KR101079384B1 - Examination apparatus for printed circuit board - Google Patents
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Abstract
본 발명은 인쇄회로기판의 검사장치에 관한 것으로, 본 발명에 따른 인쇄회로기판의 검사장치는 인쇄 회로기판의 검사를 위한 검사 신호를 출력하는 중계 기판; 일단이 상기 중계 기판과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 검사 핀; 및 상기 검사 핀을 둘러싸도록 상기 중계 기판에 형성되며, 인쇄회로기판과의 접촉에 의해 수축 및 회복 운도을 하는 것으로, 상기 수축에 의하여 상기 검사 핀의 타단을 외부로 노출하는 마스크 보드;를 포함한다.The present invention relates to a test apparatus for a printed circuit board, the test apparatus for a printed circuit board according to the present invention includes a relay substrate for outputting a test signal for the test of the printed circuit board; At least one inspection pin whose one end is electrically connected to the relay substrate; And a mask board formed on the relay board so as to surround the test pin, and contracting and recovering by contact with a printed circuit board, and exposing the other end of the test pin to the outside by the contraction.
본 발명에 따른 인쇄회로기판의 검사장치는 검사 공정이 수행되지 않을 때는 검사 핀이 외부로 노출되지 않는다. 이에 따라, 검사 장치의 보관 또는 검사 설비에 설치되는 도중에 외부환경 및 외력에 의하여 검사 핀이 파손될 위험이 없으며, 오검출의 발생 빈도가 낮은 장점을 갖는다. In the inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention, the inspection pin is not exposed to the outside when the inspection process is not performed. Accordingly, there is no risk that the test pin is broken by the external environment and external force during the storage or installation of the test equipment, and the frequency of false detection is low.
인쇄 회로기판, 전기 검사, 중계 기판, 마스크 보드, 검사 핀. Printed circuit board, electrical inspection, relay board, mask board, inspection pin.
Description
본 발명은 인쇄회로기판의 검사 장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 검사 핀이 파손될 위험이 적고, 기판 및 도전성 패드의 손상 가능성이 적은 인쇄회로기판의 검사장치에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an inspection apparatus for a printed circuit board, and more particularly, to an inspection apparatus for a printed circuit board having a low risk of damage to an inspection pin and a small possibility of damage to a substrate and a conductive pad.
일반적으로 인쇄회로기판은 수지와 같은 절연체로 제작된 판상의 표면에 동박을 적층하고, 이 적층된 동박에 회로설계에 기초한 패턴 인쇄 및 식각 등의 공정을 수행하여 배선 패턴을 형성하게 된다. 이러한 인쇄회로기판에의 각종 전자부품의 실장 및 적절한 회로의 구성 여부는 제품의 신뢰성과 직결되는 사항이다.In general, a printed circuit board laminates copper foil on a plate-like surface made of an insulator such as resin, and forms a wiring pattern by performing a process such as pattern printing and etching based on a circuit design on the laminated copper foil. The mounting of various electronic components on the printed circuit board and the configuration of appropriate circuits are directly related to the reliability of the product.
따라서 제작이 완료된 인쇄회로기판은 요소요소의 도전성 패드에 검사 핀을 접촉시켜 회로의 상태를 점검하는 검사공정이 수행되고 있다. 이러한 검사공정을 위해 여러 종류의 검사장치가 사용되고 있는데, 이는 검사 장치에 연결된 검사 핀을 인쇄회로기판의 해당 도전성 패드에 전기적으로 접촉시켜 전류의 흐름을 감지함으로써 검사를 수행하는 원리에 따른다.Therefore, in the completed printed circuit board, an inspection process for checking the state of the circuit is performed by contacting the inspection pin to the conductive pad of the element. Various kinds of inspection apparatuses are used for such an inspection process, and the inspection pins connected to the inspection apparatus are electrically contacted with the corresponding conductive pads of the printed circuit board to detect the flow of current to perform the inspection.
인쇄회로기판의 검사가 정확하게 이루어지기 위해서는 인쇄회로기판의 검사 대상이 되는 도전성 패드 모두가 각각 검사 핀에 접촉되어야 한다.In order to inspect the printed circuit board accurately, all of the conductive pads to be inspected of the printed circuit board must be in contact with the test pins.
도전성 패드에 검사 핀을 접촉시키는 방식은 검사 핀 앞에 인쇄회로 기판을 배치하고, 가이드 봉을 따라 슬라이드 이동하는 가압 판에 장착되어 있는 가압 핀이 인쇄회로기판을 가압하여 인쇄회로기판의 도전성 패드에 검사 핀을 접촉시킨다.In the method of contacting the test pin to the conductive pad, the printed circuit board is placed in front of the test pin, and the pressure pin mounted on the pressure plate that slides along the guide rod presses the printed circuit board to inspect the conductive pad of the printed circuit board. Touch the pin.
검사 공정을 위하여 인쇄회로기판에 검사 핀을 배치하거나, 검사 공정시 검사 핀에 의하여 인쇄회로기판의 도전성 패드가 손상될 수 있다. 또한, 돌출되어 있는 검사 핀이 도전성 패드에 미끄러져 인접 도전성 패드와 쇼트를 일으킬 수 있다. An inspection pin may be disposed on the printed circuit board for the inspection process, or the conductive pad of the printed circuit board may be damaged by the inspection pin during the inspection process. In addition, the protruding test pins may slip on the conductive pads and cause a short with the adjacent conductive pads.
또한, 검사 장치에서 검사 핀은 항상 돌출되어 있는 구조이므로, 외력에 의하여 파손될 우려가 있고, 기판에 휨이 발생한 경우, 검사 핀에 의하여 기판 및 도전성 패턴이 손상될 우려가 있다.In addition, since the inspection pin is always protruding in the inspection apparatus, the inspection pin may be damaged by an external force, and when the bending occurs in the substrate, the inspection pin may damage the substrate and the conductive pattern.
따라서, 인쇄회로기판의 검사 공정에서, 도전성 패드 및 기판의 손상을 줄이고, 오검출의 문제를 일으키지 않는 기판 검사장치가 요구되고 있다.Therefore, in the inspection process of a printed circuit board, the board | substrate test | inspection apparatus which reduces the damage of a conductive pad and a board | substrate and does not cause a problem of misdetection is calculated | required.
본 발명은 상기의 과제를 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 검사 핀이 파손될 위험이 적고, 기판 및 도전성 패드의 손상 가능성이 적은 인쇄회로기판의 검사장치를 제공하는 것이다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an inspection apparatus for a printed circuit board having a low risk of damaging the inspection pins and less likely to damage the substrate and the conductive pad.
상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 실시형태는 인쇄 회로기판의 검사를 위한 검사 신호를 출력하는 중계 기판; 일단이 상기 중계 기판과 전기적으로 연결되는 하나 이상의 검사 핀; 및 상기 검사 핀을 둘러싸도록 상기 중계 기판에 형성되며, 인쇄회로기판과의 접촉에 의해 수축 및 회복 운동을 하는 것으로,상기 검사 핀을 내부에 수용하나 인쇄 회로기판과 접촉시 수축에 의하여 상기 검사 핀의 타단을 외부로 노출시키는 마스크 보드;를 포함하는 인쇄 회로기판의 검사장치를 제공한다.In order to achieve the above object, an embodiment of the present invention includes a relay substrate for outputting an inspection signal for inspection of a printed circuit board; One or more inspection pins one end of which is electrically connected to the relay substrate; And a contracting and restoring motion formed on the relay board so as to surround the test pin, and contracting and restoring by contact with a printed circuit board. It provides a test apparatus for a printed circuit board comprising; a mask board for exposing the other end of the outside.
상기 마스크 보드는 탄성부재를 포함하고, 상기 탄성부재의 탄성회복 운동에 의하여 상기 수축 및 회복 운동이 수행될 수 있다.The mask board may include an elastic member, and the contracting and restoring movement may be performed by the elastic recovery movement of the elastic member.
상기 마스크 보드는 서로 이격되는 제1 절연판 및 제2 절연판과 상기 제1 및 2 절연판 사이에 개재되어, 상기 제1 및 제2 절연판을 지지하는 지지핀을 포함할 수 있다.The mask board may include support pins interposed between the first and second insulating plates and the first and second insulating plates spaced apart from each other to support the first and second insulating plates.
또는 상기 마스크 보드는 적층된 복수개의 단위 절연판을 포함하는 것으로, 상기 단위 절연판의 각 일단은 하부에 적층되는 단위 절연판과 연결되고, 각 타단 은 상부에 적층되는 단위 절연판과 연결되는 구조에 의하여 상기 수축 및 회복 운동이 수행될 수 있다.Alternatively, the mask board includes a plurality of stacked unit insulating plates, each end of the unit insulating plate being connected to a unit insulating plate stacked below, and the other end thereof being contracted by a structure connected to a unit insulating plate stacked above. And recovery exercises can be performed.
또는 마스크 보드는 적층된 복수개의 단위 절연판을 포함하고, 상기 단위 절연판은 X자로 연결된 링크에 의하여 연결되고, 상기 링크의 접철에 의하여 상기 수축 및 회복 운동이 수행될 수 있다.Alternatively, the mask board may include a plurality of stacked unit insulating plates, and the unit insulating plates may be connected by X-linked links, and the contracting and restoring movement may be performed by folding the links.
상기 마스크 보드는 상기 하나 이상의 검사 핀 전체가 관통하는 하나의 홀을 포함할 수 있다.The mask board may include one hole through which all of the one or more inspection pins pass.
또는 상기 마스크 보드는 상기 하나 이상의 검사 핀이 각각 관통할 수 있는 다수의 홀을 포함할 수 있다.Alternatively, the mask board may include a plurality of holes through which the at least one inspection pin may pass.
상기 마스크 보드는 인쇄 회로기판과 접촉되는 면에 단차부가 형성될 수 있고, 상기 단차부는 절연부재의 장착에 의하여 형성될 수 있다.The mask board may have a stepped portion formed on a surface in contact with the printed circuit board, and the stepped portion may be formed by mounting an insulating member.
본 발명에 따른 인쇄회로기판의 검사장치는 검사 공정이 수행되지 않을 때는 검사 핀이 외부 영역으로 노출되지 않는다. 이에 따라, 검사 장치의 보관 또는 검사 설비에 설치되는 도중에 외부환경 및 외력에 의하여 검사 핀이 파손될 위험이 없으며, 오검출의 발생 빈도가 낮은 장점을 갖는다.In the inspection apparatus of the printed circuit board according to the present invention, the inspection pin is not exposed to the external area when the inspection process is not performed. Accordingly, there is no risk that the test pin is broken by the external environment and external force during the storage or installation of the test equipment, and the frequency of false detection is low.
또한, 인쇄회로기판의 검사 장치를 검사 설비에 설치하거나, 검사 공정 중에 기판 및 도전성 패드의 손상을 방지할 수 있다.In addition, the inspection apparatus of the printed circuit board can be installed in the inspection facility, or damage to the substrate and the conductive pad can be prevented during the inspection process.
또한, 마스크 보드에 형성되는 단차부에 의하여 인쇄회로기판에 휨이 발생하 더라도 기판을 눌러주어 휨이 없는 상황에 가깝게 만들어 줄 수 있다.In addition, even if warpage occurs in the printed circuit board by the stepped portion formed on the mask board can press the substrate to make it close to the situation without warpage.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시형태들을 설명한다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
그러나, 본 발명의 실시형태는 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 이하 설명하는 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명의 실시형태는 당 업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소들의 형상 및 크기 등은 보다 명확한 설명을 위해 과장될 수 있으며, 도면상의 동일한 부호로 표시되는 요소는 동일한 요소이다.However, embodiments of the present invention may be modified in various other forms, and the scope of the present invention is not limited to the embodiments described below. In addition, embodiments of the present invention are provided to more completely describe the present invention to those skilled in the art. Accordingly, the shape and size of elements in the drawings may be exaggerated for clarity, and the elements denoted by the same reference numerals in the drawings are the same elements.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 인쇄 회로기판의 검사 장치 및 이용한 인쇄 회로 기판의 검사 방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 and 2 are cross-sectional views schematically showing an inspection apparatus for a printed circuit board and an inspection method for a used printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2을 참조하면, 본 실시 형태에 따른 인쇄 회로기판의 검사 장치는 인쇄회로기판의 검사를 위한 검사 신호를 출력하는 중계 기판(10); 일단이 상기 중계 기판과 전기적으로 연결되는 적어도 하나 이상의 검사 핀(20); 상기 검사 핀을 둘러싸도록 상기 중계 기판에 형성되며, 인쇄회로기판과의 접촉에 의해 수축 및 회복을 하는 것으로, 상기 수축에 의하여 상기 검사 핀의 타탄을 외부로 노출하는 마스크 보드(30)를 포함한다.1 and 2, an inspection apparatus of a printed circuit board according to the present embodiment includes a
중계 기판(10)은 검사 본체(미도시)와 전기적으로 연결된다. 검사 본체는 인쇄회로기판의 검사를 위한 검사 신호를 출력하고, 검사 핀에 의하여 인쇄회로기판을 통과한 후 돌아오는 검출 신호를 입력 받아, 인쇄회로기판에 대한 전기 검사 결과를 판정한다.The
이를 위하여 검사 본체는 상기 중계 기판(10)에 검사 신호를 전송하고, 상기 중계 기판(10)은 검사 신호를 출력하여 상기 중계 기판과 일단이 전기적으로 연결된 검사 핀(20)에 전달한다.To this end, the inspection body transmits a test signal to the
상기 검사 핀(20)의 일단은 상기 중계 기판(10)과 전기적으로 연결되어, 중계 기판(10)으로부터 검사 신호를 전송받는다. 상기 검사 핀(20)의 타단은 인쇄회로기판(60)의 도전성 패드(60a)와 접촉하는 영역으로써, 마스크 보드(30)의 수축 및 회복 운동에 따라 선택적으로 외부로 노출된다. 상기 검사 핀(20)의 타단은 인쇄 회로기판의 전기 검사 공정이 수행되지 않을 때는 마스크 보드(30)에 의하여 외부로 노출되지 않고, 검사 시에만 외부로 노출된다. One end of the
따라서, 검사 장치의 보관 또는 검사 설비에 설치되는 도중에 외부환경 및 외력에 의하여 검사 핀이 파손될 위험이 없다.Therefore, there is no risk that the test pin is broken by the external environment and external force during the storage of the test device or the installation of the test facility.
상기 마스크 보드(30)는 상기 검사 핀(20)을 둘러싸도록 상기 중계 기판(10)에 형성되며, 수축 및 회복 운동을 하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에서 “수축 및 회복 운동”은 중계 기판(10)과 검사 대상인 인쇄회로기판(60)이 사이의 공간에 마스크 보드의 이동을 정의하는 것으로, 인쇄회로기판(60)으로부터 상기 중계 기판(10)의 방향으로 이동하는 것을 “수축”으로 정의하고, 중계 기판(10)로부터 인쇄회로기판(60)의 방향으로 이동하는 것을“회복”으로 정의한다. The
도 1에 도시된 바와 같이, 상기 마스크 보드(30)는 검사 핀(20)을 둘러싸도록 형성된 것으로, 상기 검사 핀(20)의 타단은 상기 마스크 보드(30)에 의하여 외부로 노출되지 않는다.As shown in FIG. 1, the
도 2는 인쇄회로기판의 전기 검사 공정이 진행되는 과정을 도시한 것이다. 이를 참조하면, 상기 중계 기판(10)에 외부 압력이 가해지면 상기 마스크 보드(30)는 인쇄회로기판과 접촉한다. 이의 경우, 상기 마스크 보드(30)는 인쇄회로기판과의 접촉에 의하여 수축 운동을 하게 되고, 이에 따라, 상기 검사 핀(20)의 타단이 외부영역으로 노출된다. 노출된 검사 핀(20)의 타단은 인쇄회로 기판(60)의 도전성 패드(60a)에 접촉한다. 상기 검사 핀(20)은 검사 본체 및 중계 기판(10)으로부터 인쇄회로기판(60)의 전기 검사를 위한 검사 신호를 전달 받고, 인쇄회로기판(60)을 통과한 검출 신호를 검사 본체로 전달한다. 검사 본체는 검사 핀(20)에 의하여 인쇄회로기판을 통과한 후 돌아오는 검출 신호를 입력 받아 인쇄회로기판에 대한 전기 검사 결과를 판정한다.2 illustrates a process of an electrical inspection process of a printed circuit board. Referring to this, when an external pressure is applied to the
상기 중계 기판에 가해진 외부 압력이 제거되면, 마스크 보드(30)는 인쇄회 로 기판(60)에서 멀어지고, 이에 따라, 마스크 보드(30)는 회복 운동을 하게 된다. 이에 따라, 상기 검사 핀(20)의 외부로 돌출된 타단은 다시 마스크 보드 내에 위치하게 된다.When the external pressure applied to the relay board is removed, the
상기 마스크 보드는 상기 하나 이상의 검사 핀이 연결된 중계 기판에 형성되는 것으로, 상기 하나 이상의 검사 핀 전체를 둘러싸도록 형성될 수 있다(미도시). 즉, 하나 이상의 검사 핀 전체가 관통하는 하나의 홀을 포함할 수 있다. The mask board is formed on the relay substrate to which the one or more test pins are connected, and may be formed to surround the whole of the one or more test pins (not shown). That is, one or more test pins may include one hole through which the whole test pin passes.
또한, 도 1에 도시된 바와 같이, 각각의 검사 핀이 관통할 수 있는 다수의 홀을 포함할 수 있다. 즉, 마스크 보드의 다수의 홀에 의하여, 각각의 검사 핀(20)이 둘러쌓일 수 있다.In addition, as shown in FIG. 1, each test pin may include a plurality of holes through which the test pins can pass. That is, each
상기 마스크 보드(30)는 서로 이격된 제1 절연판(31) 및 제2 절연판(33)과 상기 제1 절연판(31) 및 제2 절연판(32) 사이에 개재되어 상기 제1 및 제2 절연판을 지지하는 지지 핀(32)을 포함할 수 있다. 또한 상기 제1 절연판(31) 또는 제2 절연판(32)은 복수 개의 단위 절연판을 포함할 수 있다.The
상기 마스크 보드(30)가 제1 및 제2 절연판(31, 33)과 지지핀(32)을 포함함에 따라, 인쇄회로기판의 전기 검사시 검사 핀(20)에 압력이 가해지는 경우, 각각의 단위 절연판이 서로 미끄러지면서, 검사 핀(20)에 가해지는 압력을 분산시킬 수 있다.As the
이에 따라, 검사 핀(20) 및 도전성 패드(60a)의 손상을 방지할 수 있다.Thereby, damage to the
상기 마스크 보드(30)는 탄성부재(40)를 포함할 수 있다. 탄성 부재(40)를 포함함으로써, 마스크 보드(30)는 상기 탄성 부재(40)의 탄성회복운동에 따라 수축 및 회복 운동을 할 수 있다. 상기 탄성 부재는 특별히 제한되지 않으며, 예를 들면, 스프링 등을 사용할 수 있다. The
상기 탄성 부재의 형성위치는 특별히 제한되지 않는다. 도시되지 않았으나, 상기 중계 기판(10)와 마스크 보드의 경계면에 구비될 수 있다.The formation position of the elastic member is not particularly limited. Although not shown, the
또는, 도 1에 도시된 바와 같이, 마스크 보드를 구성하는 제2 절연판(33) 사이에 구비될 수 있다.Alternatively, as shown in FIG. 1, the second insulating
또한, 상기 마스크 보드는 복수개의 단위 절연판을 포함하고, 상기 단위 절연판의 적층 구조에 의하여 수축 및 회복 운동을 할 수 있다. In addition, the mask board may include a plurality of unit insulating plates, and the contracting and restoring motion may be performed by the laminated structure of the unit insulating plates.
도 3은 상기 마스크 보드를 구성하는 제2 절연판(33)의 다른 실시 형태를 도시한 것이다. 도 3의 점선은 제2 절연판(33) 상에 형성된 관통 홀을 의미한다.3 shows another embodiment of the second insulating
도 3을 참조하면, 제2 절연판(33)은 적층된 복수개의 단위 절연판을 포함하며, 상기 단위 절연판의 각 일단은 하부에 적층되는 단위 절연판과 연결되고, 각 타단은 상부에 적층되는 단위 절연판과 연결되는 구조에 의하여 마스크 보드(30)는 수축 및 회복 운동을 할 수 있다. 즉, 마스크 보드(30)가 인쇄회로기판과 접촉되는 경우 상기 복수개의 단위 절연판은 겹쳐지게 되고, 마스크 보드(30)는 수축 운 동을 하게 된다.Referring to FIG. 3, the second insulating
즉, 제1의 단위 절연판(33a)의 일단은 하부에 적층되는 제2의 단위 절연판(33b)과 연결되고, 제2의 단위 절연판(33b)의 일단은 하부에 적층되는 제3의 단위 절연판(33c)과 연결되고, 타단은 상부에 적층되는 제1 단위 절연판(33a)과 연결된다. 단위 절연판 간의 연결은 특별히 제한되지 않으나, 예를 들면 힌지(hinge) 등에 의하여 연결될 수 있고, 힌지의 접철에 의하여 수축 및 회복 운동을 할 수 있다. That is, one end of the first
도 4는 상기 마스크 보드를 구성하는 제2 절연판의 또 다른 실시 형태를 도시한 것이다. 이를 참조하면, 이를 참조하면, 제2 절연판(33)은 적층된 복수개의 단위 절연판(33a, 33b, 33c)을 포함하며, 상기 단위 절연판은 X자로 연결된 링크(L)에 의하여 연결되고, 상기 링크의 접철에 의하여 마스크 보드(30)는 수축 및 회복 운동을 할 수 있다. 즉, 마스크 보드(30)가 인쇄회로기판과 접촉되는 경우 상기 복수개의 단위 절연판은 겹쳐지게 되고, 마스크 보드(30)는 수축 운동을 하게 된다.4 shows another embodiment of the second insulating plate constituting the mask board. Referring to this, referring to this, the second insulating
또한, 상기 마스크 보드(30)는 인쇄회로기판과 접촉되는 면에 단차부(50)가 형성될 수 있다. 상기 단차부(50)는 마스크 보드(30)에 절연재를 부착하여 형성할 수 있다. 상기 마스크 보드(30)의 단차부는 인쇄회로기판의 도전성 패드(60a) 사이에 위치할 수 있다. 상기 단차부(50)에 의하여 인쇄회로기판에 휨이 발생하더라 도 기판을 눌러주어 휨이 없는 상황에 가깝게 만들어 줄 수 있다. 이에 따라 검사 핀에 의한 도전성 패드 및 기판의 손상을 방지할 수 있으며, 오검출의 발생 빈도가 낮은 장점을 갖는다. In addition, the
본 발명은 상술한 실시 형태 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니며, 첨부된 청구범위에 의해 한정하고자 한다. 따라서, 청구범위에 기재된 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당 기술분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 형태의 치환, 변형 및 변경이 가능할 것이며, 이 또한 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다.The present invention is not limited by the above-described embodiments and the accompanying drawings, but is intended to be limited only by the appended claims. It will be apparent to those skilled in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. something to do.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시 형태에 따른 인쇄 회로기판의 검사 장치 및 이용한 인쇄 회로 기판의 검사 방법을 개략적으로 나타내는 단면도이다.1 and 2 are cross-sectional views schematically showing an inspection apparatus for a printed circuit board and an inspection method for a used printed circuit board according to an embodiment of the present invention.
도 3은 마스크 보드의 다른 실시 형태를 개략적으로 나타내는 단면도이다. 3 is a cross-sectional view schematically showing another embodiment of the mask board.
도 4는 마스크 보드의 또 다른 실시 형태를 개략적으로 나타내는 단면도이다.4 is a cross-sectional view schematically showing still another embodiment of the mask board.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명> <Description of the symbols for the main parts of the drawings>
10: 중계 기판 20: 검사 핀10: relay board 20: inspection pin
30: 마스크 보드 40: 탄성 부재30: mask board 40: elastic member
50: 단차부 60: 인쇄 회로기판50: stepped part 60: printed circuit board
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