KR100857060B1 - Moving unit for transferring glass plate - Google Patents

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KR1020070039263A
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손현호
박용석
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주식회사 디엠에스
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Abstract

A moving unit for transferring a substrate is provided to reduce a manufacturing cost by installing a stopper which is simple and operated with non-power, and reduce tack time of the whole process by removing the necessity for time required for controlling the stopper. A base transfer unit(9) transfers a base(11) as much as a predetermined distance. A substrate transfer unit(7) is installed in the base and transfers a substrate. A stopper(17) restricts movement of the substrate loaded on the substrate transfer unit. The stopper includes a body. The body is hinged with the base so as to rotate in a direction that the substrate moves. In the body, the center of gravity is disposed in its lower part. An upper end of the body is higher than a height that the substrate is disposed in the substrate transfer unit. In an upper part of the body, a rolling member is provided. The rolling member rotates in the same direction as a direction that the substrate is transferred.

Description

기판 이송용 무빙 유닛{Moving unit for transferring glass plate}Moving unit for transferring glass plate

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 구성도이다.1 is a configuration diagram for explaining an embodiment of the present invention.

도 2는 본 발명의 실시 예를 설명하기 위하여 개략적으로 도시한 사시도이다.2 is a schematic perspective view for explaining an embodiment of the present invention.

도 3은 본 발명의 제1 실시 예를 상세하게 설명하기 위한 도면이다.3 is a view for explaining a first embodiment of the present invention in detail.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예를 상세하게 설명하기 위한 도면이다.4 is a view for explaining a second embodiment of the present invention in detail.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

1 : 제1 고정식 이송 유닛 3 : 제2 고정식 이송 유닛1: first fixed transfer unit 3: second fixed transfer unit

5 : 무빙 유닛 7 : 기판 이송부 9 : 베이스 이송부5 moving unit 7 substrate transfer unit 9 base transfer unit

11 : 베이스 13 : 롤러 15, 25 : 구동원11 base 13 roller 15, 25 drive source

17 : 스토퍼 21 : 마운트 23 : 가이드 17: stopper 21: mount 23: guide

27 : 동력전달부재 31 : 바디 33 : 무게추27: power transmission member 31: body 33: weight

35 : 구름부재 37, 53 : 힌지 결합부 39 : 걸림부 35: rolling member 37, 53: hinge coupling portion 39: locking portion

50 : 스토퍼 51 : 바디 51a : 라운드 부50: stopper 51: body 51a: round part

55 : 걸림부55: locking part

본 발명은 기판 이송용 무빙 유닛(Moving unit)에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 기판의 이동거리가 긴 경우에 사용될 수 있으며 안정성을 증대시킬 수 있는 기판 이송용 무빙 유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a moving unit for transporting a substrate, and more particularly, to a moving unit for transporting a substrate, which can be used when a moving distance of a substrate is long and can increase stability.

일반적으로 평판 디스플레이(FPD; Flat Panel Display), LCD, 포토 마스크용글라스 등에 사용되는 기판은 일련의 처리 라인을 거치면서 에칭, 스트립, 린스 등의 과정을 거친 후 세정을 하게 된다. 이때 기판의 처리 라인 사이에는 기판을 이송하기 위한 이송장치들이 필수적으로 적용된다. 특히, 기판의 이송 라인이 길거나 또는 처리 라인 사이의 거리가 먼 경우에는 기판을 이송하는 유닛 자체가 엘엠 가이드(LM guide) 등을 따라 이동하는 무빙 유닛(Moving unit)이 설치될 수 있다. 즉, 무빙 유닛은 기판이 올려진 상태로 그 자체가 별도의 구동원에 의하여 엘엠 가이드 등을 따라 이동하여 기판을 전달할 수 있는 장치이다. 이러한 무빙 유닛은 기판이 올려진 상태로 무빙 유닛이 이동하게 되는 경우에 관성력에 의하여 기판의 위치가 가변될 수 있다. 이와 같이 기판이 이동하는 중에 기판의 위치가 바뀌면 이송 작업 자체가 원활하지 않을 뿐만 아니라 기판에 손상이 발생되어 불량을 초래할 수 있다. 따라서 무빙 유닛의 일측에 기판의 이동을 제한할 수 있는 스토퍼(stopper)가 배치된다. 이러한 스토퍼는 통상적으로 공기압을 이용하는 업 다운(up-down)용 에어 실린더(air cylinder) 또는 전기를 이용하는 모터 등이 사용될 수 있다. 이러 한 스토퍼는 제조 비용이 증대되고 외부의 동력을 필요로 하는 단점이 있다. 또한, 종래의 스토퍼는 별도의 제어장치에 의하여 작동하는 시간이 필요하므로 전체 공정의 택 타임(tack time)이 증가될 수 있는 문제점이 있다.In general, substrates used in flat panel displays (FPDs), LCDs, glass for photo masks, etc. are cleaned after going through a series of processing lines such as etching, stripping and rinsing. At this time, a transfer device for transferring the substrate is essentially applied between the processing lines of the substrate. In particular, when the transfer line of the substrate is long or the distance between the processing lines is long, a moving unit in which the unit for transferring the substrate moves along the LM guide or the like may be installed. That is, the moving unit is a device capable of transferring the substrate by moving along the LM guide by itself as a separate driving source while the substrate is raised. The moving unit may be changed in position by the inertial force when the moving unit is moved while the substrate is raised. As such, if the position of the substrate is changed while the substrate is moving, the transfer operation itself may not be smooth, and damage may occur to the substrate, resulting in a defect. Therefore, a stopper is disposed on one side of the moving unit to limit the movement of the substrate. The stopper may be an air cylinder for up-down or a motor using electricity. Such a stopper has the disadvantage of increasing the manufacturing cost and requiring external power. In addition, since the conventional stopper needs time to be operated by a separate control device, there is a problem that the tack time of the entire process may be increased.

따라서 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로서, 본 발명의 목적은 간단한 구조로 제작하여 제조 비용을 줄일 수 있으며, 전체 공정의 택 타임을 줄일 수 있는 기판 이송용 무빙 유닛을 제공하는데 있다.Accordingly, the present invention has been proposed to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide a moving unit for transporting a substrate, which can be manufactured with a simple structure to reduce manufacturing costs and reduce the tack time of the entire process. .

상기의 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 베이스, 상기 베이스를 일정한 거리로 이동시키는 베이스 이송부, 상기 베이스에 설치되어 기판을 이송하는 기판 이송부, 상기 기판 이송부에 올려진 기판의 이동을 제한하는 스토퍼를 포함하며,In order to achieve the above object, the present invention provides a base, a base transfer unit for moving the base at a constant distance, a substrate transfer unit installed on the base to transfer the substrate, a stopper for limiting the movement of the substrate mounted on the substrate transfer unit Include,

상기 스토퍼는 상기 베이스에 기판이 진행되는 방향으로 회전되도록 힌지 결합되는 바디를 포함하며, 상기 바디는 무게 중심이 하부에 배치되고 기판이 기판 이송부에 배치되는 높이 보다 더 높은 위치에 상단이 제공되는 기판 이송용 무빙 유닛을 제공한다.The stopper includes a body hinged to the base to be rotated in a direction in which the substrate proceeds, wherein the body is provided with an upper end at a position higher than a height at which the center of gravity is disposed below and the substrate is disposed on the substrate transfer unit. Provide a moving unit for transportation.

상기 바디의 상부에는 기판이 이송되는 방향과 동일한 방향으로 회전하는 구름 부재가 제공되는 것이 바람직하다.Preferably, the upper part of the body is provided with a rolling member that rotates in the same direction as the direction in which the substrate is transferred.

상기 바디의 상부에는 기판이 인입되는 부분이 라운드 형태로 이루어진 라운드부를 구비하는 것이 바람직하다.The upper portion of the body is preferably provided with a round portion made of a round shape portion that the substrate is drawn.

상기 바디에는 기판의 인입 및 배출을 감지하는 감지 센서가 제공되는 것이 바람직하다.The body is preferably provided with a sensor for sensing the inlet and outlet of the substrate.

상기 바디에는 하부에 무게추가 결합되는 것이 바람직하다.The weight is preferably coupled to the lower body.

상기 베이스에는 바디의 이동을 제한하는 걸림부가 제공되는 것이 바람직하다.The base is preferably provided with a locking portion for limiting the movement of the body.

상기 베이스 이송부는 가이드들, 그리고 상기 가이드들을 따라 상기 베이스가 이동되도록 구동원을 전달하는 동력전달부재를 포함하는 것이 바람직하다.The base transfer unit preferably includes a guide and a power transmission member for transmitting a driving source to move the base along the guides.

상기 기판 이송부는 구동원, 상기 구동원을 전달하는 또 다른 동력전달부재, 상기 동력전달부재에 의하여 회전하는 다수의 회전 롤러들을 포함하는 것이 바람직하다.The substrate transfer unit preferably includes a drive source, another power transmission member for transmitting the drive source, and a plurality of rotating rollers rotated by the power transmission member.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 본 발명의 실시 예를 설명하기 위한 구성도로, 일정한 거리(D)를 두고 제1 고정식 이송 유닛(1) 및 제2 고정식 이송 유닛(3)이 배치되고, 그 사이에 본 발명의 실시 예인 무빙 유닛(5)이 배치된다. 제1 고정식 이송 유닛(1) 및 제2 고정식 이송 유닛(3)은, 고정된 위치에서 구동원에 의하여 회전하는 롤러들이 연속적으로 배치되어 기판을 이송시킬 수 있는 통상의 기판 이송 장치이다. 이러한 제1 고정식 이송 유닛(1)과 제2 고정식 이송 유닛(3)은 통상의 기판 이송 장치가 사용되므로 상세한 설명은 생략하기로 한다. 1 is a configuration diagram illustrating an embodiment of the present invention, in which a first fixed transfer unit 1 and a second fixed transfer unit 3 are disposed at a predetermined distance D, and the implementation of the present invention is performed therebetween. Towing moving unit 5 is disposed. The first stationary transport unit 1 and the second stationary transport unit 3 are conventional substrate transport apparatuses in which rollers that rotate by a drive source at a fixed position are continuously disposed to transport a substrate. Since the first fixed transfer unit 1 and the second fixed transfer unit 3 use a conventional substrate transfer device, a detailed description thereof will be omitted.

무빙 유닛(5)은 기판 이송부(7) 및 베이스 이송부(9)를 포함한다. 기판 이송부(7)는 베이스(11), 베이스(11)에 연속해서 설치되는 롤러(13)들, 이 롤러(13)들 을 회전시키는 구동원(15), 그리고 베이스(11)에 스토퍼(17)들이 결합된다. 베이스(1)는 통상의 프레임 등으로 이루어질 수 있으며 기판 이송부(7)를 이루는 기본적인 틀을 이루는 것이다. 그리고 롤러(13)들은 기판(G)을 이송시키기 회전축에 일정한 간격으로 회전 가능하게 배치된다. 이러한 롤러(13)들은 구동원(15)에 의하여 일정한 속도로 회전 가능한 구조로 배치된다. 이러한 기판 이송부(7)의 구조 역시 도면에 도시한 것과 본 발명의 실시 예의 설명에서 설명하는 내용에 한정되는 것은 아니며, 다양한 구조로 기판(G)을 이송시키는 구조가 사용될 수 있다.The moving unit 5 includes a substrate transfer part 7 and a base transfer part 9. The substrate transfer part 7 includes a base 11, rollers 13 continuously installed on the base 11, a drive source 15 for rotating the rollers 13, and a stopper 17 on the base 11. Are combined. The base 1 may be made of a conventional frame or the like, and forms a basic frame forming the substrate transfer part 7. And the rollers 13 are rotatably arranged at regular intervals on the rotation axis for transporting the substrate (G). These rollers 13 are arranged in a structure rotatable at a constant speed by the drive source 15. The structure of the substrate transfer unit 7 is also not limited to the contents shown in the drawings and described in the description of the embodiments of the present invention, and a structure for transferring the substrate G in various structures may be used.

한편, 베이스 이송부(9)는 베이스(11)에 고정되는 마운트(21)들, 이 마운트(21)의 이동을 안내하는 가이드(23)들, 그리고 마운트(21) 또는 베이스(11)를 이동시키기 위하여 또 다른 구동원(25)에 의하여 구동력을 전달하는 동력전달부재(27)를 포함한다. 즉, 도 2를 참조하면 기판 이송부(7)를 이송시킬 수 있는 하나의 예로, 엘엠 가이드로 이루어지는 가이드(23)들 위에 마운트(21)가 고정되고, 이 마운트(21)에 베이스(11)가 고정되는 것이다. 그리고 베이스(11) 또는 마운트(23)는 구동원(25) 및 나사식 스크류로 이루어지는 동력전달부재(27)에 의하여 일정한 거리가 이동될 수 있는 구조를 가진다. 나사식 스크류는 베이스(11)에 회전 가능하게 결합되어 나사식 스크류가 회전되는 것에 의하여 베이스(11)가 이동될 수 있다. 본 발명의 실시 예에서 베이스 이송부(9)는 하나의 실시 예를 설명하기 위한 것으로 상술한 예에 한정되는 것이 아니며 단지 기판 이송부(7) 전체를 이송시킬 수 있는 구조면 어느 것이나 가능하다. On the other hand, the base conveying part 9 moves the mounts 21 fixed to the base 11, guides 23 for guiding the movement of the mount 21, and the mount 21 or the base 11. In order to include a power transmission member 27 for transmitting a driving force by another drive source (25). That is, referring to FIG. 2, as an example of transferring the substrate transfer part 7, the mount 21 is fixed on the guides 23 formed of the L guide, and the base 11 is attached to the mount 21. It is fixed. In addition, the base 11 or the mount 23 has a structure in which a predetermined distance can be moved by the power transmission member 27 formed of the driving source 25 and the screw type screw. The threaded screw is rotatably coupled to the base 11 so that the base 11 can be moved by rotating the screwed screw. In the embodiment of the present invention, the base transfer unit 9 is for explaining one embodiment and is not limited to the above-described example, but may be any structure that can transfer the entire substrate transfer unit 7.

스토퍼(17)는 하나 또는 둘 이상이 설치될 수 있다. 스토퍼(17)는 기판 이송 부(7)가 이동될 때 기판(G)이 진행되는 방향을 기준으로 기판(G)이 뒤로 밀리는 것을 방지하기 위하여 베이스(11)에 설치된다. 도 3은 본 발명의 제1 실시 예를 설명하기 위하여 스토퍼(17)의 구조를 도시한 도면으로, 베이스(11)에 힌지 결합되는 바디(31), 바디(31)의 저면에 용접 또는 나사 결합되는 무게추(33), 그리고 바디(31)의 상부에 회전될 수 있도록 결합되는 구름부재(35)를 도시하고 있다. 바디(31)는 베이스(11)에 힌지 결합부(37)를 중심으로 기판(G)의 이동 방향으로 회전이 가능하게 배치된다. 그리고 바디(31)는 상부의 위치가 기판 이송부(7)의 롤러(13)들이 이루는 상부 위치의 높이에 비하여 좀 더 높은 위치(h1)에 배치된다. 그리고 바디(31)는 하부에 별도의 무게추(33)가 나사 결합이나 용접 등에 의하여 설치되는 것도 가능하며, 단지 무게 중심이 바디(31)의 하부에 있도록 구성하는 것도 가능하다. 이와 같이 바디(31)의 무게 중심이 바디(31)의 하부에 배치되거나 바디(31)의 하부에 무게추(33)가 결합되는 구조는, 바디(31)의 자중에 의하여 항상 원위치에 배치되도록 하기 위한 것이다. 그리고 바디(31)의 상부에는 기판(G)이 이동되는 방향으로 회전하는 롤러 등의 구름부재(35)가 배치되는 것이 바람직하다. 이 구름부재(35)는 기판(G)이 타고 이동될 수 있는 것이다. 한편으로 바디(31)의 이동을 제한하도록 하는 걸림부(39)가 베이스(11)에 결합될 수 있다. 이러한 걸림부(39)는 바디(31)의 상부가 기판(G)의 이동에 따라 힌지 결합부(37)를 중심으로 회전된 후 이동되는 기판(G)의 끝 부분이 바디(31)의 상부를 벗어나면 바디(31)가 자중에 의하여 원위치 되면서 걸림부(39)에 접촉하여 이동이 제한되도록 한다. 또 한편으로 바디(31)의 일측에 기판의 인입 및 배출을 감지하는 센서(40)가 결합되는 것도 가능하다. 이러한 센서(40)는 바디(31)가 이동이 완료된 상태를 측정하여 기판(G)이 인입된 시점이 완료된 상태를 센싱할 수 있는 것으로, 통상적인 위치감지센서 등이 사용될 수 있다. 이러한 센서(40)는 도시하지 않은 제어 장치에 신호를 전송할 수 있도록 연결된다. 따라서 이러한 센서(40)의 입력 신호에 따라 기판(G)이 무빙 유닛(5)에 올려진 상태를 확인 할 수 있다, 따라서 이러한 센서(40)의 역할은 무빙 유닛(5)이 이동하는 시점의 신호를 검출하여 신속하게 무빙 유닛(5)을 이동시킴으로서 택 타임을 줄일 수 있는 것이다.One or two or more stoppers 17 may be installed. The stopper 17 is installed in the base 11 to prevent the substrate G from being pushed back based on the direction in which the substrate G travels when the substrate transfer part 7 is moved. 3 is a view showing the structure of the stopper 17 to explain the first embodiment of the present invention, the body 31 is hinged to the base 11, welded or screwed to the bottom of the body 31 The weight 33 is to be shown, and the rolling member 35 is coupled to be rotated on the upper portion of the body 31. The body 31 is disposed on the base 11 so as to be rotatable in the moving direction of the substrate G about the hinge coupler 37. The body 31 is disposed at a higher position h1 than the height of the upper position formed by the rollers 13 of the substrate transfer part 7. In addition, the body 31 may be installed at the bottom by a separate weight 33 by screwing, welding, or the like, and may also be configured such that only the center of gravity is at the bottom of the body 31. As such, the structure in which the center of gravity of the body 31 is disposed below the body 31 or the weight 33 is coupled to the lower portion of the body 31 is always arranged in its original position by the weight of the body 31. It is to. And it is preferable that a rolling member 35 such as a roller that rotates in the direction in which the substrate G is moved above the body 31 is disposed. The rolling member 35 is a substrate (G) can be moved to ride. On the other hand, the locking portion 39 to limit the movement of the body 31 may be coupled to the base (11). The locking portion 39 is the upper end of the body 31 is rotated around the hinge coupling portion 37 in accordance with the movement of the substrate (G) end portion of the substrate (G) that is moved to the upper portion of the body 31 When the body 31 is in the original position by its own weight to contact the locking portion 39 to limit the movement. On the other hand, it is also possible to combine the sensor 40 for detecting the inlet and outlet of the substrate to one side of the body 31. The sensor 40 may sense a state in which the time point at which the substrate G is inserted is measured by measuring a state in which the body 31 is moved, and a general position sensor or the like may be used. The sensor 40 is connected to transmit a signal to a control device (not shown). Therefore, it is possible to confirm the state in which the substrate G is placed on the moving unit 5 according to the input signal of the sensor 40. Therefore, the role of the sensor 40 may be determined at the time when the moving unit 5 moves. By detecting the signal and moving the moving unit 5 quickly, the tack time can be reduced.

이와 같이 이루어지는 본 발명의 제1 실시 예의 작동 과정을 더욱 상세하게 설명한다. 기판(G)이 제1 고정식 이송 유닛(1)의 롤러들에 의하여 이동되면서 무빙 유닛(5)에 올려진다. 이때 기판(G)은 스토퍼(17)의 바디(31) 상부에 제공된 구름부재(35)를 타고 이동한다. 이 과정에서 바디(31)는 기판(G)이 이동되는 방향으로 기울어지면서 무빙 유닛(5)의 롤러(13)들에 전달된다. 기판(G)의 끝 부분이 바디(31)의 상부를 벗어나게 될 때, 바디(31)는 무게추(33)에 의하여 세워지는 방향으로 원위치된다. 이때, 걸림부(39)가 바디(31)의 이동을 제한하여 정위치에 멈추도록 한다. 그리고 무빙 유닛(5)은 기판(G)을 다른 제2 고정식 이송 유닛(3)에 전송하기 위하여 이동된다. 즉, 도 2에 도시하여 설명한 구동원(25)의 작동에 의하여 나사식 회전부재로 이루어진 동력전달부재(27)가 회전하면서 베이스(11)를 밀게 된다. 그러면 베이스(11)와 함께 고정된 마운트(21)들이 가이드(23)들을 따라 이동한다. 이때 기판 이송부(7) 전체가 이송되며, 기판(G)은 관성력에 의하여 스토퍼(17)의 바디(31) 일면에 밀착되면서 기판(G)의 자세가 고정되는 것이다. 따라서 기판 이송 부(7)가 이동하는 경우에도 관성력에 의하여 가변될 수 있는 기판(G)의 자세를 유지할 수 있다. 특히 본 발명의 실시 예는 스토퍼(17)의 기능이 무게중심 또는 무게추에 의하여 정위치되는 기능을 가지고 있어 구조가 간단하여 생산비용을 줄일 수 있는 것이다. 또한 스토퍼(17)를 구동시키는 별도의 기능이나 시간이 필요하지 않으므로 전체적인 공정의 택 타임을 줄일 수 있는 것이다. 계속해서 기판 이송부(7)가 일정한 구간까지 가이드(23)를 따라 이동이 되면, 또 다른 구동원(15)의 구동에 의하여 롤러(13)들에게 구동력이 전달된다. 따라서 기판(G)은 기판 이송부(7)의 롤러(13)들을 타고 이동하여 제2 고정식 이송 유닛(3)으로 전달될 수 있는 것이다.The operation of the first embodiment of the present invention as described above will be described in more detail. The substrate G is placed on the moving unit 5 while being moved by the rollers of the first stationary transfer unit 1. At this time, the substrate G moves on the rolling member 35 provided on the body 31 of the stopper 17. In this process, the body 31 is transmitted to the rollers 13 of the moving unit 5 while inclining in the direction in which the substrate G is moved. When the end portion of the substrate G is out of the upper portion of the body 31, the body 31 is returned to its original position in the direction of the weight (33). At this time, the locking portion 39 to limit the movement of the body 31 to stop at the correct position. The moving unit 5 is then moved to transfer the substrate G to another second stationary transfer unit 3. That is, the power transmission member 27 made of a screw-type rotating member rotates and pushes the base 11 by the operation of the driving source 25 illustrated in FIG. 2. The mounts 21 fixed together with the base 11 then move along the guides 23. At this time, the entire substrate transfer part 7 is transferred, and the substrate G is in close contact with one surface of the body 31 of the stopper 17 by the inertial force, thereby fixing the attitude of the substrate G. Therefore, even when the substrate transfer part 7 moves, the posture of the substrate G, which may be varied by the inertial force, may be maintained. In particular, the embodiment of the present invention has a function that the stopper 17 has a function of being positioned by the center of gravity or weight, so that the structure is simple to reduce the production cost. In addition, since a separate function or time for driving the stopper 17 is not required, the overall process time can be reduced. Subsequently, when the substrate transfer part 7 moves along the guide 23 to a predetermined section, the driving force is transmitted to the rollers 13 by the driving of another driving source 15. Therefore, the substrate G may move on the rollers 13 of the substrate transfer part 7 and be transferred to the second stationary transfer unit 3.

도 4는 본 발명의 제2 실시 예를 설명하기 위한 도면으로, 더욱 간단한 구성으로 이루어지는 스토퍼를 도시하고 있다. 본 발명의 제2 실시 예에서 스토퍼 구조는 제1 실시 예와 비교하여 다른 부분만을 설명하고 제1 실시 예와 동일한 부분은 그 설명으로 대치한다. 본 발명의 제2 실시 예의 스토퍼(50)는, 바디(51)가 힌지 결합부(53)에 의하여 베이스(11)에 힌지 결합되어 있다. 그리고 바디(51)는 아랫부분에 무게 중심이 있도록 하여 항상 세워지는 형태로 배치된다. 그리고 바디(51)의 상부에는 라운드 부(51a)가 제공된다. 이 라운드 부(51a)는 기판(G)이 원활하게 이동되도록 하는 것이다. 바디(51)에는 위쪽 부분에 라운드부(51a) 및 모서리부가 있다. 라운드부(51a)는 이동되는 기판(G)의 앞쪽 부분에 접촉할 수 있다. 그리고 모서리부는 라운드부(51a)에 대응하는 반대쪽에 제공되며 기판(G)이 관성력에 의하여 이동하는 것을 제한할 수 있다. 본 발명의 제2 실시 예에서 바디(51)의 이동을 제한하는 걸림부(55)가 베이스(11)에 제공될 수 있다. 본 발명의 제2 실시 예에서도 제1 실시 예와 마찬가지로 바디(51)의 상부의 높이가 롤러(13)들의 위 부분의 높이보다 더 높게(h2) 이루어지는 것이 바람직하다. 이러한 본 발명의 제2 실시 예는 더욱 간단한 구성을 본 발명의 목적을 달성할 수 있는 것이다.4 is a view for explaining a second embodiment of the present invention, and shows a stopper having a simpler configuration. In the second embodiment of the present invention, the stopper structure describes only other parts as compared with the first embodiment, and the same parts as the first embodiment are replaced by the description. In the stopper 50 of the second embodiment of the present invention, the body 51 is hinged to the base 11 by the hinge coupling portion 53. And the body 51 is arranged in a form always standing so that the center of gravity in the lower portion. The upper part of the body 51 is provided with a round part 51a. The round portion 51a allows the substrate G to move smoothly. The body 51 has a round portion 51a and a corner portion at an upper portion thereof. The round part 51a may contact the front part of the substrate G to be moved. And the corner portion is provided on the opposite side corresponding to the round portion 51a and can limit the movement of the substrate G by the inertial force. In the second embodiment of the present invention, the locking portion 55 for limiting the movement of the body 51 may be provided in the base 11. In the second embodiment of the present invention, as in the first embodiment, it is preferable that the height of the upper portion of the body 51 is higher than the height of the upper portion of the rollers (h2). This second embodiment of the present invention is to achieve a simpler configuration of the present invention.

이와 같이 본 발명은 간단하며 무동력으로 작동되는 스토퍼를 설치하여 제조 비용을 줄일 수 있으며, 별도로 스토퍼를 제어하는 시간이 필요하지 않으므로 전체 공정의 택 타임(Tack time)을 줄일 수 있는 효과를 가진다.As such, the present invention can reduce the manufacturing cost by installing a stopper that is simple and powerless, and does not require time to control the stopper, thereby reducing the tack time of the entire process.

Claims (8)

베이스;Base; 상기 베이스를 일정한 거리로 이동시키는 베이스 이송부;A base transfer unit moving the base at a predetermined distance; 상기 베이스에 설치되어 기판을 이송하는 기판 이송부;A substrate transfer part installed on the base to transfer a substrate; 상기 기판 이송부에 올려진 기판의 이동을 제한하는 스토퍼;A stopper for limiting movement of the substrate placed on the substrate transfer unit; 를 포함하며,Including; 상기 스토퍼는 The stopper is 상기 베이스에 기판이 진행되는 방향으로 회전되도록 힌지 결합되는 바디를 포함하며, 상기 바디는 무게 중심이 하부에 배치되고 기판이 기판 이송부에 배치되는 높이 보다 더 높은 위치에 상단이 제공되고,The base includes a body hinged to rotate in the direction in which the substrate proceeds, the body is provided with an upper end at a position higher than the height of the center of gravity is disposed below and the substrate is disposed on the substrate transfer portion, 상기 바디의 상부에는 기판이 이송되는 방향과 동일한 방향으로 회전하는 구름 부재가 제공되는 기판 이송용 무빙 유닛.The moving unit for moving the substrate is provided in the upper portion of the body is provided with a rolling member that rotates in the same direction as the direction in which the substrate is transferred. 삭제delete 베이스;Base; 상기 베이스를 일정한 거리로 이동시키는 베이스 이송부;A base transfer unit moving the base at a predetermined distance; 상기 베이스에 설치되어 기판을 이송하는 기판 이송부;A substrate transfer part installed on the base to transfer a substrate; 상기 기판 이송부에 올려진 기판의 이동을 제한하는 스토퍼;A stopper for limiting movement of the substrate placed on the substrate transfer unit; 를 포함하며,Including; 상기 스토퍼는 The stopper is 상기 베이스에 기판이 진행되는 방향으로 회전되도록 힌지 결합되는 바디를 포함하며, 상기 바디는 무게 중심이 하부에 배치되고 기판이 기판 이송부에 배치되는 높이 보다 더 높은 위치에 상단이 제공되고,The base includes a body hinged to rotate in the direction in which the substrate proceeds, the body is provided with an upper end at a position higher than the height of the center of gravity is disposed below and the substrate is disposed on the substrate transfer portion, 상기 바디의 상부에는 기판이 인입되는 부분이 라운드 형태로 이루어진 라운드부를 구비한 기판 이송용 무빙 유닛.The moving unit for moving the substrate having a round portion formed in a round shape on the upper portion of the body the substrate is drawn. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 바디에는 기판의 인입 및 배출을 감지하는 감지 센서가 제공되는 기판 이송용 무빙 유닛.The moving unit for moving the substrate is provided with a sensing sensor for detecting the incoming and outgoing of the substrate. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 바디에는 하부에 무게추가 결합되는 기판 이송용 무빙 유닛.The moving unit for transferring the substrate coupled to the weight on the lower body. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 베이스에는 바디의 이동을 제한하는 걸림부가 제공되는 기판 이송용 무빙 유닛.The base is provided with a moving unit for moving the substrate to limit the movement of the body. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 베이스 이송부는The base transfer unit 가이드들, 그리고Guides, and 상기 가이드들을 따라 상기 베이스가 이동되도록 구동원을 전달하는 동력전달부재를 포함하는 기판 이송용 무빙 유닛.And a power transmission member for transmitting a driving source to move the base along the guides. 청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, The method according to claim 1 or 3, 상기 기판 이송부는The substrate transfer unit 구동원,Power Source, 상기 구동원을 전달하는 또 다른 동력전달부재,Another power transmission member for transmitting the drive source, 상기 동력전달부재에 의하여 회전하는 다수의 회전 롤러들을 포함하는 기판 이송용 무빙 유닛.Moving unit for substrate transfer comprising a plurality of rotating rollers rotated by the power transmission member.
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