR102091534B1 (en) | 2020-03-23 |
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JP6596410B2 (en) | 2019-10-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent |