JPH0222499A - Plating equipment - Google Patents
Plating equipmentInfo
- Publication number
- JPH0222499A JPH0222499A JP17292388A JP17292388A JPH0222499A JP H0222499 A JPH0222499 A JP H0222499A JP 17292388 A JP17292388 A JP 17292388A JP 17292388 A JP17292388 A JP 17292388A JP H0222499 A JPH0222499 A JP H0222499A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plating
- plated
- tank
- processing
- tanks
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007747 plating Methods 0.000 title claims abstract description 177
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 54
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 75
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 34
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 37
- 238000005238 degreasing Methods 0.000 abstract description 29
- 238000005554 pickling Methods 0.000 abstract description 26
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 24
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 17
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 33
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 32
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 15
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 8
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 8
- 229910001369 Brass Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010951 brass Substances 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 5
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012805 post-processing Methods 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021586 Nickel(II) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000238413 Octopus Species 0.000 description 1
- KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N boric acid Chemical compound OB(O)O KGBXLFKZBHKPEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004327 boric acid Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 239000013527 degreasing agent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000003032 molecular docking Methods 0.000 description 1
- QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L nickel dichloride Chemical compound Cl[Ni]Cl QMMRZOWCJAIUJA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L nickel sulfate Chemical compound [Ni+2].[O-]S([O-])(=O)=O LGQLOGILCSXPEA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910000363 nickel(II) sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- ZULUUIKRFGGGTL-UHFFFAOYSA-L nickel(ii) carbonate Chemical compound [Ni+2].[O-]C([O-])=O ZULUUIKRFGGGTL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002203 pretreatment Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000002990 reinforced plastic Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Electroplating Methods And Accessories (AREA)
Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
「産業上の利用分野」
この発明は特に高速メッキするのに好適なメッキ装置に
関し、メッキ処理に用いる複数の処理槽を円弧状に配置
すると共に、被メッキ物を搬送する搬送機構を前記円弧
の中心を回動中心として回動しかつ上下動するように構
成することにより、メッキ装置をコンパクト化できるよ
うにしたものである。Detailed Description of the Invention "Industrial Application Field" The present invention relates to a plating apparatus particularly suitable for high-speed plating, in which a plurality of processing tanks used for plating are arranged in an arc shape, and the objects to be plated are transported. The plating apparatus can be made more compact by configuring the conveying mechanism to rotate around the center of the circular arc and to move up and down.
「従来の技術」
メッキ液と被メッキ物との間に相対運動を与え、被メッ
キ物の表面のイオン拡散層を破壊して、低電圧で大電流
を流すことにより、メッキを高速に行う高速メッキ法が
提案されている。``Conventional technology'' A high-speed method that performs plating at high speed by applying relative motion between the plating solution and the object to be plated, destroying the ion diffusion layer on the surface of the object to be plated, and passing a large current at low voltage. A plating method has been proposed.
第20図は、そのような高速メッキ法を実施する従来の
メッキ装置を示すものである。第20図中符号lはメッ
キ室ユニットである。このメッキ室ユニットIの前後に
は、萌処理室ユニット2と後処理室ユニット3が設けら
れている。そしてこれらit1処理室ユニット2とメッ
キ室ユニット1と後処理室ユニット3は、順次直線状に
配置されている。そ1.て第21図に示すように、披メ
ッキ物4はiF!処理室lの投入口5から投入され、搬
送装置6・・によ−)で構成される搬送機構により各処
理槽7・・・内を順次移送される。こうj7てメッギ室
ユニシト1ζ4:送られノニ披メッキ物4は、第22図
に示十ように、同軸的に設けられたホルダー9,10に
よ、)でその両端から挟まれた状態でメッキ浴室+i内
?、二収容される。そ(7てメッキ浴室11内周に設け
られ)こT1極12とホルダー9あるいは10+こ通電
すると共に、メッキ浴室11に図中矢印aで示すように
、メッキ液を高速で流動させることによって、披−メッ
キ物4にメッキを施す。ついで、このように、メッキ処
理された披メッキ物4は、後処理室ユニット3に設+、
+られた搬送装置6・・・によって後処理室ユニット3
の各処理槽8・・を順次移送されて後処理されたあと、
排出013から取り出される。FIG. 20 shows a conventional plating apparatus that carries out such a high-speed plating method. Reference numeral 1 in FIG. 20 indicates a plating chamber unit. A plating chamber unit 2 and a post-processing chamber unit 3 are provided before and after the plating chamber unit I. These it1 processing chamber unit 2, plating chamber unit 1, and post-processing chamber unit 3 are arranged in a straight line in sequence. Part 1. As shown in FIG. 21, the plated object 4 is iF! The material is inputted from the input port 5 of the processing chamber 1, and is sequentially transferred within each processing tank 7 by a transfer mechanism constituted by a transfer device 6 . Then, the plated material 4 is sent to the megging chamber 1ζ4, and as shown in FIG. Inside the bathroom+i? , two accommodated. By energizing the T1 pole 12 (provided on the inner circumference of the plating bath 11) and the holder 9 or 10+, and flowing the plating solution at high speed into the plating bath 11 as shown by arrow a in the figure, The plating object 4 is plated. Then, the plated object 4 that has been plated in this way is placed in the post-processing chamber unit 3.
The post-processing chamber unit 3 is transported by the conveyor device 6...
After being sequentially transferred to each treatment tank 8 and subjected to post-treatment,
It is taken out from the discharge 013.
[発明が解決しようとする課題−j
このメッキ装置によれば、生産加工ラインのピッ千タイ
ムに同期した高速メッキ処理が可能なので、生産加工ラ
イン内に設置できる利点がある。[Problems to be Solved by the Invention-j According to this plating apparatus, high-speed plating processing can be performed in synchronization with the pitch time of the production processing line, so there is an advantage that it can be installed within the production processing line.
ところで生産加工ライン内に設置される装置は、より−
層のコンパクト化と生産性の向上が要求される。By the way, the equipment installed in the production processing line is more
A compact layer and improved productivity are required.
本発明は前記事情に鑑みてなされたもので、よりコンパ
クトで、生産性の高いメッキ装置を提供することを目的
とする。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a plating apparatus that is more compact and has high productivity.
]−課題を解決するための手段」
本発明のメッキ装置では、複数の処理槽を円弧状に配置
し、被メッキ物を搬送する搬送機構を前記円弧の中心を
回動中心として回動しかつ−L下動するように構成L7
、さらに被メッキ物を供給する供給機構と、メッキ処理
された被メッキ物を搬送機構から取り出す取外し機構を
設けることによって、前記目的を達成した。] - Means for Solving the Problems In the plating apparatus of the present invention, a plurality of processing tanks are arranged in an arc shape, and a transport mechanism for transporting the object to be plated is rotated about the center of the arc. -L7 configured to move downward
The above object was achieved by further providing a supply mechanism for supplying the plated object and a removal mechanism for taking out the plated object from the conveyance mechanism.
前記処理槽の水手断面形状を台形状にすると、処理槽を
最も無駄無く配置できる。If the cross section of the treatment tank is trapezoidal, the treatment tank can be arranged with the least waste.
またこれら各処理槽には処理剤供給装置を連設して、処
理剤を供給することか望ましい。Further, it is desirable that a processing agent supply device be connected to each of these processing tanks to supply the processing agent.
さらに、メッキ時に被メッキ物に通電する回路は、61
1記搬送機構を介1.て構成されることが望ましい。Furthermore, the circuit that supplies electricity to the object to be plated during plating is 61
1. Through the transport mechanism 1. It is desirable that the
[−作用 」
このような構成のメッキ装置lこあっては、まず供給機
構から送られてきた被メッキ物を搬送機構で保持する。[-Function] In the plating apparatus having such a structure, first, the object to be plated sent from the supply mechanism is held by the conveyance mechanism.
搬送機構は、被メッキ物を保持した状態で、下動して第
1の処理槽に被メッキ物を浸漬オる。第1の処理槽で披
メッキ物の処理が終了すると、搬送機構は−1−動して
被メッキ物を第1の処理槽から引き」二げる。このあと
搬送機構は所定角度回動1.て、第2の処理槽−にに被
メッキ物を移動させる。ついで搬送機構は、下動して被
メッキ物を第2の処理槽に浸漬する。第2の処理槽での
処理が終了すると、搬送機構は再び上動して第2処理槽
から被メッキ物を引き上げる。The transport mechanism moves downward while holding the object to be plated, and immerses the object in the first processing tank. When the processing of the plated object in the first processing tank is completed, the conveyance mechanism moves -1 to pull the plated object out of the first processing tank. After this, the transport mechanism rotates by a predetermined angle. Then, the object to be plated is moved to the second processing tank. The transport mechanism then moves downward to immerse the object to be plated into the second treatment tank. When the processing in the second processing tank is completed, the transport mechanism moves upward again to pull up the object to be plated from the second processing tank.
以上の動作を繰り返しながら搬送機構により披メッキ物
を搬送して円弧状に配置された各処理槽での処理が終了
すると、取外し機構により披メッキ物が搬送機構から取
り出されて、メッキ処理が完rする。While repeating the above operations, the plating object is transported by the transport mechanism, and when the processing in each processing tank arranged in an arc is completed, the plating object is taken out from the transport mechanism by the removal mechanism, and the plating process is completed. r.
I−一実施例1 (実施例1) 以下、本発明のメッキ装置の一実施例を説明する。I-1 Example 1 (Example 1) An embodiment of the plating apparatus of the present invention will be described below.
第1図は、このメッキ装置を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing this plating apparatus.
このメッキ装置には、メッキ処理を施すために必要な9
台の処理槽、すなわち電解脱脂槽2+、水洗槽22・・
・、酸洗11F23およびメッキ槽24と、披メッキ物
4を保持(7て搬送する搬送機構26と、該搬送機構2
6に被メッキ物4を供給する供給機構28と、メッキ処
理された披メッキ物4を搬送機構から取り出す取外12
機構29とによって概略構成されている。This plating equipment has 9 required for plating.
Processing tanks of the stand, namely electrolytic degreasing tank 2+, washing tank 22...
・The pickling 11F 23 and the plating tank 24, the transport mechanism 26 that holds (7) and transports the plating object 4, and the transport mechanism 2
a supply mechanism 28 that supplies the object 4 to be plated to 6; and a removal mechanism 12 that takes out the plated object 4 that has been plated from the conveyance mechanism.
It is roughly configured by a mechanism 29.
このメッキ装置では、9台の処理槽21.22・・・、
23.24が電解脱脂槽21、水洗槽22,22、酸洗
槽23、水洗槽22,22、メッキ槽24、水洗122
.22の順に時計回りに円弧状に配置されている。これ
らの処理槽21,2223.24は、円弧を12等分し
た各ブロックに入るように、水平断面はぼ台形状に形成
されており、台形の斜辺か接するように配置されている
。This plating equipment has nine processing tanks 21, 22...,
23 and 24 are electrolytic degreasing tank 21, washing tanks 22, 22, pickling tank 23, washing tanks 22, 22, plating tank 24, washing 122
.. They are arranged clockwise in the order of 22 in an arc shape. These processing tanks 21, 2223, and 24 have a trapezoidal horizontal cross section so as to fit into each block obtained by dividing an arc into 12 equal parts, and are arranged so that the hypotenuses of the trapezoid are in contact with each other.
そ1−2て、前記円弧を12等分した各ブロックのうち
連続する9ブロツクには前記処理槽21.22・・・、
23.24が前記の順序で配置され、残る3ブロツクの
部分には後述する供給機構28と取外1゜機構29が配
置されている。またこれらの槽2I22・・、23.2
4は、第2図に示すように、支持台26」二に設置され
ている。1-2, among the blocks obtained by dividing the arc into 12 equal parts, nine consecutive blocks are filled with the processing tanks 21, 22...,
23 and 24 are arranged in the above order, and the remaining three blocks are provided with a supply mechanism 28 and a removal 1° mechanism 29, which will be described later. Also, these tanks 2I22..., 23.2
4 is installed on a support stand 26'2, as shown in FIG.
電解脱脂槽21は、披メッキ物4に前処理である電解脱
脂処理を施す処理槽で、第3図、第4図および第5図に
示1ように、外箱30とバイブ31と電極32によって
概略構成されている。外箱:う0は、水平断面がほぼ台
形の中空直方体状に形成されている。この外箱30の蓋
板33には、被メッキ物4を挿入するための挿入口34
が穿設されている。またこの外箱30の底板35には、
排水rl 36が穿設されている。この排水口36は、
後述する脱脂液貯槽37に回収管を介して接続さイ1て
いる。さらに外箱30の底板35には、前記バイブ31
がq設されている。バイブ31は、その中空部分が外箱
30の挿入口34の真下に位置するように配置されてい
る。このバイブ31の上端と外箱30の盈板33との間
は、離間されている。このバイブ31の中空部の、J二
部には、前記電極32が収容されている。この’113
2はステンレス調によって形成されている。またバイブ
31の下部には、後述する脱脂液貯液$IF57からの
処理液供給管を接続するための接続部38が設けられて
いる。The electrolytic degreasing tank 21 is a processing tank that performs electrolytic degreasing treatment as a pretreatment on the plated material 4, and as shown in FIGS. It is roughly structured by. The outer box: U0 is formed in the shape of a hollow rectangular parallelepiped with a substantially trapezoidal horizontal cross section. The cover plate 33 of this outer box 30 has an insertion opening 34 for inserting the object to be plated 4.
is drilled. Also, on the bottom plate 35 of this outer box 30,
A drainage rl 36 is drilled. This drain port 36 is
It is connected to a degreasing liquid storage tank 37, which will be described later, via a recovery pipe. Furthermore, the vibrator 31 is provided on the bottom plate 35 of the outer box 30.
are set up. The vibrator 31 is arranged such that its hollow portion is located directly below the insertion opening 34 of the outer box 30. The upper end of this vibrator 31 and the top plate 33 of the outer box 30 are spaced apart from each other. The electrode 32 is accommodated in the J2 portion of the hollow portion of the vibrator 31. This '113
2 is made of stainless steel. Further, a connecting portion 38 is provided at the lower part of the vibrator 31 for connecting a processing liquid supply pipe from a degreasing liquid storage liquid $IF57, which will be described later.
前記水洗122は、前処理あるいは後処理としての水洗
いを行なう槽である。また前記酸洗槽23は、前処理と
しての酸洗いを行う槽である。これらの11722.2
3は同一の構造であって、第6図、第7図、第8図に示
すように構成されている。The water washing 122 is a tank that performs water washing as a pre-treatment or a post-treatment. Further, the pickling tank 23 is a tank that performs pickling as a pretreatment. These 11722.2
3 has the same structure, and is constructed as shown in FIGS. 6, 7, and 8.
(なおこれら水洗槽22と酸洗槽23の構造は、前記1
解脱脂槽21と類似した構造なので、同一構成部分には
同一の符号を付して説明を簡略化する)。(The structure of these washing tank 22 and pickling tank 23 is
Since it has a similar structure to the degreasing tank 21, the same components are given the same reference numerals to simplify the explanation.)
この水洗槽22(酸洗槽23)は、外箱30とバイブ4
0とによって概略構成されている。バイブ40は中空部
が大径に形成されており、その下部周壁には逃がし穴4
1.41が穿設されている。This washing tank 22 (pickling tank 23) includes an outer box 30 and a vibrator 4.
0. The vibrator 40 has a hollow part formed with a large diameter, and an escape hole 4 in the lower peripheral wall.
1.41 is drilled.
またバイブ40の下端には、接続部38が連設されてい
る。水洗槽22の場合、この接続部38は水道管に接続
される。また外箱30の排水口36は排水路に接続され
る。他方酸洗槽23の場合、接続部38には後述する酸
洗い用薬液貯槽43からの処理液供給管が接続され、外
箱30の排水口36には酸洗い薬液貯槽43からの回収
管が接続される。Further, a connecting portion 38 is connected to the lower end of the vibrator 40. In the case of the flush tank 22, this connection 38 is connected to a water pipe. Further, the drain port 36 of the outer box 30 is connected to a drainage channel. On the other hand, in the case of the pickling tank 23, a processing liquid supply pipe from a pickling chemical storage tank 43, which will be described later, is connected to the connection part 38, and a recovery pipe from the pickling chemical storage tank 43 is connected to the drain port 36 of the outer box 30. Connected.
+iij記メッキ槽24は、前処理された被メッキ物4
に電解メッキを施す処理槽である。このメッキW!24
は、第9図、第1O図および第11図に示す構造となっ
ている。(なおこのメッキ槽24の構造は、前記電解脱
脂槽21と類似した構造なので、同一構成部分には同一
の符号を付して説明を簡略化する)。+iii The plating tank 24 contains the pretreated object 4 to be plated.
This is a processing tank that performs electrolytic plating. This plating W! 24
has the structure shown in FIG. 9, FIG. 1O, and FIG. 11. (The structure of this plating tank 24 is similar to that of the electrolytic degreasing tank 21, so the same components are given the same reference numerals to simplify the explanation.)
メッキ槽24は、外箱30とメッキ浴部45と−L部電
極46、下部電極47とによって概略構成されている。The plating tank 24 is roughly composed of an outer box 30, a plating bath section 45, a -L section electrode 46, and a lower electrode 47.
メッキ浴部45は、」下パイプ部材49と下パイプ部材
50とから形成されている。これらバイブ部材49.5
0は連設された状態で外箱30の底板35に立設されて
いる。上ペイプ部材49の内周には、上部電極46が嵌
め込まれている。また下パイプ部材50の上部内周には
、前記上部電極46と若干離間して下部電極47が嵌め
込まれている。そして電極46.47に囲まれた空間は
メッキ浴室51とされている。これら電極46.47は
、チタン製の筒体からなるもので、その表面にはメッキ
液による腐食を防止すると共に通電を良くするために電
気抵抗の少ない白金メッキか施されている。これら電極
46.47の内径は、メッキ浴室51に挿入された被メ
ッキ物4との間に生じるスキマが、5.0mm以下にな
るように設定されている。このスキマが5.Olを越え
ると、メッキ液の流速が小さくなりメッキ速度が低下す
る不都合がある。これら電極46.47は、それぞれリ
ード52.53を介して電源の陽極に接続されている。The plating bath section 45 is formed from a lower pipe member 49 and a lower pipe member 50. These vibe members 49.5
0 are arranged upright on the bottom plate 35 of the outer box 30 in a continuous state. An upper electrode 46 is fitted into the inner periphery of the upper tape member 49. Further, a lower electrode 47 is fitted into the upper inner periphery of the lower pipe member 50 at a slight distance from the upper electrode 46 . The space surrounded by the electrodes 46 and 47 is a plating bath 51. These electrodes 46 and 47 are made of titanium cylinders, and their surfaces are plated with platinum, which has low electrical resistance, to prevent corrosion from the plating solution and to improve current conduction. The inner diameters of these electrodes 46 and 47 are set so that the gap between them and the object to be plated 4 inserted into the plating bath 51 is 5.0 mm or less. This gap is 5. If it exceeds O1, there is a disadvantage that the flow rate of the plating solution decreases and the plating speed decreases. These electrodes 46,47 are connected to the anode of the power source via leads 52,53, respectively.
itI記下パイプ部材50の下部には接続部38が連設
されており、この接続部38には後述するメッキ液貯F
f155からの処理液供給管が接続されている。また底
板35に設けられた排水口36.36は、回収管を介し
てメッキ液貯博55と接続されている。A connecting part 38 is connected to the lower part of the lower pipe member 50, and this connecting part 38 has a plating liquid storage F, which will be described later.
A processing liquid supply pipe from f155 is connected. Further, drain ports 36 and 36 provided in the bottom plate 35 are connected to the plating liquid storage 55 via a recovery pipe.
前記搬送機構26は、第1図および第2図に示すように
、駆動装置60と回動盤61と保持ユニット62・・・
とによって概略構成されている。As shown in FIGS. 1 and 2, the transport mechanism 26 includes a drive device 60, a rotary plate 61, a holding unit 62, and so on.
It is roughly composed of:
搬送機構26の駆動装置60は、回動盤61を所定角度
(この例では30度)づつ回動させると共に上下動せし
めるもので、前記処理槽21.22・・・、23.24
の配置された円弧の中心にその駆動fIII63か位置
するように配置されている。The drive device 60 of the transport mechanism 26 rotates the rotary plate 61 by a predetermined angle (30 degrees in this example) and moves it up and down, and drives the processing tanks 21, 22, 23, 24.
The driving fIII 63 is located at the center of the circular arc in which the driving fIII 63 is located.
また前記回動盤61は、保持ユニット62を支持するも
ので、駆動装置60の駆動軸63に取り付けられている
。またこの回動盤61は前記処理槽21.22・・・、
23.24の」ニガに配置されている。Further, the rotary disk 61 supports the holding unit 62 and is attached to a drive shaft 63 of the drive device 60. Moreover, this rotary plate 61 is connected to the processing tanks 21, 22, . . . ,
23.24” located in Niga.
前記保持ユニット62は、披メッキ物4を保持するもの
で、回動盤6Iの外周側に30度間隔で12個設けられ
ている。またこれら保持ユニット62・・・の回転中心
からの距離は、これら保持二ニット62・・・を結んで
できる円が、前記処理槽21゜22・・・、23.24
の挿入口34・・・を結ぶ円弧と合致するように設定さ
れている。The holding units 62 are for holding the plated object 4, and twelve holding units 62 are provided at 30 degree intervals on the outer circumferential side of the rotary plate 6I. Further, the distance from the center of rotation of these holding units 62... is such that the circle formed by connecting these two holding units 62...
It is set to coincide with the circular arc connecting the insertion ports 34 . . .
この保持ユニット62は、第12図に示すように被メッ
キ物4の一端の内部に緊密に挿入される黄銅製コレット
65と、このコレット65が螺合された黄銅製の接続ロ
ッド66と、この接続ロッド66が取り付けられた黄銅
製の軸部67と、この軸部67の上端に設けられた黄銅
製の受電ブロック68と、前記接続ロッド66の下端部
分をメッキされないように覆う、樹脂製のカバー69と
によって構成されている。前記軸部67の下端はっは状
に形成されており、前記処理槽21.22・・・23.
24の挿入口34を閉止するシール置部70となってい
る。この保持ユニット62は、軸部67に装着された樹
脂製の絶縁筒7Iを介して前記回動盤61に上下に摺動
可能に取り付けられている。またこの保持ユニット62
は、そのシール蓋部70と前記絶縁筒7!のフランジと
の間に配置されたスプリング73によって下方に付勢さ
れている。As shown in FIG. 12, this holding unit 62 includes a brass collet 65 that is tightly inserted into one end of the object to be plated 4, a brass connecting rod 66 to which this collet 65 is screwed, and a brass collet 65 that is tightly inserted into one end of the object to be plated. A brass shaft 67 to which the connecting rod 66 is attached, a brass power receiving block 68 provided at the upper end of the shaft 67, and a resin-made power receiving block 68 that covers the lower end of the connecting rod 66 to prevent it from being plated. and a cover 69. The lower end of the shaft portion 67 is formed into a burr shape, and the processing tanks 21, 22, 23, 23, 22, 22, 22, 22, 22, 22, 23, 22, 23, 23, 23, 23, 23, 23, 23, 23 3 3 c , 23 , 23 , 23, 23 .
It is a seal placement part 70 that closes the insertion opening 34 of 24. This holding unit 62 is attached to the rotary disk 61 via a resin insulating cylinder 7I attached to a shaft portion 67 so as to be slidable up and down. Also, this holding unit 62
The seal lid portion 70 and the insulating cylinder 7! is urged downward by a spring 73 disposed between the flange and the flange.
前記供給機構28は、前記搬送機構26に披メッキ物4
を供給するもので、第1図に示すように前記電解脱脂槽
21の近傍に配置されている。また11j記取外し機構
29は、メッキ処理された被メッキ物4を前記搬送機構
26から取り出ずもので、円弧状に配置された処理12
1.22・・・、23.24の終端の水洗槽22の近傍
に設けられている。The supply mechanism 28 supplies the plated object 4 to the conveyance mechanism 26.
As shown in FIG. 1, it is arranged near the electrolytic degreasing tank 21. Further, the removal mechanism 29 described in 11j is used to remove the plated object 4 from the conveyance mechanism 26, and removes the plated object 4 from the transfer mechanism 26.
1.22..., 23.24 are provided near the washing tank 22 at the end.
これら供給機構28と取外し機構29は、第13図、第
14図および第15図に示すように、水平方向に回転す
る回転ユニット80と、この回転ユニット80上に取り
付けられた昇降ユニット8Iと、この昇降ユニット8I
に設けられた進退ユニット82と、この進退ユニット8
2に設けられた被メッキ物4を把持するクランプアーム
83とによって概略構成されている。These supply mechanism 28 and removal mechanism 29, as shown in FIGS. 13, 14, and 15, include a rotation unit 80 that rotates in the horizontal direction, and a lifting unit 8I mounted on this rotation unit 80. This lifting unit 8I
The advancing/retracting unit 82 provided in the
2 and a clamp arm 83 for gripping the object 4 to be plated.
よたこのメッキ装置おいては、第1図に示すように、供
給機構28の側部にコンベアー85が配置されている。In Yota's plating apparatus, as shown in FIG. 1, a conveyor 85 is arranged on the side of the supply mechanism 28.
−支たコンベア85の供給機構28に近い端部には、コ
ンベアー85から送られてきた披メッキ物4を起立させ
るための、起立セット器86が設けられている。- An upright setting device 86 is provided at the end of the support conveyor 85 near the supply mechanism 28 for uprighting the plated object 4 sent from the conveyor 85.
他方取外し機構29の側部には、メッキ処理の完了した
被メッキ物4を収容する回収ボックス88が配置されて
いる。On the other hand, on the side of the removal mechanism 29, a collection box 88 is arranged to accommodate the plated object 4 that has been subjected to the plating process.
前記電解脱指槽21とメッキ漕24の部分には、第1図
に示すように、給電ユニット90.90が設けられてい
る。この給電ユニット90は、第2図に示すように、上
下動4°ろエアーシリンダ91と、このエアーシリンダ
ー91のピストンロッド92に絶縁材を介して取り付け
られた銅製の給電ブロック93とによって概略構成され
ている。そして給電ブロック93は、図示しない電源に
電気的に接続されている。As shown in FIG. 1, power supply units 90 and 90 are provided in the electrolytic deselecting tank 21 and the plating tank 24. As shown in FIG. As shown in FIG. 2, this power supply unit 90 is roughly composed of an air cylinder 91 that can move up and down by 4 degrees, and a copper power supply block 93 that is attached to a piston rod 92 of this air cylinder 91 via an insulating material. has been done. The power supply block 93 is electrically connected to a power source (not shown).
第1図に示すように、前記9台の処理槽21゜22・・
・、23.24のうち水洗槽22には、水道管と排水路
が接続されている。また電解脱指槽2Iには、脱脂液貯
槽37とポンプ97からなる処理剤供給装置が接続され
ている。この脱脂液貯槽37は、w4m強化プラスチッ
ク(FRP)製の容量20ρのもので、電解脱脂処理に
必要な処理剤が収容されている。またこの脱脂液貯槽3
7には、電気ヒータと温度計か取り付けられており、収
容された処理剤は約55±5℃に保たれている。As shown in Fig. 1, the nine processing tanks 21, 22...
A water pipe and a drainage channel are connected to the washing tank 22 of 23 and 24. Further, a processing agent supply device consisting of a degreasing liquid storage tank 37 and a pump 97 is connected to the electrolytic descaling tank 2I. This degreasing liquid storage tank 37 is made of W4m reinforced plastic (FRP) and has a capacity of 20 ρ, and contains a processing agent necessary for electrolytic degreasing. Also, this degreasing liquid storage tank 3
7 is equipped with an electric heater and a thermometer, and the processing agent contained therein is maintained at approximately 55±5°C.
また酸洗槽23には、酸洗い薬液貯tlF43とポンプ
98からなる処理剤供給装置が接縮されている。酸洗い
薬液貯槽43は、FRP製の容量20Qの槽で、酸洗い
に用いられる処理剤が収容されている。またこの酸洗い
薬液貯槽43には、電気ヒータと温度計か取り付けられ
ており、収容された処理剤は約55±5℃に保たれてい
る。Further, a processing agent supply device consisting of a pickling chemical storage tIF43 and a pump 98 is connected to the pickling tank 23. The pickling chemical storage tank 43 is a tank made of FRP and has a capacity of 20Q, and contains a processing agent used for pickling. Further, an electric heater and a thermometer are attached to this pickling chemical storage tank 43, and the processing agent contained therein is maintained at about 55±5°C.
Aij記メゾキ槽24には、メッキ液貯槽55とポンプ
99とからなる処理剤供給装置が接続されている。メッ
キ液貯槽55は、FRP製の容量40aの博で、メッキ
に用いられる処理剤が収容されている。またこのメッキ
液貯槽55には、ボイラーと温度計が取り付けられてお
り、収容されたメッキ液は約80±5℃に保たれている
。またこのメッキ貯槽55には、第1、第2、第3薬液
管理II01.102.+ 03が接続されている。第
1薬液管理槽101には、硫酸ニッケル(N iS O
、)と塩化ニッケル(NiC(L)とホウ酸(HsB
O3)の混合液が収容されている。第2薬液管理槽10
2には、PH8整に用いる炭酸ニッケル(NiCO3)
が収容されている。第3薬液管理槽103には光沢剤が
収容されている。そしてこれら第1ないし第3薬液管理
!101,102.+ 03に収容された薬液は、メッ
キ液貯155に設けられた積算電流計やP Hメータ、
レベル計等によってメッキ液貯槽55のメッキ液の組成
や液量が所定の管理値から外れたことが検知された場合
に、必要に応じてメッキ貯槽55に注入されるようにな
っている。A processing agent supply device consisting of a plating liquid storage tank 55 and a pump 99 is connected to the Aij mesoki tank 24 . The plating liquid storage tank 55 is made of FRP and has a capacity of 40a, and contains a processing agent used for plating. Further, a boiler and a thermometer are attached to this plating liquid storage tank 55, and the contained plating liquid is maintained at about 80±5°C. In addition, this plating storage tank 55 has first, second, and third chemical solution management II01.102. +03 is connected. The first chemical management tank 101 contains nickel sulfate (N iS O
), nickel chloride (NiC(L) and boric acid (HsB)
A mixed liquid of O3) is stored. Second chemical management tank 10
2 contains nickel carbonate (NiCO3) used for pH8 adjustment.
is accommodated. A brightener is stored in the third chemical management tank 103. And these first to third chemical solution management! 101, 102. The chemical solution stored in the plating solution storage 155 is measured by an integrating ammeter and a P H meter provided in the plating solution storage 155.
When it is detected by a level meter or the like that the composition or amount of the plating solution in the plating solution storage tank 55 deviates from predetermined control values, the plating solution is injected into the plating solution storage tank 55 as necessary.
面記脱脂液貯137、酸洗い薬液貯143、メッキ液貯
t*55および第1〜第3薬液管理槽101゜102.
103は、第1図および第2図に示すように、このメッ
キ装置の基台105を囲むように配置されている。Surface degreasing liquid storage 137, pickling chemical liquid storage 143, plating liquid storage t*55, and first to third chemical liquid management tanks 101°102.
103 is arranged so as to surround the base 105 of this plating apparatus, as shown in FIGS. 1 and 2.
つぎに、このメッキ装置の動作を、略円筒状の被メッキ
物4にメッキ処理する場合を例に取って説明する。Next, the operation of this plating apparatus will be explained using an example in which a substantially cylindrical object 4 to be plated is plated.
第1図1こ示tようIこ、生産加工ラインの前工程から
送られてきた被メッキ物4は、コンベアー85に載せら
れる。コンベアー85で搬送されて来た披メッキ物4は
、コンベアー85の曲端に設置された起立セット器86
によって起立される。As shown in FIG. 1, the object to be plated 4 sent from the previous process of the production processing line is placed on a conveyor 85. The plated objects 4 conveyed by the conveyor 85 are transferred to an upright setter 86 installed at the curved end of the conveyor 85.
erected by.
起立された披メッキ物4は、供給機構28のクランプア
ーム83によって把持される。被メッキ物4を把持した
供給機構28は、第1図中−点鎖線で示4−ように旋回
して、第16図に示すように搬送機構26の保持ユニッ
ト62の下方に披メッキ物4を移動させる。このあと供
給機構28のクランプアーム83が上昇せしめられると
、第12図に示すように、被メッキ物4の中空部分に搬
送機+Al26の保持ユニット62のコレット65か嵌
入して、被メッキ物4が保持される。被メッキ物・1が
装着された搬送機構26は、まず30度回動したあと下
降して、第3図に示すよう1.:被メッキ物4を電解脱
脂槽21に挿入する。このとき被メッキ物4は、外箱3
0の挿入口34からパイプ31内に挿入される。そして
外箱30の挿入口34は、保持ユニット62のシールM
部70によって閉止される。The erected plated object 4 is gripped by the clamp arm 83 of the supply mechanism 28. The supply mechanism 28 that has gripped the object 4 to be plated rotates as shown by the dotted chain line 4 in FIG. move. After that, when the clamp arm 83 of the supply mechanism 28 is raised, as shown in FIG. is retained. The conveyance mechanism 26 with the object to be plated 1 first rotates 30 degrees and then descends to move the object 1 to be plated as shown in FIG. : Insert the object 4 to be plated into the electrolytic degreasing tank 21. At this time, the object to be plated 4 is the outer box 3.
0 into the pipe 31 through the insertion port 34. The insertion opening 34 of the outer box 30 is connected to the seal M of the holding unit 62.
It is closed by section 70.
このように被メッキ物4が挿入された電解脱脂1’l’
!21には、電解脱脂液貯$w37から脱脂液が供給さ
れる。供給された脱脂液は電解脱脂槽21のパイプ31
内を噴流状態で上昇して、ついでパイプ31の上端開口
から外箱30内に流下し、排水口36から電解脱脂液貯
WI37に返送される。Electrolytic degreasing 1'l' with object 4 inserted in this way
! Degreasing liquid is supplied to 21 from an electrolytic degreasing liquid storage $w37. The supplied degreasing liquid is passed through the pipe 31 of the electrolytic degreasing tank 21.
The liquid rises inside in a jet state, then flows down into the outer box 30 from the upper end opening of the pipe 31, and is returned to the electrolytic degreasing liquid storage WI37 through the drain port 36.
このように電解脱脂槽21に脱脂液を供給したあと、電
解脱脂$1121の電極32と被メッキ物4に通電する
。被メッキ物4への通電は、搬送機構26の保持ユニッ
ト62を介して行なわれる。すなイつち、第1図に示す
ように電解脱脂槽21上に配置された給電ユニット90
の給電ブロック93を下降させて、第2図に示すように
保持ユニット62の受電ブロック68に当接さ什る。す
ると保持ユニット62は黄銅製なので、披メッキ物4に
通電することができる。After supplying the degreasing liquid to the electrolytic degreasing tank 21 in this manner, electricity is applied to the electrode 32 of the electrolytic degreaser 1121 and the object to be plated 4. The object to be plated 4 is energized via the holding unit 62 of the transport mechanism 26 . In other words, as shown in FIG.
The power feeding block 93 is lowered and comes into contact with the power receiving block 68 of the holding unit 62 as shown in FIG. Then, since the holding unit 62 is made of brass, the plated object 4 can be energized.
以−Lのようにして披メッキ物4の電解脱脂処理が終了
した後、搬送機構26の回動盤61を−L動させる。す
ると披メッキ物4が電解脱脂槽21から引3キにげられ
る。ついで搬送機構26の回動盤61を30度回動させ
ろ。すると保持されている被メッキ物4は、電解脱指槽
21に隣接する水洗槽22上に移動される。このあと搬
送機構26の回動盤61を再び下動さU”る。すると第
6図に示すよ・うに、被メッキ物4が水洗槽22のバイ
ブ40内に挿入される。被メッキ物4が挿入されると、
水洗槽22のバイブ40には、水道管から洗浄水が噴流
状態となるように供給される。供給された洗浄水はバイ
ブ40の上端から、外箱30内に流下1.て排水L13
6から排水路に排出される。After the electrolytic degreasing treatment of the plated object 4 is completed as described above, the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 is moved -L. Then, the plated material 4 is pulled out of the electrolytic degreasing tank 21. Next, rotate the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 by 30 degrees. Then, the object to be plated 4 that is being held is moved onto a washing tank 22 adjacent to the electrolytic desaturation tank 21. After that, the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 is moved down again. Then, as shown in FIG. 6, the object 4 to be plated is inserted into the vibrator 40 of the washing tank 22. is inserted,
Washing water is supplied to the vibrator 40 of the washing tank 22 from a water pipe in a jet state. The supplied cleaning water flows down from the upper end of the vibrator 40 into the outer box 30. Drainage L13
6 is discharged into the drain.
水洗処理が終了すると、水洗槽22のバイブ40への洗
浄水の供給が停止される。すると、パイプ40内の水は
バイブ40のF部に穿設された逃が17穴41から流出
し、パイプ40内の水位が低下して、披メッキ物4の水
切りが行なわれる。When the washing process is completed, the supply of washing water to the vibrator 40 in the washing tank 22 is stopped. Then, the water in the pipe 40 flows out from the relief hole 41 formed in the F section of the vibrator 40, the water level in the pipe 40 is lowered, and the plating material 4 is drained.
このようにして水切りされた被メッキ物・1は、搬送機
構26の回動盤61を上動させることによって水洗槽2
2から引き出される。このあと搬送機槽26の回動盤6
1を再び30度回動させ、ついで下動さl゛ることによ
って、被メッキ物4は前記水洗槽22に隣接する第2の
水洗槽22に送られ、より完全な水洗処理が施される。The object to be plated 1 thus drained is transferred to the washing tank by moving the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 upward.
drawn from 2. After this, the rotary plate 6 of the conveyor tank 26
By rotating the plate 1 by 30 degrees again and then moving it downward, the object 4 to be plated is sent to a second washing tank 22 adjacent to the washing tank 22, where it is subjected to a more complete washing process. .
この第2の水洗槽22での処理が完了すると、披メッキ
物4は、搬送機構26によって隣接する酸洗123に送
られる。When the treatment in the second washing tank 22 is completed, the plated material 4 is sent to the adjacent pickling 123 by the transport mechanism 26.
酸洗槽23では、酸洗い薬液貯槽43からバイブ40に
供給される処理剤によって酸洗い処理が行なイつれる。In the pickling tank 23, a pickling process is performed using a processing agent supplied to the vibrator 40 from a pickling chemical storage tank 43.
この工程は、面記水洗槽22での水洗処理と同様に行な
われるので、説明を省略する。This step is performed in the same manner as the washing process in the surface washing tank 22, so the explanation will be omitted.
酸洗槽23での処理が完了すると、被メッキ物4は搬送
機構26によって隣接する第3の水洗槽22、第4の水
洗槽22に順次送られる。When the treatment in the pickling tank 23 is completed, the object 4 to be plated is sequentially sent to the adjacent third washing tank 22 and fourth washing tank 22 by the transport mechanism 26.
第4の水洗槽22で水洗処理された被メッキ物4は、搬
送装置26の回動盤6Iを上動、30度回動、下動さ廿
ることによって、第9図に示すように、メッキ槽24の
メッキ浴室5Iに収容される。披メッキ物4がメッキ浴
室51に収容されると、保持ユニット62の軸部67の
シール蓋部70によって外箱3oの挿入口34が閉止さ
れる。The object 4 to be plated which has been washed with water in the fourth washing tank 22 is moved up, turned 30 degrees, and moved down by the rotary plate 6I of the conveying device 26, as shown in FIG. It is accommodated in the plating bath 5I of the plating tank 24. When the plating object 4 is accommodated in the plating bath 51, the insertion opening 34 of the outer box 3o is closed by the seal lid part 70 of the shaft part 67 of the holding unit 62.
ついで披メッキ物4が挿入されたメッキlff24のメ
ッキ浴室51には、メッキ液貯槽55からメッキ液が噴
流状態となるように供給される。供給されたメッキ液は
メッキ浴部45の上部からオーバーフローして、外箱3
o内に流下しついで排水口36からメッキ液貯槽55に
返送される。メッキ端211に注入されるメッキ液は、
所定温度(70°C以」二)に加温されていることが望
ましい。Next, the plating bath 51 of the plating lff 24 into which the plating object 4 has been inserted is supplied with plating liquid from the plating liquid storage tank 55 in a jet state. The supplied plating solution overflows from the upper part of the plating bath section 45 and reaches the outer box 3.
Then, the plating liquid is returned to the plating liquid storage tank 55 through the drain port 36. The plating liquid injected into the plating end 211 is
It is desirable that it be heated to a predetermined temperature (70° C. or higher).
このようにメッキ槽24にメッキ液を供給した後2〜3
秒遅れて、前記電解脱脂槽21の場合と同様第2図に示
すように、給電ユニット9oの給1ブロック93を下降
させて保持ユニット62の受電ブロック68に当接させ
て、保持された被メッキ物4に通電する。またこの際メ
ッキ槽24の上部電極46と下部電極47の両方に通電
するが、上部電極46のみに通電するかは、被メッキ物
4の長さに応じて決定される。すなわち被メッキ物4が
短い場合には上部電極46のみに通電し、被メッキ物1
1が長く上部電極46より下方に達す場合には下部電極
47にも通電する。After supplying the plating solution to the plating tank 24 in this way,
After a second delay, as in the case of the electrolytic degreasing tank 21, as shown in FIG. Electricity is applied to the plated object 4. At this time, both the upper electrode 46 and the lower electrode 47 of the plating tank 24 are energized, but whether only the upper electrode 46 is energized is determined depending on the length of the object 4 to be plated. In other words, when the object 4 to be plated is short, only the upper electrode 46 is energized, and the object 1 to be plated is energized.
1 is long and reaches below the upper electrode 46, the lower electrode 47 is also energized.
このようにしてメッキ処理が完了すると、給電ユニット
90の給電ブロック93を一ヒ昇させたのち、搬送機構
26の回動盤61を上昇させて、披メッキ物4をメッキ
槽24から引き」二げる。When the plating process is completed in this way, the power supply block 93 of the power supply unit 90 is raised for a moment, and then the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 is raised to pull the plated object 4 out of the plating tank 24. Geru.
被メッキ物4が引き上げられたのち、搬送機構26の回
動盤61を再び30度回動させついで下動させることに
よって、披メッキ物4はメッキ槽24に隣接する第5の
水洗槽22に送られて水洗処理され、ついで第6の水洗
槽22に送られて再び水洗処理され、メッキ処理が完了
する。After the object 4 to be plated is pulled up, the rotating plate 61 of the transport mechanism 26 is rotated 30 degrees again and then moved down, so that the object 4 to be plated is transferred to the fifth washing tank 22 adjacent to the plating tank 24. It is sent and washed with water, and then sent to the sixth washing tank 22 and washed with water again to complete the plating process.
第6の水洗槽22から引き上げられた披メッキ物4は、
搬送機構26の回動盤61か30度回動されることによ
って、取り外し位置に移動される。The plated object 4 pulled up from the sixth washing tank 22 is
The rotary plate 61 of the transport mechanism 26 is rotated by 30 degrees to move to the removal position.
取り外し位置では、被メッキ物4が取外し機構29のク
ランプアーム83によって把持される。At the removal position, the object to be plated 4 is gripped by the clamp arm 83 of the removal mechanism 29.
そして、第16図に示すようにクランプアーム83か昇
降ユニット81によって下動されると、被メッキ物4が
保持ユニット62のコレット65から外される。外され
た披メッキ物4は、回収ボックス88に収容される。Then, as shown in FIG. 16, when the clamp arm 83 is moved down by the lifting unit 81, the object to be plated 4 is removed from the collet 65 of the holding unit 62. The removed plated object 4 is stored in a collection box 88.
以上の説明では、1箇所の保持ユニット62に保持され
た被メッキ物4に施される処理を順に説明1.たが、こ
のメッキ装置では各保持ユニット62・・・に順次被メ
ッキ物4・・・が取り付1jられ、同時に多数の被メッ
キ物4・・・が処理される。In the above description, the processing performed on the object to be plated 4 held in one holding unit 62 will be explained in order. However, in this plating apparatus, the objects to be plated 1j are sequentially attached to each holding unit 62, and a large number of objects to be plated 4 are processed at the same time.
このメッキ装置においては、複数の処理槽21゜22・
・・、23.24が円弧状に配置されているので、狭い
スペースに多数の槽を配置することができ、装置をコン
パクト化することができる。特にこのメッキ装置では、
処理槽21.22・・・、23.24がほぼ台形状に形
成されているので、処理槽21゜22・・・、23.2
4を無駄無く配置することができ大幅なコンパクト化を
達成することができた。In this plating equipment, a plurality of processing tanks 21, 22,
..., 23, 24 are arranged in an arc shape, a large number of tanks can be arranged in a narrow space, and the apparatus can be made compact. Especially with this plating equipment,
Since the processing tanks 21, 22..., 23.24 are formed almost trapezoidally, the processing tanks 21, 22..., 23.2
4 could be arranged without waste, and a significant downsizing could be achieved.
またこのメッキ装置においては、搬送機構26の回動盤
61が前記円弧の中心を回動中心として回動すると共に
上下動するように構成され、これによりiFI記複数の
処理槽2+、22・・・、23.24に披メッキ物4を
順次搬送することとしたので、処理槽21.22・・・
、23.24に囲まれた箇所に、搬送機構26を収める
ことかでき、これによってt、装置のコンパクト化を図
6ることかできた。Further, in this plating apparatus, the rotary plate 61 of the transport mechanism 26 is configured to rotate around the center of the circular arc and move up and down, so that the plurality of processing tanks 2+, 22, . . .・, 23, 24, etc. Since it was decided to transport the plated products 4 sequentially, the processing tanks 21, 22, . . .
, 23 and 24, the transport mechanism 26 can be housed, thereby making it possible to make the apparatus more compact as shown in FIG.
土たこのメッキ装置には、被メッキ物4を搬送機構26
に供給する供給機構28と、゛メッキ処理された披メッ
キ物4を搬送機構26から取り出す取外し機構29が設
けられているので、生産加工ラインの前工程とドキング
(7て、ライン内に設置することができろ。The plating apparatus of the soil octopus includes a conveying mechanism 26 for transporting the object 4 to be plated.
A supply mechanism 28 for supplying the plated material 4 to the conveyor mechanism 26 and a removal mechanism 29 for taking out the plated material 4 that has been plated from the transport mechanism 26 are provided. Be able to do that.
またこのメッキ装置においては、各処理槽21゜23.
24に、貯槽37,43.55などからなる処理剤供給
装置を連設して、必要に応じて処理剤を供給するように
したので、処理槽2+、23.24をより小型化できた
。In addition, in this plating apparatus, each processing tank 21°, 23.
Since a processing agent supply device consisting of storage tanks 37, 43.55, etc. is connected to 24 to supply processing agents as necessary, processing tanks 2+ and 23.24 can be made more compact.
またこのメッキ装置では、電解脱脂槽21のパイプ31
、酸洗槽23のバイブ40、メッキl1iv24のバイ
ブ部材49.50と各貯槽37,43.55とが接続さ
れており、各パイプ部材31,40゜49.50に内に
貯槽37,43.55から処理剤を供給L ’7Cオー
バーフローさせながら被メッキ物4の処理を行うことと
したので、少量の処理剤で各処理を実施できる。従って
このメッキ装置においては、貯槽37.43.55を小
型化でき、大幅なコンパクト化を達成できた。加えて処
理剤の更新9(を大幅に減らすことができ、メッキ処理
コストを低減することができた。In addition, in this plating apparatus, the pipe 31 of the electrolytic degreasing tank 21
, the vibrator 40 of the pickling tank 23, the vibrator member 49.50 of the plating l1iv24, and each storage tank 37, 43.55 are connected, and the storage tank 37, 43.55 is connected to each pipe member 31, 40°49.50. Since the object to be plated 4 is processed while the processing agent is supplied from L'7C and overflowed from the processing agent 55, each treatment can be performed with a small amount of processing agent. Therefore, in this plating apparatus, the storage tanks 37, 43, and 55 can be made smaller, and a significant reduction in size can be achieved. In addition, it was possible to significantly reduce the amount of processing chemicals required (9), thereby reducing plating processing costs.
さらにこのメ・ツキ装置では、メッキ処理の際、搬送機
構26の保持ユニット62を介して被メッキ物4に通電
されるので、通電回路が簡素な構造となる利点がある。Furthermore, in this plating apparatus, since the object 4 to be plated is energized via the holding unit 62 of the transport mechanism 26 during plating processing, there is an advantage that the energizing circuit has a simple structure.
またこのメッキ装置では、水洗槽22(酸洗槽23)を
構成するバイブ40の下部に逃がし穴41が設けられて
いるので、バイブ40への処理水の供給か停止二されろ
と、パイプ40内の処理水がバイブ40の逃がし穴4夏
から流出して、バイブ40内の水位が即座に低下する。In addition, in this plating apparatus, an escape hole 41 is provided at the bottom of the vibrator 40 that constitutes the washing tank 22 (pickling tank 23), so if the supply of treated water to the vibrator 40 is stopped, the pipe 40 The treated water inside flows out from the escape hole 4 of the vibrator 40, and the water level inside the vibrator 40 immediately drops.
従ってこのメッキ装置では、被メッキ物4を上昇させな
くとも水洗処理(酸洗い処理)を終了させて水切りを行
うことができる。よって、処理水の供給を早期に停止す
ることにより、水切りをより完全に?)っで処理液の持
ち出しを減らずことかできる。また、水洗処理(酸洗い
処理)の時間を、メッキ処理時間に影響を与えることな
く短縮することができるので、装置の運転制御が容易と
なる。Therefore, in this plating apparatus, the water washing process (pickling process) can be completed and water can be drained without raising the object 4 to be plated. Therefore, can water be drained more completely by stopping the supply of treated water early? ), it is possible to reduce the amount of processing liquid taken out. Furthermore, the time for water washing (pickling) can be shortened without affecting the plating time, making it easier to control the operation of the apparatus.
さらにこのメッキ装置では、メッキ槽24に上部電極4
6と下部電極47を設けたので、被メッキ物4の長さに
応じて通電範囲を変更できる。従ってこのメッキ装置は
、長さの異なる被メッキ物4・を処理できる融通性のあ
るらのとなる。Furthermore, in this plating apparatus, the upper electrode 4 is placed in the plating tank 24.
6 and the lower electrode 47 are provided, so that the range of energization can be changed depending on the length of the object 4 to be plated. Therefore, this plating apparatus has the flexibility to process objects 4 of different lengths.
またさらにこのメッキ装置では保持ユニット62のコレ
ット65に被メッキ物4の一端を嵌め込んで、披メッキ
物4を保持するようにしたので、被メッキ物4の外周面
全体をもメッキ液と接触させることができる。従って、
このメッキ装置によれば被メッキ物4の外面全体にメッ
キすることができる。Furthermore, in this plating apparatus, one end of the object 4 to be plated is fitted into the collet 65 of the holding unit 62 to hold the object 4, so that the entire outer peripheral surface of the object 4 to be plated is also brought into contact with the plating solution. can be done. Therefore,
According to this plating apparatus, the entire outer surface of the object 4 to be plated can be plated.
また、この例のメッキ装置では、メッキ槽24のメッキ
浴室5Iにメッキ液の供給を開始した後、若干遅れて給
電ユニット90を下降させて披メッキ物4に通電するの
で、メッキ液の流動状態が安定したところでメッキを開
始できる。従って、このメッキ装置によれば良好なメッ
キを行うことができる。In addition, in the plating apparatus of this example, after the supply of the plating solution to the plating bath 5I of the plating tank 24 is started, the power supply unit 90 is lowered with a slight delay to energize the plating object 4, so that the flow state of the plating solution is Once stable, plating can be started. Therefore, this plating apparatus can perform good plating.
(実施例2)
第17図ないし第19図は、本発明のメッキ装置に設置
されろメッキ$124の他の例を示すものである。(Embodiment 2) FIGS. 17 to 19 show other examples of the plating device 124 installed in the plating apparatus of the present invention.
このメッキ槽24は、前記実施例1で用いた装置とメッ
キ浴部45の構造が異なっている。このメッキf!24
のメッキ浴部45は、外客1150と網筒電極15+と
多数の金属粒子152・・・によって構成されており、
網筒電極151の内側はメッキ浴室5Iとなっている。This plating bath 24 differs from the apparatus used in the first embodiment in the structure of the plating bath section 45. This plating f! 24
The plating bath section 45 is composed of a foreign body 1150, a mesh tube electrode 15+, and a large number of metal particles 152...
The inside of the mesh tube electrode 151 is a plating bath 5I.
前記外容器+50は内径の大きな筒状のもので、チタン
によって形成されている。前記網筒電極151は、チタ
ン製の網によって形成された円筒状のものである。この
網筒電極151は、その中心軸線が下パイプ部材50の
中心軸線の延長線上に重なるように、1I71記外容t
j 150内に配置されている。そして、この網筒電極
151と前記外容器150との間には前記金属粒子15
2・・・か充填されている。この金属粒子152には、
メッキ金属によって形成されたものが用いられている。The outer container +50 has a cylindrical shape with a large inner diameter and is made of titanium. The mesh cylinder electrode 151 has a cylindrical shape and is made of a titanium mesh. This mesh tube electrode 151 is arranged so that its central axis overlaps the extension of the central axis of the lower pipe member 50.
j 150. The metal particles 15 are located between the mesh tube electrode 151 and the outer container 150.
2... is filled. This metal particle 152 has
Those made of plated metal are used.
例えば披メッキ物4にニッケルメッキを施す場合には、
純ニッケルによって形成された金属粒子+52が用いら
れる。この金属粒子152・・・には、直径5mm−1
0nus程度のものが好適に用いられる。そして、前記
網筒電極151とこの金属粒子152とは、メッキ作業
時に陽極を構成する。For example, when applying nickel plating to the plated object 4,
Metal particles +52 made of pure nickel are used. This metal particle 152... has a diameter of 5 mm-1
A material of about 0 nus is preferably used. The mesh tube electrode 151 and the metal particles 152 constitute an anode during plating work.
このメッキI!24のメッキ浴室51の下部には、網筒
電極151の下端部を覆うようにマスク板I54が配置
されている。このマスク板154は、被メッキ物4が短
い場合に利用されるもので、披メッキ物4が長い場合に
は取り外される。This plating I! A mask plate I54 is arranged at the bottom of the plating bath 51 No. 24 so as to cover the lower end of the mesh tube electrode 151. This mask plate 154 is used when the object 4 to be plated is short, and is removed when the object 4 to be plated is long.
次ぎに、このメッキ槽24の作用を説明する。Next, the function of this plating bath 24 will be explained.
まずこのメッキ槽24では、搬送機構26の保持ユニッ
ト62に保持された被メッキ物4がこのメッキ槽24の
メッキ浴室51に収容されると、メッキ液貯槽55から
メッキ液が供給される。First, in the plating tank 24, when the object to be plated 4 held by the holding unit 62 of the transport mechanism 26 is accommodated in the plating bath 51 of the plating tank 24, a plating solution is supplied from the plating solution storage tank 55.
すると、メッキ液が金属粒子152・・・間に流入する
。この状態で網筒電極+51に通電すると金属粒子15
2・・・自体ら陽極となる。Then, the plating solution flows between the metal particles 152. In this state, when electricity is applied to the mesh tube electrode +51, metal particles 15
2... itself becomes an anode.
次ぎに電源の陰極に接続された給電ユニット90の給電
ブロック”93を下降させ、保持ユニット62を介して
披メッキ物4に通電すると、陽極を構成する前記金属粒
子+52・・・は金属イオンとなって溶解し、網筒電極
151を通過して被メッキ物71に到達して、被メッキ
物4の表面にメッキされる。Next, when the power supply block "93" of the power supply unit 90 connected to the cathode of the power source is lowered and electricity is applied to the plated object 4 via the holding unit 62, the metal particles +52 constituting the anode become metal ions. It melts, passes through the mesh cylinder electrode 151, reaches the object to be plated 71, and is plated on the surface of the object to be plated 4.
この例のメッキ槽24では、網筒型tfi151の外周
部に金属粒子+52・・が充填されているので、披メッ
キ物4に近接して設ける必要のある陽極の損傷を防止で
きる。ずなイっちこの例のメッキ槽2・1においては、
挿入時に被メッキ物4がずれて網筒電極+51に当たっ
ても、金属粒子152・・・が浮動して網筒電極15+
の変形を吸収する。その結果、網筒電極151と金属粒
子+52・・・からなる陽極の損傷か防止される。よっ
てこのメッキ槽24によれば、メッキ品質の安定化を図
ることができると共にトラブルを減らしてメンテナンス
8見とし、ひいてはメッキコストの低減を図ることがで
きる。In the plating bath 24 of this example, the outer periphery of the mesh tube type TFI 151 is filled with metal particles +52, so that damage to the anode, which needs to be provided close to the plating object 4, can be prevented. In the plating tank 2 and 1 of Zunaicchiko's example,
Even if the object 4 to be plated shifts and hits the mesh cylinder electrode +51 during insertion, the metal particles 152... will float and touch the mesh cylinder electrode 15+.
absorbs the deformation of As a result, damage to the anode consisting of the mesh tube electrode 151 and the metal particles +52 . . . is prevented. Therefore, according to this plating bath 24, it is possible to stabilize the plating quality, reduce troubles and require less maintenance, and ultimately reduce plating costs.
またこのメッキ槽24では、陽極となる金属粒子152
・・・にメッキ金属を用いたので、漸次消費されるメッ
キ金属がメッキ液中に自ずと供給される。よってメッキ
液の管理が容易となる。In addition, in this plating tank 24, metal particles 152 serving as an anode are used.
Since plating metal is used in ..., the plating metal that is gradually consumed is automatically supplied into the plating solution. Therefore, management of the plating solution becomes easy.
さらにこの例のメッキ方法では、被メッキ物4が短い場
合にはマスク板154をメッキ浴室51内に収容し、披
メッキ物4か長い場合はマスク板154を取り出してメ
ッキを行うので、長さの異なる披メッキ物4を同一のメ
ッキ装置で処理することができる。Furthermore, in the plating method of this example, when the object 4 to be plated is short, the mask plate 154 is housed in the plating bath 51, and when the object 4 to be plated is long, the mask plate 154 is taken out and plated. Different plated objects 4 can be processed using the same plating apparatus.
「発明の効果」
以上説明したように本発明のメッキ装置は、メッキ処理
を施すための複数の処理槽が円弧状に配置され、被メッ
キ物を搬送する搬送機構が前記円弧の中心を回動中心と
して回動すると共に一ヒ下動するように構成され、さら
に披メッキ物を供給する供給機構と、メッキ処理された
披メッキ物を搬送機構から取り出す取外(7機構が設け
られたものなので、挟いスペースに多数の処理槽を配置
買し、その処理槽に囲まれた空間に搬送機構を収めるこ
とができる。従って本発明のメッキ装置は、極めてコン
パクトなものとなる。"Effects of the Invention" As explained above, in the plating apparatus of the present invention, a plurality of treatment tanks for performing plating treatment are arranged in an arc shape, and a transport mechanism for transporting the object to be plated rotates around the center of the arc. It is configured to rotate around the center and move downward, and also has a supply mechanism for supplying the plating material, and a removal mechanism (7 mechanisms) for taking out the plated material from the conveyance mechanism. A large number of processing tanks can be arranged in a narrow space, and the transport mechanism can be housed in the space surrounded by the processing tanks.Therefore, the plating apparatus of the present invention can be extremely compact.
また本発明のメッキ装置は、供給機構および取外し機構
か設けられているので、生産加工ラインの前工程とドキ
ングして、ライン内に設置することかで3きる。従って
本発明のメッキ装置は、極めて生産性の良いものとなる
。Furthermore, since the plating apparatus of the present invention is provided with a supply mechanism and a removal mechanism, it can be installed in the production line by docking it with the front process of the production line. Therefore, the plating apparatus of the present invention has extremely high productivity.
また処理槽の水平断面形状が台形状とされたメッキ装置
にあっては、処理槽を最も無駄無く円弧状に配置でき、
大幅なコンパクト化を達成することができる。In addition, in plating equipment in which the horizontal cross-sectional shape of the processing tank is trapezoidal, the processing tank can be arranged in an arc shape with the least waste.
Significant downsizing can be achieved.
またこれら処理槽に処理剤供給装置を連設したメッキ装
置にあっては、処理槽をより小型化して、装置全体をコ
ンパクト化することができる。Furthermore, in a plating apparatus in which a processing agent supply device is connected to a processing tank, the processing tank can be made smaller and the entire apparatus can be made more compact.
さらに搬送機構を介して披メッキ物に通電する回路か構
成されメッキ装置においては、メッキ処理の際、通電回
路を簡素な構造とすることができろ11点がある。Furthermore, in a plating apparatus that includes a circuit for supplying current to the plated object via a conveyance mechanism, there are 11 points that can be made to simplify the structure of the conduction circuit during plating processing.
第1図は本発明のメッキ装置の一実施例を示す平面図、
第2図は同実施例を示す正面図、
第3図ないし第5図は同実施例の電解脱脂槽を示すもの
で、第3図は奥行き方向に沿う縦断面図、第4図は水平
断面図、第5図は幅方向に沿う縦断面図、
第6図ないし第8図は同実施例の水洗槽および酸洗槽を
示すもので、第6図は奥行き方向に沿う縦断面図、第7
図は水平断面図、第8図は側面図、第9図ないし第11
図は同実施例のメッキ槽を示すしので、第9図は奥行き
方向に沿う縦断面図、第1O図は水平断面図、第11図
は幅方向に沿う縦断面図、
第12図は第2図中のA部を拡大して示す断面図、
第13図ないし第15図は同実施例の供給機構および取
外し機構を示すしので、第13図は正面図、第14図は
上平面図、第15図は側面図、第16図は同実施例の要
部を示す側面図第17図ない1.第19図は同実施例の
メッキ槽を示すしので、第17図は奥行き方向に沿う縦
断面図、第18図は水平断面図、第19図は幅方向に沿
う縦断面図、
第20図ないし第22図は従来のメッキ装置を示すらの
で、第20図は全体を示す斜視図、第21図はメッキ室
ユニット、面処理室ユニットおよび後処理室ユニットの
概略の構成を示す構成図、第22図はメッキ室ユニット
の要部を示す断面図である。Fig. 1 is a plan view showing an embodiment of the plating apparatus of the present invention, Fig. 2 is a front view showing the same embodiment, and Figs. 3 to 5 show an electrolytic degreasing tank of the same embodiment. Fig. 3 is a longitudinal sectional view along the depth direction, Fig. 4 is a horizontal sectional view, Fig. 5 is a longitudinal sectional view along the width direction, and Figs. 6 to 8 are the washing tank and pickling tank of the same embodiment. Fig. 6 is a vertical cross-sectional view along the depth direction, and Fig. 7 is a longitudinal sectional view along the depth direction.
The figure is a horizontal sectional view, Figure 8 is a side view, Figures 9 to 11
The figures show the plating bath of the same example, so Fig. 9 is a longitudinal sectional view along the depth direction, Fig. 1O is a horizontal sectional view, Fig. 11 is a longitudinal sectional view along the width direction, and Fig. 12 is a longitudinal sectional view along the width direction. 2 is an enlarged sectional view of part A in Figure 2. Figures 13 to 15 show the supply mechanism and removal mechanism of the same embodiment, so Figure 13 is a front view and Figure 14 is a top plan view. , FIG. 15 is a side view, and FIG. 16 is a side view showing the main parts of the same embodiment. Figure 19 shows the plating bath of the same example, so Figure 17 is a vertical cross-sectional view along the depth direction, Figure 18 is a horizontal cross-sectional view, Figure 19 is a vertical cross-sectional view along the width direction, and Figure 20 is a vertical cross-sectional view along the width direction. 20 to 22 show conventional plating equipment, so FIG. 20 is a perspective view showing the whole, and FIG. 21 is a configuration diagram showing the general structure of a plating chamber unit, a surface treatment chamber unit, and a post-treatment chamber unit. FIG. 22 is a sectional view showing the main parts of the plating chamber unit.
Claims (2)
と、該搬送機構に被メッキ物を供給する供給機構と、メ
ッキ処理された被メッキ物を搬送機構から取り出す取外
し機構とを備えたメッキ装置であって、 前記複数の処理槽が円弧状に配置され、前記搬送機構が
前記円弧の中心を回動中心として回動すると共に上下動
するように構成されたことを特徴とするメッキ装置。(1) Equipped with a plurality of processing tanks, a transport mechanism that holds the objects to be plated, a supply mechanism that supplies the objects to be plated to the transport mechanism, and a removal mechanism that takes out the plated objects from the transport mechanism. The plating apparatus is characterized in that the plurality of processing tanks are arranged in an arc shape, and the transport mechanism is configured to rotate around the center of the arc and move up and down. Device.
処理槽には処理剤供給装置が連設されると共に、メッキ
時に被メッキ物に通電する回路が前記搬送機構を介して
構成されることを特徴とする請求項1記載のメッキ装置
。(2) The horizontal cross-sectional shape of the processing tank is approximately trapezoidal, and each processing tank is connected with a processing agent supply device, and a circuit for energizing the object to be plated during plating is configured via the transport mechanism. The plating apparatus according to claim 1, characterized in that:
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17292388A JPH0222499A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Plating equipment |
US07/366,783 US5092975A (en) | 1988-06-14 | 1989-06-15 | Metal plating apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP17292388A JPH0222499A (en) | 1988-07-12 | 1988-07-12 | Plating equipment |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0222499A true JPH0222499A (en) | 1990-01-25 |
Family
ID=15950860
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP17292388A Pending JPH0222499A (en) | 1988-06-14 | 1988-07-12 | Plating equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0222499A (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003528214A (en) * | 1998-11-30 | 2003-09-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Electrochemical deposition equipment |
JP2016519720A (en) * | 2013-04-10 | 2016-07-07 | エレクトリシテ・ドゥ・フランス | Method and device for electroplating in a cylindrical structure |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58147588A (en) * | 1982-02-27 | 1983-09-02 | Enshu Ltd | Continuous high speed plating device of dipping type |
-
1988
- 1988-07-12 JP JP17292388A patent/JPH0222499A/en active Pending
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58147588A (en) * | 1982-02-27 | 1983-09-02 | Enshu Ltd | Continuous high speed plating device of dipping type |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003528214A (en) * | 1998-11-30 | 2003-09-24 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Electrochemical deposition equipment |
JP4766579B2 (en) * | 1998-11-30 | 2011-09-07 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | Electrochemical deposition equipment |
JP2016519720A (en) * | 2013-04-10 | 2016-07-07 | エレクトリシテ・ドゥ・フランス | Method and device for electroplating in a cylindrical structure |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TW564265B (en) | Plating device and method | |
JP6062600B2 (en) | Cylinder plating apparatus and method | |
JP6000123B2 (en) | Cylinder plating method and apparatus | |
KR20140011268A (en) | Plating apparatus and method for cleaning substrate holder | |
KR101074314B1 (en) | Device and method for electrolytically treating an at least superficially electrically conducting work piece | |
KR100212875B1 (en) | Device for the electrolytic coating of small parts | |
JP2664861B2 (en) | Surface treatment method, device and apparatus for metal, especially aluminum or aluminum alloy cans | |
JPH0222499A (en) | Plating equipment | |
TW508377B (en) | Electroplating apparatus, electroplating system and electroplating processing method using said electroplating apparatus and electrolating system | |
CN220665491U (en) | Electroplating device | |
JP2002339100A (en) | Barrel plating apparatus | |
US8377282B2 (en) | Device and a method for applying a coating on a workpiece by electrodeposition | |
KR100647805B1 (en) | Continuous horizontal plating line with roller type cathodes | |
JP2005029876A (en) | Copper sulfate plating method | |
JP2002518595A (en) | Electroplating method and electroplating equipment | |
JP2005133139A (en) | Copper sulfate plating method and device for roll for plate making | |
JPS609893A (en) | Local automatic plating device | |
JPH0631253A (en) | Method and device for washing disk-shaped object | |
KR20040036977A (en) | electrochemical decontamination system for the removal of surface contamination in radioactive metal waste and method thereof | |
JP3068456B2 (en) | Plating equipment | |
JPH11335896A (en) | Wafer plating apparatus | |
JPS609894A (en) | Automatic profile plating device | |
JPS6141793A (en) | Method and device for plating inside surface of cylindrical material | |
JP2002266098A (en) | Plating apparatus and method for manufacturing semiconductor device | |
JPS6339679B2 (en) |