JPH0128312Y2 - - Google Patents
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- JPH0128312Y2 JPH0128312Y2 JP1985012695U JP1269585U JPH0128312Y2 JP H0128312 Y2 JPH0128312 Y2 JP H0128312Y2 JP 1985012695 U JP1985012695 U JP 1985012695U JP 1269585 U JP1269585 U JP 1269585U JP H0128312 Y2 JPH0128312 Y2 JP H0128312Y2
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- piezo
- vibrator
- pump
- fluid
- vibrators
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Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
(イ) 産業上の利用分野
本考案はポンプ用ピエゾ振動子に関し、更に詳
細には、ピエゾ素子への電圧の印加により振動
し、例えばその振動により流体の吸引、圧送動作
を行なう形式のポンプに使用するのに適したピエ
ゾ振動子に関する。[Detailed description of the invention] (a) Industrial application field The present invention relates to a piezoelectric vibrator for pumps, and more specifically, it vibrates when a voltage is applied to the piezoelectric element, and the vibrations can be used, for example, to suck or pump fluid. The present invention relates to a piezo vibrator suitable for use in a type of pump that performs operation.
(ロ) 従来技術
ピエゾ素子を用いたポンプは、そのピエゾ素子
に交流電圧を印加することによりピエゾ振動子す
なわち圧電振動子を振動させて該ピエゾ振動子に
より限定されたポンプ室の容積を周基的に変化さ
せ、それによつて流体を送り出すようになつてい
る。(B) Prior art A pump using a piezo element vibrates a piezo oscillator, that is, a piezoelectric oscillator, by applying an alternating current voltage to the piezo element, thereby increasing the volume of the pump chamber limited by the piezo oscillator. It is designed to change the flow rate, thereby discharging the fluid.
このようなポンプの従来のものとしては特開昭
59−41684号公報或は実開昭59−68192号公報に示
されるものがある。これら公報に記載されたポン
プを含めて従来のピエゾポンプに使用されている
ピエゾ振動子としては、第6図に示されるように
円板状の振動子aの片面に円板状のピエゾ素子b
を接合しただけのもの、或は、第7図に示される
ようにピエゾ素子cを円筒状にしたものがある
が、いずれも使用に際して振動子の周辺部をポン
プ本体内に設けたホルダで固定保持しなければな
らないため十分な振幅で振動させることができ
ず、ポンプの吐出量も十分に得られない問題があ
る。 Conventional pumps of this type include the Japanese Patent Application Publication No.
Some of these are disclosed in Publication No. 59-41684 or Japanese Utility Model Application Publication No. 59-68192. Piezo vibrators used in conventional piezo pumps, including the pumps described in these publications, include a disk-shaped piezo element b on one side of a disk-shaped vibrator a, as shown in FIG.
There are two types of piezo elements, one that is just a combination of two piezo elements, and another that has a cylindrical piezo element c as shown in Figure 7. In both cases, the peripheral part of the vibrator is fixed with a holder installed inside the pump body. Since it has to be held, it is not possible to vibrate with sufficient amplitude, and there is a problem that a sufficient discharge amount of the pump cannot be obtained.
(ハ) 考案が解決しようとする問題点
本考案が解決しようとする問題は、ピエゾ振動
子の構造を改良することにより大きな振幅で振動
させることが可能でしかもポンプとしての組立を
容易に行なえるようにすることである。(c) Problems to be solved by the invention The problem to be solved by the invention is that by improving the structure of the piezoelectric vibrator, it is possible to vibrate with a large amplitude, and it can be easily assembled as a pump. It is to do so.
(ニ) 問題点を解決するための手段
上記問題を解決するための本考案のピエゾ振動
子は、複数のピエゾ素子を平面状に円周方向に隔
てて配置し個々のピエゾ素子を電気的に接続し、
該ピエゾ素子を非導電性の可撓性材料で一体的に
モールドし、該モールド部の中央には通孔および
該通孔を一方向にのみ流体を流す逆止弁を設けて
構成されている。(d) Means for solving the problem The piezo vibrator of the present invention to solve the above problem has a plurality of piezo elements arranged circumferentially in a planar manner, and each piezo element is electrically connected. connection,
The piezo element is integrally molded with a non-conductive flexible material, and the mold is provided with a through hole in the center and a check valve that allows fluid to flow in only one direction through the through hole. .
(ホ) 作用
上記構成のピエゾ振動子において、周辺部を支
えた状態で対の接続端子に電圧を印加すると、中
心部が一方に突出する状態と他方に突出する状態
を交互に繰り返して振動する。そしてピエゾ振動
子の一方の側から他方に通孔および逆止弁を介し
ている。(E) Effect When a voltage is applied to the pair of connecting terminals of the piezo vibrator having the above configuration while supporting the peripheral portion, the center portion vibrates by repeating a state in which it protrudes to one side and a state in which it protrudes to the other side. . A through hole and a check valve are connected from one side of the piezo vibrator to the other side.
(ヘ) 実施例
以下図面を参照して本実施例について説明す
る。(f) Example This example will be described below with reference to the drawings.
第1図および第2図において第1の実施例のピ
エゾ振動子1が示されている。ピエゾ振動子(以
下単に振動子と呼ぶ)1は円板を4等分したよう
な扇形のピエゾ素子2を第2図に示されるように
一平面上に円周方向に隔てて配置し、そのピエゾ
素子2の上下両面の周辺部にはピエゾ素子と電気
的に通じる導体リング3および3′を設け、それ
らピエゾ素子および導体リング3,3′を例えば
ゴムのような伸縮性を有しかつ非導電性の可撓性
材料5で一体的にモールドしてつくられている。 A piezo vibrator 1 of a first embodiment is shown in FIGS. 1 and 2. FIG. A piezo vibrator (hereinafter simply referred to as a vibrator) 1 consists of fan-shaped piezo elements 2, which are made by dividing a disk into four equal parts, arranged circumferentially apart on one plane as shown in FIG. Conductor rings 3 and 3' that electrically communicate with the piezo element are provided around the upper and lower surfaces of the piezo element 2, and the piezo element and the conductor rings 3 and 3' are made of a material that is elastic and non-stretchable, such as rubber. It is made by integrally molding a conductive flexible material 5.
各導体リング3および3′には半径方向外方に
伸びる接続端子4および4′が一体的に形成され、
それらの接続端子4,4′は可撓性材料のモール
ド部から外周に突出している。 Each conductor ring 3 and 3' is integrally formed with a connecting terminal 4 and 4' extending radially outward;
These connecting terminals 4, 4' project outward from the molded part of the flexible material.
モールド部5の中央部には通孔6を限定する中
空円錐体7がモールド部と一体的に形成され、そ
の中空円錐体7の先端には複数(本実施例では4
個)のスリツト8が円周方向に隔てて形成されて
いる。この中空円錐体7は逆止弁として作用し矢
印方向の流体の流れに対してはスリツト8の部分
で開いてその流れを許容し、逆方向の流れに対し
てはスリツト部が閉じて流れを阻止する。モール
ド部5の周辺部両面には環状突部9,9′が形成
されている。 A hollow cone 7 that defines a through hole 6 is integrally formed in the center of the mold part 5, and a plurality of hollow cones (4 in this embodiment) are formed at the tip of the hollow cone 7.
slits 8 are formed spaced apart in the circumferential direction. This hollow cone 7 acts as a check valve, opening at the slit 8 to allow the flow of fluid in the direction of the arrow, and closing the slit to allow the fluid to flow in the opposite direction. prevent. Annular protrusions 9 and 9' are formed on both sides of the periphery of the mold part 5.
上記構成の振動子において、環状突部9,9′
の部分を押えて両接続端子4,4′間に交流電圧
を印加すると振動子1は中央部が上側に突出した
状態と下に突出した状態とに交互に振動する。 In the vibrator having the above configuration, the annular protrusions 9, 9'
When an alternating current voltage is applied between both connection terminals 4 and 4' while pressing the portion , the vibrator 1 vibrates alternately between a state in which the center portion protrudes upward and a state in which the center portion protrudes downward.
なお、ピエゾ素子2の形状或は枚数は図示のよ
うな場合に限らず任意に決定でき、またピエゾ振
動子の形状の円形のものに限らず任意の形状にで
きる。 Note that the shape or number of piezo elements 2 can be arbitrarily determined, not limited to the case shown in the drawings, and can be of any shape other than the circular shape of the piezo vibrator.
第3図および第4図において他の実施例の振動
子1aが示されている。この振動子1aではモー
ルド部5aの中央部に複数の通孔6aが所望の円
上に円周方向に隔てて形成され、その円の中心部
にはかさ状弁体7aが嵌合固定されている。この
かさ状弁体7aは通孔を被う逆止弁として作用す
る。その他の部分の構成は前記第1の実施例と同
じである。 In FIGS. 3 and 4, a vibrator 1a of another embodiment is shown. In this vibrator 1a, a plurality of through holes 6a are formed in the center of a molded part 5a, spaced apart in the circumferential direction on a desired circle, and an umbrella-shaped valve body 7a is fitted and fixed in the center of the circle. There is. This umbrella-shaped valve body 7a acts as a check valve that covers the through hole. The configuration of other parts is the same as that of the first embodiment.
この実施例において、矢印方向の流体の流れに
対して弁体7aの周辺部8aがモールド部5aの
上面から離れて流れを許容するが、逆方向に対し
てはその周辺部8aが上面に接触して流体の流れ
を阻止する。 In this embodiment, the peripheral part 8a of the valve body 7a separates from the upper surface of the molded part 5a to allow the fluid to flow in the direction of the arrow, but the peripheral part 8a contacts the upper surface in the opposite direction. to prevent fluid flow.
第5図において、第1図および第2図に示され
た振動子1を用いたピエゾポンプ10が示されて
いる。このピエゾポンプ10は複数(本実施例で
は4個)の振動子1を一対のカバー11と12と
の間に挾んで重ね合せ、それらをボルトおよびナ
ツト(いずれも図示せず)により連結される一対
の押えリング16,17により固定してつくられ
ている。カバー11には入口ポート13がかつカ
バー12には出口ポート14が形成されている。 In FIG. 5, a piezo pump 10 using the vibrator 1 shown in FIGS. 1 and 2 is shown. This piezo pump 10 has a plurality of (four in this embodiment) vibrators 1 sandwiched between a pair of covers 11 and 12 and stacked on top of each other, and these are connected by bolts and nuts (none of which are shown). It is fixed by a pair of presser rings 16 and 17. Cover 11 has an inlet port 13 and cover 12 has an outlet port 14 formed therein.
各振動板1の端子4,4′を第5図に示される
ように接続して交流電圧を印加すると下から1番
目および3番目の振動子の中央部が下方に突出す
る状態となるとき下から2番目と4番目の振動子
の中央が上側に突出する状態となつた後これとは
逆の状態になる変形を交互に繰り返す。するとま
ず下側から第1番目と第2番目の振動子の間に限
定されたポンプ室21内に入口ポート13を介し
て流体が導入されるとともに下から第3番目と第
4番目の振動子の間に限定されたポンプ室23に
は第2番目と第3番目の振動子の間に限定された
ポンプ室22内の流体が流入し、次にポンプ室2
1の流体がポンプ室22内に流入するとともにポ
ンプ室23内の流体が出口ポート14を介して吐
出される。以下振動子1の前述のような連続振動
により流体が入口ポート13から吸引された出口
ポート14から吐出される。 When the terminals 4 and 4' of each diaphragm 1 are connected as shown in Fig. 5 and an AC voltage is applied, the center portions of the first and third vibrators from the bottom protrude downward. The second and fourth vibrators are alternately deformed so that their centers protrude upward, and then the opposite condition occurs. Then, first, fluid is introduced into the pump chamber 21 limited between the first and second vibrators from the bottom through the inlet port 13, and the third and fourth vibrators from the bottom are introduced. The fluid in the pump chamber 22, which is limited between the second and third vibrators, flows into the pump chamber 23, which is limited between the second and third vibrators.
One fluid flows into the pump chamber 22 and the fluid in the pump chamber 23 is discharged through the outlet port 14. Thereafter, due to the above-described continuous vibration of the vibrator 1, fluid is sucked from the inlet port 13 and discharged from the outlet port 14.
なお環状突部を一体に形成しないで、使用の際
にピエゾ振動子間にリング状セパレータを挿入し
てもよい。更に、導体リングを介してピエゾ素子
を電気的に接続しているが、導体リングは必ずし
も必要でなく各ピエゾ素子からリード線を引き出
してもよい。 Note that, instead of forming the annular protrusion integrally, a ring-shaped separator may be inserted between the piezo vibrators during use. Furthermore, although the piezo elements are electrically connected via the conductor ring, the conductor ring is not necessarily necessary and lead wires may be drawn out from each piezo element.
(ト) 効果
本考案によるピエゾ振動子では次のような効果
を奏することができる。(g) Effects The piezoelectric vibrator according to the present invention can have the following effects.
同じ大きさ(直径)の従来の振動子よりも振
幅を大きくできる。 The amplitude can be larger than that of a conventional vibrator of the same size (diameter).
したがつてポンプに使用した場合同じ大きさ
の従来のポンプよりも吐出量を多くできる。 Therefore, when used in a pump, the discharge amount can be increased compared to a conventional pump of the same size.
ピエゾ素子の電気的絶縁ができる。 Can electrically insulate piezo elements.
逆止弁が一体的に形成されているとともに周
辺部に環状突起を形成してあるのでポンプとし
ての組立が容易である。 Since the check valve is integrally formed and an annular projection is formed around the periphery, assembly as a pump is easy.
必要に応じて所望の個数を組合せて使用する
ことによりポンプの吐出圧力を高くできる。 The discharge pressure of the pump can be increased by using a desired number of them in combination as needed.
第1図は本考案によるピエゾ振動子の一実施例
の断面図、第2図は第1図のピエゾ振動子のピエ
ゾ素子の配列を示す図、第3図は本考案のピエゾ
振動子の他の実施例の断面図、第4図は第3図の
ピエゾ振動子のピエゾ素子の配列を示す図、第5
図は第1図のピエゾ振動子を用いてつくつたピエ
ゾポンプの断面図、第6図および第7図は従来の
振動子を示す図である。
1,1a:ピエゾ振動子、2,2a:ピエゾ素
子、3,3′,3a,3′a:導体リング、4,
4′,4a,4′a:接続端子、5,5a:モール
ド部、6,6a:通孔。
FIG. 1 is a cross-sectional view of one embodiment of the piezoelectric vibrator according to the present invention, FIG. 2 is a diagram showing the arrangement of piezo elements of the piezoelectric vibrator of FIG. 1, and FIG. FIG. 4 is a cross-sectional view of the embodiment of FIG. 3, and FIG.
This figure is a cross-sectional view of a piezo pump made using the piezo vibrator shown in FIG. 1, and FIGS. 6 and 7 are views showing conventional vibrators. 1, 1a: piezo vibrator, 2, 2a: piezo element, 3, 3', 3a, 3'a: conductor ring, 4,
4', 4a, 4'a: connection terminal, 5, 5a: mold part, 6, 6a: through hole.
Claims (1)
配置し、個々のピエゾ素子を電気的に接続し、該
ピエゾ素子を非導電性の可撓性材料で一体的にモ
ールドし、該モールド部の中央部には通孔および
該通孔を一方向にのみ流体を流す逆止弁を設けた
ことを特徴とするポンプ用ピエゾ振動子。 A plurality of piezo elements are arranged circumferentially in a planar manner, the individual piezo elements are electrically connected, the piezo elements are integrally molded with a non-conductive flexible material, and the molded part is 1. A piezo vibrator for a pump, characterized in that a through hole and a check valve that allows fluid to flow in only one direction through the through hole are provided in the center of the piezo vibrator.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985012695U JPH0128312Y2 (en) | 1985-01-31 | 1985-01-31 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1985012695U JPH0128312Y2 (en) | 1985-01-31 | 1985-01-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61130783U JPS61130783U (en) | 1986-08-15 |
JPH0128312Y2 true JPH0128312Y2 (en) | 1989-08-29 |
Family
ID=30496002
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1985012695U Expired JPH0128312Y2 (en) | 1985-01-31 | 1985-01-31 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0128312Y2 (en) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4586371B2 (en) * | 2004-01-30 | 2010-11-24 | カシオ計算機株式会社 | Pump device and diaphragm actuator |
WO2012140931A1 (en) * | 2011-04-11 | 2012-10-18 | 株式会社村田製作所 | Fluid control device and pump connection method |
-
1985
- 1985-01-31 JP JP1985012695U patent/JPH0128312Y2/ja not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS61130783U (en) | 1986-08-15 |
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