JP2013109294A - Microscope device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a microscope device in which, by using a single imaging element, the image of a sample can be captured simultaneously as two images with parallax.SOLUTION: A microscope device 1 includes a first image forming optical system 9a where the light from a sample S collected by an object lens 8 is formed as a first image and a second image forming optical system 9b where the light from the sample S collected by the object lens 8 is formed as a second image, and an imaging element 10 that is arranged at focal positions of the first image forming optical system 9a and the second image forming optical system 9b and includes a first imaging area R1 where the first image is formed and a second imaging area R2 where the second image is formed.

Description

本発明は、顕微鏡装置に関するものである。   The present invention relates to a microscope apparatus.

従来、試料の像を視差のある2つの像として撮像する撮像素子を備える顕微鏡装置が知られている(例えば、特許文献1および特許文献2参照。)。
特許文献1に記載された顕微鏡装置は、互いに視差のある2つの試料の像を2つの撮像素子の撮像面にそれぞれ結像させるものである。
2. Description of the Related Art Conventionally, a microscope apparatus including an image sensor that captures an image of a sample as two images with parallax is known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).
The microscope apparatus described in Patent Document 1 forms images of two samples having parallax with each other on the imaging surfaces of two imaging elements.

また、特許文献2に記載された顕微鏡装置は、互いに視差のある2つの試料の像を単一の撮像素子の同一領域に結像させるものである。特許文献2に記載された顕微鏡装置は、2つの試料の像を結像させるための2つの結像光学系のそれぞれに独立して動作可能なシャッタ機構を設け、2つの結像光学系のいずれか一方の光路を時分割に遮断することで、単一の撮像素子を用いて互いに視差のある2つの試料の像を撮像する。   Moreover, the microscope apparatus described in Patent Document 2 forms two sample images with parallax in the same region of a single image sensor. The microscope apparatus described in Patent Document 2 includes a shutter mechanism that can be operated independently of each of two imaging optical systems for forming images of two samples. By blocking one of the optical paths in a time-division manner, images of two samples having parallax are captured using a single image sensor.

特開2005−351916号公報JP-A-2005-351916 特開2010−128354号公報JP 2010-128354 A

しかしながら、特許文献1に記載された顕微鏡装置は、試料の像を視差のある2つの像として撮像するために2つの撮像素子が必要であり、装置の製造コストが高くなるという問題がある。
また、特許文献2に記載された顕微鏡装置は、視差のある2つの像を時分割で撮像するので、同時に2つの像を得ることができない。そして、例えば、視差のある2つの像を表示装置に同時に表示するには、時分割で撮像された2つの像を適宜組み合わせて表示させるための構成が必要となる。
However, the microscope apparatus described in Patent Document 1 requires two imaging elements to capture a sample image as two images with parallax, and there is a problem that the manufacturing cost of the apparatus increases.
Moreover, since the microscope apparatus described in Patent Document 2 captures two images with parallax in a time-division manner, it cannot obtain two images at the same time. For example, in order to display two images with parallax on the display device at the same time, a configuration for displaying the two images captured in a time division manner in an appropriate combination is required.

本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって、単一の撮像素子を用いて、試料の像を視差のある2つの像として同時に撮像可能な顕微鏡装置を提供することを目的としている。   The present invention has been made in view of the above-described circumstances, and an object of the present invention is to provide a microscope apparatus that can simultaneously image a sample image as two parallax images using a single image sensor. Yes.

上記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提供する。
本発明は、試料からの光を集光する対物光学系と、前記対物光学系により集光された前記試料からの光を第1の像として結像させる第1の結像光学系と、前記第1の結像光学系とは異なる光軸を有し、前記対物光学系により集光された前記試料からの光を第2の像として結像させる第2の結像光学系と、前記第1の結像光学系および前記第2の結像光学系の焦点位置に配置され、前記第1の像が結像される第1の撮像領域と前記第2の像が結像される第2の撮像領域とを有する撮像素子とを備える顕微鏡装置を提供する。
In order to achieve the above object, the present invention provides the following means.
The present invention provides an objective optical system that condenses light from a sample, a first imaging optical system that forms light from the sample collected by the objective optical system as a first image, A second image-forming optical system having an optical axis different from that of the first image-forming optical system and forming light from the sample collected by the objective optical system as a second image; A first imaging region on which the first image is formed and a second image on which the second image is formed, which are arranged at focal positions of the first imaging optical system and the second imaging optical system; A microscope apparatus is provided that includes an imaging device having a plurality of imaging regions.

本発明によれば、互いに異なる光軸を有する第1の結像光学系および第2の結像光学系の焦点位置に撮像素子が配置され、第1の結像光学系が撮像素子の第1の撮像領域に第1の像を結像させ、第2の結像光学系が撮像素子の第2の撮像領域に第2の像を結像させ、撮像された第1の像および第2の像がそれぞれ取得される。従って、単一の撮像素子を用いて、試料の像を視差のある2つの像として同時に撮像可能な顕微鏡装置を提供することができる。   According to the present invention, the imaging element is disposed at the focal position of the first imaging optical system and the second imaging optical system having different optical axes, and the first imaging optical system is the first imaging optical system. The first image is formed on the imaging region of the imaging element, and the second imaging optical system forms the second image on the second imaging region of the imaging device. Each image is acquired. Therefore, it is possible to provide a microscope apparatus that can simultaneously image a sample image as two images with parallax using a single image sensor.

また、上記発明においては、光源から発せられた照明光を前記試料に照射する照明光学系を備え、該照明光学系が、前記光源から発せられた前記照明光を集光するコレクタレンズと、前記コレクタレンズにより集光される光の光束径を制限する視野絞りと、該視野絞りにより光束径が制限された光を前記試料が載置された試料面に照射するコンデンサレンズとを有し、以下の条件式を満たすような構成の顕微鏡装置が好ましい。
A×β<C (1)
A×β+C<D (2)
ここで、
A:前記照明光の前記試料面における照明範囲、
β:前記顕微鏡装置の総合倍率、
C:前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸との距離、
D:前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸とに直交する方向における前記撮像素子の撮像領域の全幅
である。
In the above-mentioned invention, the illumination optical system for irradiating the sample with illumination light emitted from a light source is provided, and the illumination optical system collects the illumination light emitted from the light source; A field stop that limits a light beam diameter of the light collected by the collector lens, and a condenser lens that irradiates the sample surface on which the sample is placed with the light beam diameter limited by the field stop, A microscope apparatus configured so as to satisfy the conditional expression (2) is preferable.
A × β <C (1)
A × β + C <D (2)
here,
A: an illumination range of the illumination light on the sample surface;
β: overall magnification of the microscope device,
C: the distance between the optical axis of the first imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system;
D: full width of the imaging region of the imaging device in a direction perpendicular to the optical axis of the first imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system.

このようにすることで、第1の撮像領域と第2の撮像領域R2とが重複してクロストークが発生することを防止しつつ、第1の撮像領域と第2の撮像領域とを第1の結像光学系の光軸と第2の結像光学系の光軸とに直交する方向における撮像素子の撮像領域の全幅に収めることができる。   By doing so, the first imaging region and the second imaging region are prevented from overlapping with each other in the first imaging region and the second imaging region R2, and the first imaging region and the second imaging region are connected to each other. The imaging region of the imaging element in the direction orthogonal to the optical axis of the imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system can be accommodated.

また、上記発明においては、前記第1の結像光学系および前記第2の結像光学系を一組の結像光学系とした複数組の結像光学系を備え、該複数組の結像光学系は、前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸との距離および/または前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸の配置方向が互いに異なり、前記複数組の結像光学系を切り換えて使用可能である構成が好ましい。このようにすることで、視差の大きさおよび/または視差の方向の異なる複数種類の像を切り換えて撮像することができる。   In the invention described above, a plurality of sets of imaging optical systems, each of which includes the first imaging optical system and the second imaging optical system as a set of imaging optical systems, are provided. The optical system includes a distance between an optical axis of the first imaging optical system and an optical axis of the second imaging optical system and / or an optical axis of the first imaging optical system and the second connection. It is preferable that the arrangement directions of the optical axes of the image optical systems are different from each other and the plurality of sets of the imaging optical systems can be switched and used. By doing so, it is possible to switch and capture a plurality of types of images having different parallax magnitudes and / or parallax directions.

また、上記発明においては、前記第1の結像光学系と前記第2の結像光学系との間に配置され、前記第1の結像光学系からの光が前記第2の撮像領域に結像されること、および前記第2の結像光学系からの光が前記第1の撮像領域に結像されることを制限する遮光板を備える構成が好ましい。このようにすることで、第1の結像光学系からの光が第2の撮像領域に結像されることや、第2の結像光学系からの光が第1の撮像領域に結像されることを確実に制限することができる。従って、第1の結像光学系により結像される第1の像と第2の結像光学系により結像される第2の像が交ざり合うクロストークの発生を低減することができる。   In the above invention, the first imaging optical system is disposed between the first imaging optical system and the second imaging optical system, and light from the first imaging optical system enters the second imaging region. A configuration including a light shielding plate that restricts the image formation and the light from the second imaging optical system from being imaged in the first imaging region is preferable. By doing so, the light from the first imaging optical system is imaged on the second imaging region, or the light from the second imaging optical system is imaged on the first imaging region. Can be reliably limited. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of crosstalk in which the first image formed by the first image forming optical system and the second image formed by the second image forming optical system intersect.

本発明によれば、単一の撮像素子を用いて、試料の像を視差のある2つの像として同時に撮像可能な顕微鏡装置を提供することができるという効果を奏する。   According to the present invention, there is an effect that it is possible to provide a microscope apparatus that can simultaneously image a sample image as two images with parallax using a single image sensor.

本発明の第1の実施形態の顕微鏡装置を示す図である。It is a figure which shows the microscope apparatus of the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態の変形例の顕微鏡装置を示す図である。It is a figure which shows the microscope apparatus of the modification of the 1st Embodiment of this invention. 複数組の結像光学系を切換可能とするターレットの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the turret which enables switching of several sets of imaging optical systems. 図1の顕微鏡装置の実施例のレンズ構成を示す図である。It is a figure which shows the lens structure of the Example of the microscope apparatus of FIG. 図1の顕微鏡装置の実施例のレンズ構成を示す図である。It is a figure which shows the lens structure of the Example of the microscope apparatus of FIG. 本発明の第2の実施形態の顕微鏡装置を示す図である。It is a figure which shows the microscope apparatus of the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態の遮光板を示す図である。It is a figure which shows the light-shielding plate of the 2nd Embodiment of this invention. 図4の顕微鏡装置の収差図である。FIG. 5 is an aberration diagram of the microscope apparatus of FIG. 4. 図5の顕微鏡装置の収差図である。FIG. 6 is an aberration diagram of the microscope apparatus in FIG. 5.

<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態に係る顕微鏡装置1について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態に係る顕微鏡装置1は、図1に示されるように、光源2から発せられた照明光を試料Sに照射する照明光学系20と、試料Sからの光を集光する対物レンズ(対物光学系)8と、対物レンズ8により集光された試料Sからの光を第1の像として結像させる第1の結像光学系9aと、対物レンズ8により集光された試料Sからの光を第2の像として結像させる第2の結像光学系9bと、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの焦点位置に配置され、第1の像が結像される第1の撮像領域R1と第2の像が結像される第2の撮像領域R2とを有する撮像素子10と、撮像素子10により撮像された第1の像および第2の像をそれぞれ取得する画像取得部11と、画像取得部11により取得された第1の像および第2の像を表示する表示部12を備える。
<First Embodiment>
A microscope apparatus 1 according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
As shown in FIG. 1, the microscope apparatus 1 according to the present embodiment includes an illumination optical system 20 that irradiates the sample S with illumination light emitted from the light source 2, and an objective lens that condenses the light from the sample S ( (Objective optical system) 8, first imaging optical system 9 a that forms light from the sample S collected by the objective lens 8 as a first image, and sample S collected by the objective lens 8. Are arranged at the focal positions of the second imaging optical system 9b that forms the second image as a second image, and the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. The imaging device 10 having the first imaging region R1 to be imaged and the second imaging region R2 to form the second image, and the first image and the second image captured by the imaging device 10 Each of the image acquisition unit 11 for acquiring the first image and the second image acquired by the image acquisition unit 11. It provided with a Shimesuru display unit 12.

本実施形態の照明光学系20は、ハロゲンランプ等の光源2から発せられた照明光を集光するコレクタレンズ3と、コレクタレンズ3により集光される光の光束径を制限する視野絞り4と、視野絞り4を通過した光束を鉛直方向上方に反射させるミラー5と、ミラー5により反射された光束を集光して試料Sが載置された試料面13に照射するコンデンサレンズ7とを備える。   The illumination optical system 20 of the present embodiment includes a collector lens 3 that condenses illumination light emitted from a light source 2 such as a halogen lamp, and a field stop 4 that restricts the beam diameter of light collected by the collector lens 3. A mirror 5 that reflects the light beam that has passed through the field stop 4 vertically upward, and a condenser lens 7 that condenses the light beam reflected by the mirror 5 and irradiates the sample surface 13 on which the sample S is placed. .

なお、図1に示される照明光学系20に代えて、図2に示される照明光学系20を採用してもよい。図2に示される照明光学系20は、光源2、コレクタレンズ3、および視野絞り4の構成は図1に示される照明光学系20と同様である。そして、図2に示される照明光学系20は、図1に示される照明光学系20のミラー5、およびコンデンサレンズ7を備えない。その代わり、図2に示される照明光学系20は、視野レンズ14およびハーフミラー15を備える。   Instead of the illumination optical system 20 shown in FIG. 1, the illumination optical system 20 shown in FIG. 2 may be adopted. In the illumination optical system 20 shown in FIG. 2, the configuration of the light source 2, the collector lens 3, and the field stop 4 is the same as that of the illumination optical system 20 shown in FIG. The illumination optical system 20 shown in FIG. 2 does not include the mirror 5 and the condenser lens 7 of the illumination optical system 20 shown in FIG. Instead, the illumination optical system 20 shown in FIG. 2 includes a field lens 14 and a half mirror 15.

図2に示される照明光学系20の視野レンズ14は、視野絞り4を通過した光束を集光してハーフミラー15へ出射する。ハーフミラー15は、視野レンズ14から入射される光束を鉛直方向下方に反射させる。ハーフミラー15により対物レンズ8に入射した光束は、対物レンズ8により集光され、試料Sが載置された試料面13に照射される。   The field lens 14 of the illumination optical system 20 shown in FIG. 2 condenses the light beam that has passed through the field stop 4 and emits it to the half mirror 15. The half mirror 15 reflects the light beam incident from the field lens 14 downward in the vertical direction. The light beam incident on the objective lens 8 by the half mirror 15 is condensed by the objective lens 8 and applied to the sample surface 13 on which the sample S is placed.

図1および図2に示される照明光学系20が備える視野絞り4は、コレクタレンズ3により集光される光の光束径を直径Bに制限する。ここで、視野絞り4は、直径Bを複数段階で調整可能である。すなわち、顕微鏡装置1の操作者による操作により、直径Bが複数段階で調整可能である。   The field stop 4 provided in the illumination optical system 20 shown in FIGS. 1 and 2 limits the diameter of the light beam collected by the collector lens 3 to the diameter B. Here, the field stop 4 can adjust the diameter B in a plurality of stages. That is, the diameter B can be adjusted in a plurality of stages by the operation of the operator of the microscope apparatus 1.

視野絞り4が試料面13と光学的に共役な位置に配置されているので、視野絞りを通過する光の光束径を調整することにより、コンデンサレンズ7が試料面13に照射する照明光の照明範囲Aが調整される。従って、視野絞り4の直径Bを調整することにより、照明範囲Aを調整することができる。   Since the field stop 4 is disposed at a position optically conjugate with the sample surface 13, the illumination light irradiated onto the sample surface 13 by the condenser lens 7 is adjusted by adjusting the beam diameter of the light passing through the field stop. Range A is adjusted. Therefore, the illumination range A can be adjusted by adjusting the diameter B of the field stop 4.

図1および図2に示される照明光学系20により照明範囲Aに照明光が照射された試料Sからの光は、対物レンズ8により集光され、互いに光軸の異なる第1の結像光学系9aと第2の結像光学系9bのそれぞれに入射する。   The light from the sample S irradiated with illumination light in the illumination range A by the illumination optical system 20 shown in FIGS. 1 and 2 is collected by the objective lens 8 and has a first optical imaging system having different optical axes. 9a and the second imaging optical system 9b are respectively incident.

第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの焦点位置には撮像素子10が配置されている。撮像素子10は、第1の結像光学系9aの光軸と第2の結像光学系9bの光軸とに直交する方向における撮像領域の全幅が幅Dとされている。   An imaging element 10 is disposed at the focal position of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. The imaging element 10 has a width D of the entire width of the imaging region in a direction orthogonal to the optical axis of the first imaging optical system 9a and the optical axis of the second imaging optical system 9b.

そして、撮像素子10の第1の撮像領域R1には、第1の結像光学系9aにより第1の像が結像される。また、撮像素子10の第2の撮像領域R2には、第2の結像光学系9bにより第2の像が結像される。従って、単一の撮像素子10を用いて、試料Sの像を視差のある2つの像として同時に撮像可能な顕微鏡装置1を提供することができる。   A first image is formed on the first imaging region R1 of the imaging element 10 by the first imaging optical system 9a. In addition, a second image is formed on the second imaging region R2 of the imaging element 10 by the second imaging optical system 9b. Therefore, it is possible to provide the microscope apparatus 1 that can simultaneously capture the image of the sample S as two images with parallax using the single image sensor 10.

ここで、撮像素子10は、例えばCCD(Charge Coupled Device)等の2次元画像を撮像可能な撮像素子であるものとする。撮像素子10は、縦横にそれぞれ複数画素を備え、各画素は撮像領域に入射された像の輝度に応じた電圧を出力する。この各画素の輝度に応じた電圧は画像取得部11により画素ごとに取得される。   Here, it is assumed that the imaging device 10 is an imaging device capable of capturing a two-dimensional image such as a CCD (Charge Coupled Device). The imaging element 10 includes a plurality of pixels in the vertical and horizontal directions, and each pixel outputs a voltage corresponding to the luminance of the image incident on the imaging region. The voltage corresponding to the luminance of each pixel is acquired for each pixel by the image acquisition unit 11.

画像取得部11は、撮像素子10から取得した各画素の輝度に応じた電圧を、A/D変換部11aを用いて例えば256段階の分解能のデジタル値に変換し、各画素の輝度に応じたデジタル値を記憶部11bに記憶させる。   The image acquisition unit 11 converts a voltage corresponding to the luminance of each pixel acquired from the image sensor 10 into a digital value having a resolution of, for example, 256 levels using the A / D conversion unit 11a, and corresponds to the luminance of each pixel. The digital value is stored in the storage unit 11b.

記憶部11bには、第1の結像光学系9aにより結像される第1の像に応じたデジタル値が第1の画像データとして記憶され、第2の結像光学系9bにより結像される第2の像に応じたデジタル値が第2の画像データとして記憶される。記憶部11bに記憶された第1の画像データおよび第2の画像データは、処理部11cにより処理されて表示部12にて立体画像として表示可能な立体画像データに変換され、表示部12に表示される。   In the storage unit 11b, a digital value corresponding to the first image formed by the first imaging optical system 9a is stored as first image data, and is imaged by the second imaging optical system 9b. A digital value corresponding to the second image is stored as second image data. The first image data and the second image data stored in the storage unit 11b are processed by the processing unit 11c, converted into stereoscopic image data that can be displayed as a stereoscopic image on the display unit 12, and displayed on the display unit 12. Is done.

ここで、照明光学系20が試料面13に照射する照射光の照明範囲Aと、撮像素子10の撮像領域の全幅Dとの関係について説明する。
前述したように、試料Sからの光は、対物レンズ8により集光され、第1の結像光学系9aと第2の結像光学系9bのそれぞれに入射される。そして、第1の結像光学系9aにより撮像素子10の第1の撮像領域R1に第1の像が結像され、第2の結像光学系9bにより撮像素子10の第2の撮像領域R2に第2の像が結像される。
Here, the relationship between the illumination range A of the irradiation light irradiated on the sample surface 13 by the illumination optical system 20 and the full width D of the imaging region of the imaging device 10 will be described.
As described above, the light from the sample S is collected by the objective lens 8 and is incident on each of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. Then, the first imaging optical system 9a forms a first image on the first imaging region R1 of the imaging device 10, and the second imaging optical system 9b forms the second imaging region R2 of the imaging device 10. A second image is formed.

ここで、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とが重複してしまうと、その重複した領域では第1の像と第2の像が交ざり合ってしまういわゆるクロストークという現象が発生してしまう。この現象が発生すると、第1の像と第2の像がそれぞれ試料Sを表す鮮明な画像とはならない。従って、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とは重複しないようにするのが望ましい。   Here, when the first imaging region R1 and the second imaging region R2 overlap, a phenomenon called so-called crosstalk occurs in which the first image and the second image intersect in the overlapping region. Will occur. When this phenomenon occurs, the first image and the second image do not become clear images representing the sample S, respectively. Therefore, it is desirable that the first imaging region R1 and the second imaging region R2 do not overlap.

なお、照明光の試料面13における照明範囲をAとし顕微鏡装置1の総合倍率をβとすると、第1の撮像領域R1および第2の撮像領域R2の幅は、それぞれA×βとなる。従って、第1の結像光学系9aの光軸と第2の結像光学系9bの光軸との距離をCとすると、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とが重複しないようにするための条件式として以下が導かれる。
A×β<C (1)
When the illumination range of the illumination light on the sample surface 13 is A and the total magnification of the microscope apparatus 1 is β, the widths of the first imaging region R1 and the second imaging region R2 are respectively A × β. Therefore, if the distance between the optical axis of the first imaging optical system 9a and the optical axis of the second imaging optical system 9b is C, the first imaging region R1 and the second imaging region R2 do not overlap. The following is derived as a conditional expression for doing so.
A × β <C (1)

また、第1の結像光学系9aの光軸と第2の結像光学系9bの光軸とに直交する方向における撮像素子10の撮像領域の全幅は幅Dであるので、幅Dに第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2を収める必要がある。従って、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とを撮像素子10の撮像領域の全幅Dに収めるための条件式として以下が導かれる。
A×β+C<D (2)
Further, since the entire width of the imaging region of the imaging device 10 in the direction orthogonal to the optical axis of the first imaging optical system 9a and the optical axis of the second imaging optical system 9b is the width D, the width D One imaging area R1 and second imaging area R2 need to be accommodated. Therefore, the following is derived as a conditional expression for fitting the first imaging region R1 and the second imaging region R2 to the full width D of the imaging region of the imaging element 10.
A × β + C <D (2)

以上の条件式(1)および(2)を満たすように照明範囲A、顕微鏡装置1の総合倍率β、第1の結像光学系9aの光軸と第2の結像光学系9bの光軸との距離C、第1の結像光学系9aの光軸と第2の結像光学系9bの光軸とに直交する方向における撮像素子10の撮像領域の全幅Dを設定する。このようにすることで、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とが重複してクロストークが発生することを防止しつつ、第1の撮像領域R1と第2の撮像領域R2とを撮像素子10の撮像領域の全幅Dに収めることができる。   The illumination range A, the overall magnification β of the microscope apparatus 1, the optical axis of the first imaging optical system 9a, and the optical axis of the second imaging optical system 9b so as to satisfy the above conditional expressions (1) and (2) And the full width D of the imaging region of the imaging device 10 in a direction orthogonal to the optical axis of the first imaging optical system 9a and the optical axis of the second imaging optical system 9b. By doing so, the first imaging region R1 and the second imaging region R2 are prevented from overlapping with each other, and the first imaging region R1 and the second imaging region R2 are prevented from occurring. Can be accommodated in the entire width D of the imaging region of the imaging device 10.

次に、本実施形態の結像光学系9について説明する。図1および図2では、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bを一組の結像光学系が示されているが、本実施形態の結像光学系9は、図3に示されるように、複数組の結像光学系を備える。図3は、複数組の結像光学系9を切り替え可能とするターレットの構成を示す図である。なお、図3は、結像光学系9を撮像素子10の方向から見た平面図である。   Next, the imaging optical system 9 of this embodiment will be described. 1 and FIG. 2, a pair of imaging optical systems is shown as the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b, but the imaging optical system 9 of the present embodiment is As shown in FIG. 3, a plurality of sets of imaging optical systems are provided. FIG. 3 is a diagram illustrating the configuration of the turret that enables switching between a plurality of sets of the imaging optical system 9. FIG. 3 is a plan view of the imaging optical system 9 viewed from the direction of the image sensor 10.

図3で、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bは、それぞれ円形のレンズの一部の円弧が切断されたDカット形状となっている。そして、一部の円弧が切断された平坦部分を互いに接した状態にすることで1組の結像光学系が構成されている。このDカット形状の結像光学系は、開口数NAが大きく、レンズの分解能が高いという長所がある。   In FIG. 3, each of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b has a D-cut shape in which a circular arc of a circular lens is cut. A set of imaging optical systems is configured by bringing flat portions from which some arcs are cut into contact with each other. This D-cut imaging optical system has the advantages of a large numerical aperture NA and high lens resolution.

また、図3で、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dは、それぞれ円形のレンズを組み合わせて1組の結像光学系を構成する。第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dの光軸と直交する方向は、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの光軸と直交する方向と90°異なっている。すなわち、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dと、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bとは、視差の方向が90°異なっている。   In FIG. 3, the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d each constitute a set of imaging optical systems by combining circular lenses. The direction orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d is the direction orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. And 90 ° different. That is, the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d, and the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b are different in the direction of parallax by 90 °. .

従って、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dによれば、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bと90°異なる方向の視差のある像を取得することができる。   Therefore, according to the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d, an image having a parallax in a direction different by 90 ° from the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. Can be obtained.

また、図3で、第1の結像光学系9eおよび第2の結像光学系9fは、それぞれ円形のレンズを組み合わせて1組の結像光学系を構成する。第1の結像光学系9eおよび第2の結像光学系9fの光軸と直交する方向は、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの光軸と直交する方向と同じである。なお、第1の結像光学系9eおよび第2の結像光学系9fの光軸間の距離は、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dの光軸間の距離と同じである。   In FIG. 3, the first image forming optical system 9e and the second image forming optical system 9f each constitute a set of image forming optical systems by combining circular lenses. The direction orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9e and the second imaging optical system 9f is orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. Is the same. The distance between the optical axes of the first imaging optical system 9e and the second imaging optical system 9f is the distance between the optical axes of the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d. Is the same.

また、図3で、第1の結像光学系9hおよび第2の結像光学系9iは、それぞれ円形のレンズを組み合わせて1組の結像光学系を構成する。第1の結像光学系9hおよび第2の結像光学系9iの光軸と直交する方向は、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの光軸と直交する方向と90°異なっている。なお、第1の結像光学系9hおよび第2の結像光学系9iの光軸間の距離は、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dの光軸間の距離よりも短い。   In FIG. 3, the first imaging optical system 9h and the second imaging optical system 9i each constitute a set of imaging optical systems by combining circular lenses. The direction orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9h and the second imaging optical system 9i is the direction orthogonal to the optical axes of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. And 90 ° different. The distance between the optical axes of the first imaging optical system 9h and the second imaging optical system 9i is the distance between the optical axes of the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d. Shorter than.

従って、第1の結像光学系9hおよび第2の結像光学系9iによれば、第1の結像光学系9cおよび第2の結像光学系9dよりも視差の少ない像を取得することができる。   Therefore, according to the first imaging optical system 9h and the second imaging optical system 9i, it is possible to acquire an image with less parallax than the first imaging optical system 9c and the second imaging optical system 9d. Can do.

また、図3で、第1の結像光学系9jおよび第2の結像光学系9kは、それぞれ円形のレンズを組み合わせて1組の結像光学系を構成する。第1の結像光学系9jおよび第2の結像光学系9kの光軸と直交する方向は、第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの光軸と直交する方向と同じである。なお、第1の結像光学系9jおよび第2の結像光学系9kの光軸間の距離は、第1の結像光学系9eおよび第2の結像光学系9fの光軸間の距離よりも短い。   In FIG. 3, the first imaging optical system 9j and the second imaging optical system 9k each constitute a set of imaging optical systems by combining circular lenses. The direction perpendicular to the optical axes of the first imaging optical system 9j and the second imaging optical system 9k is perpendicular to the optical axes of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. Is the same. The distance between the optical axes of the first imaging optical system 9j and the second imaging optical system 9k is the distance between the optical axes of the first imaging optical system 9e and the second imaging optical system 9f. Shorter than.

従って、第1の結像光学系9jおよび第2の結像光学系9kによれば、第1の結像光学系9eおよび第2の結像光学系9fよりも視差の少ない像を取得することができる。   Therefore, according to the first imaging optical system 9j and the second imaging optical system 9k, it is possible to acquire an image with less parallax than the first imaging optical system 9e and the second imaging optical system 9f. Can do.

以上のように、本実施形態の顕微鏡装置1は、第1の結像光学系および第2の結像光学系を一組の結像光学系とした複数組(9aと9b、9cと9d、9eと9f、9iと9h、9jと9k)の結像光学系を備える。そして、複数組の結像光学系は、第1の結像光学系の光軸と第2の結像光学系の光軸との距離および/または第1の結像光学系の光軸と第2の結像光学系の光軸の配置方向が互いに異なる。   As described above, the microscope apparatus 1 according to the present embodiment has a plurality of sets (9a and 9b, 9c and 9d, and 9c and 9d, each including the first imaging optical system and the second imaging optical system as a set of imaging optical systems). 9e and 9f, 9i and 9h, and 9j and 9k). The plurality of sets of imaging optical systems include a distance between the optical axis of the first imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system and / or the optical axis of the first imaging optical system. The arrangement directions of the optical axes of the two imaging optical systems are different from each other.

また、図3で、結像光学系9gは、他の結像光学系とは異なり1つの円形レンズにより構成される。従って、結像光学系9gによれば、撮像素子10の広範な撮像領域を用いて、視差のない1つの像を高解像度で取得することができる。   Further, in FIG. 3, the imaging optical system 9g is constituted by one circular lens unlike the other imaging optical systems. Therefore, according to the imaging optical system 9g, it is possible to acquire one image without parallax with high resolution using a wide imaging region of the imaging device 10.

なお、図3に示される5組の結像光学系(9aと9b、9cと9d、9eと9f、9iと9h、9jと9k)と、結像光学系9gは、回転軸16を中心に回転させることにより、顕微鏡装置1の結像光学系として切り換えて使用することができる。具体的には、図3で第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bが配置されている位置に、他の結像光学系を移動させることにより、5組の結像光学系と、結像光学系9gのいずれかを切り換えて使用可能である。このようにすることで、視差の大きさおよび/または視差の方向の異なる複数種類の像を切り換えて撮像することができる。   Note that the five image forming optical systems (9a and 9b, 9c and 9d, 9e and 9f, 9i and 9h, 9j and 9k) and the image forming optical system 9g shown in FIG. By rotating, it can be switched and used as the imaging optical system of the microscope apparatus 1. Specifically, five sets of image formation are performed by moving other image formation optical systems to positions where the first image formation optical system 9a and the second image formation optical system 9b are arranged in FIG. Either the optical system or the imaging optical system 9g can be switched and used. By doing so, it is possible to switch and capture a plurality of types of images having different parallax magnitudes and / or parallax directions.

<第1の実施例>
次に、本発明の第1の実施形態に係る顕微鏡装置1の第1の実施例について以下に説明する。
本実施例に係る顕微鏡装置1のレンズ配列を図4に示し、レンズデータを表1に、収差図を図8に示す。図4において面番号は一部のみ表示し他を省略している。また、図4に示される結像光学系9は、図3に示される第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bを1組とした光学系である。
<First embodiment>
Next, a first example of the microscope apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described below.
The lens arrangement of the microscope apparatus 1 according to the present embodiment is shown in FIG. 4, lens data is shown in Table 1, and aberration diagrams are shown in FIG. In FIG. 4, only part of the surface numbers are shown and others are omitted. The imaging optical system 9 shown in FIG. 4 is an optical system in which the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b shown in FIG.

図8は、図4に示されるレンズ配列の顕微鏡装置1の横収差図を示すものである。図8(a)〜図8(c)のそれぞれの中央に示された角度は、図4における水平方向の画角と垂直方向の画角を示す。各図における右側はX方向(サジタル方向)の横収差を示し、左側はY方向(メリジオナル方向)の横収差を示す。なお、図8(a)で水平方向の画角がマイナスとなっているのは、Y軸の正方向に対して右回りの角度であることを意味する。また、各収差は、逆追跡による物体面での収差をそれぞれ示している。   FIG. 8 is a lateral aberration diagram of the microscope apparatus 1 having the lens arrangement shown in FIG. The angle shown in the center of each of FIGS. 8A to 8C indicates the horizontal field angle and the vertical field angle in FIG. In each figure, the right side shows lateral aberration in the X direction (sagittal direction), and the left side shows lateral aberration in the Y direction (meridional direction). In FIG. 8A, the negative angle of view in the horizontal direction means that the angle is clockwise with respect to the positive direction of the Y axis. Each aberration indicates an aberration on the object surface by reverse tracking.

[表1]
面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物体面 ∞ 22.97
(対物レンズ8)
1 55.38 3.42 1.4970 81.5
2 −26.01 0.24
3 15.43 4.43 1.6779 55.3
4 ―52.53 1.62 1.5317 48.9
5 10.57 6.37
6 −10.02 1.75 1.5955 39.2
7 111.49 5.18 1.4970 81.5
8 −20.91 0.72
9 −52.75 2.68 1.4875 70.2
10 ―21.88 0.56
11 −52.75 2.68 1.4875 70.2
12 −21.88 偏心[1]
(結像光学系9)
13 55.80 1.98 1.5168 64.2
14 −40.17 1.60 1.6727 32.3
15 −116.32 88.45
像面 ∞ 0.00
偏心[1]
X 0.00 Y −4.00 Z 0.00
α 0.00 β 0.00 γ 0.00
[Table 1]
Surface number Curvature radius Surface spacing Refractive index Abbe number Object surface ∞ 22.97
(Objective lens 8)
1 55.38 3.42 1.4970 81.5
2-26.01 0.24
3 15.43 4.43 1.6679 55.3
4-52.53 1.62 1.5317 48.9
5 10.57 6.37
6-10.02 1.75 1.5955 39.2
7 111.49 5.18 1.4970 81.5
8-20.91 0.72
9 -52.75 2.68 1.4875 70.2
10-21.88 0.56
11 -52.75 2.68 1.4875 70.2
12 -21.88 Eccentricity [1]
(Imaging optical system 9)
13 55.80 1.98 1.5168 64.2
14 -40.17 1.60 1.6727 32.3
15-116.32 88.45
Image plane ∞ 0.00
Eccentric [1]
X 0.00 Y -4.00 Z 0.00
α 0.00 β 0.00 γ 0.00

<第2の実施例>
次に、本発明の第1の実施形態に係る顕微鏡装置1の第2の実施例について以下に説明する。
本実施例に係る顕微鏡装置1のレンズ配列を図5に示し、レンズデータを表2に、収差図を図9に示す。図5において面番号は一部のみ表示し他を省略している。また、図5に示される結像光学系9は、図3に示される結像光学系9gとした光学系である。
<Second embodiment>
Next, a second example of the microscope apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described below.
FIG. 5 shows the lens arrangement of the microscope apparatus 1 according to this example, Table 2 shows lens data, and FIG. 9 shows aberration diagrams. In FIG. 5, only part of the surface numbers are shown and others are omitted. Further, the imaging optical system 9 shown in FIG. 5 is an optical system that is the imaging optical system 9g shown in FIG.

図9は、図5に示されるレンズ配列の顕微鏡装置1の横収差図を示すものである。図9(a)〜図9(c)のそれぞれの中央に示された角度は、図5における水平方向の画角と垂直方向の画角を示す。各図における右側はX方向(サジタル方向)の横収差を示し、左側はY方向(メリジオナル方向)の横収差を示す。なお、図9(a)で水平方向の画角がマイナスとなっているのは、Y軸の正方向に対して右回りの角度であることを意味する。また、各収差は、逆追跡による物体面での収差をそれぞれ示している。   FIG. 9 is a lateral aberration diagram of the microscope apparatus 1 having the lens arrangement shown in FIG. The angle shown in the center of each of FIGS. 9A to 9C indicates the horizontal field angle and the vertical field angle in FIG. In each figure, the right side shows lateral aberration in the X direction (sagittal direction), and the left side shows lateral aberration in the Y direction (meridional direction). In FIG. 9A, the negative angle of view in the horizontal direction means that the angle is clockwise with respect to the positive direction of the Y axis. Each aberration indicates an aberration on the object surface by reverse tracking.

[表2]
面番号 曲率半径 面間隔 屈折率 アッベ数
物体面 ∞ 22.97
(対物レンズ8)
1 55.38 3.42 1.4970 81.5
2 −26.01 0.24
3 15.43 4.43 1.6779 55.3
4 ―52.53 1.62 1.5317 48.9
5 10.57 6.37
6 −10.02 1.75 1.5955 39.2
7 111.49 5.18 1.4970 81.5
8 −20.91 0.72
9 −52.75 2.68 1.4875 70.2
10 ―21.88 0.56
11 −52.75 2.68 1.4875 70.2
12 −21.88 偏心[1]
(結像光学系9)
13 55.87 5.62 1.5168 64.2
14 −39.06 2.81 1.6727 32.3
15 −112.60 86.10
像面 ∞ 0.00
偏心[1]
X 0.00 Y 0.00 Z 0.00
α 0.00 β 0.00 γ 0.00
[Table 2]
Surface number Curvature radius Surface spacing Refractive index Abbe number Object surface ∞ 22.97
(Objective lens 8)
1 55.38 3.42 1.4970 81.5
2-26.01 0.24
3 15.43 4.43 1.6679 55.3
4-52.53 1.62 1.5317 48.9
5 10.57 6.37
6-10.02 1.75 1.5955 39.2
7 111.49 5.18 1.4970 81.5
8-20.91 0.72
9 -52.75 2.68 1.4875 70.2
10-21.88 0.56
11 -52.75 2.68 1.4875 70.2
12 -21.88 Eccentricity [1]
(Imaging optical system 9)
13 55.87 5.62 1.5168 64.2
14 -39.06 2.81 1.6727 32.3
15-112.60 86.10.
Image plane ∞ 0.00
Eccentric [1]
X 0.00 Y 0.00 Z 0.00
α 0.00 β 0.00 γ 0.00

<第2の実施形態>
次に、本発明の第2の実施形態に係る顕微鏡装置1について、図面を参照して以下に説明する。
本実施形態の顕微鏡装置1において、第1の実施形態の顕微鏡装置1と構成を共通とする箇所には同一符号を付して説明を省略する。第2の実施形態の顕微鏡装置1は、遮光板17が追加されている点で第1の実施形態の顕微鏡装置1とは異なる。
<Second Embodiment>
Next, a microscope apparatus 1 according to a second embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
In the microscope apparatus 1 according to the present embodiment, portions having the same configuration as those of the microscope apparatus 1 according to the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. The microscope apparatus 1 of the second embodiment is different from the microscope apparatus 1 of the first embodiment in that a light shielding plate 17 is added.

また、第1の実施形態の顕微鏡装置1は、結像光学系9が図3に示されるターレットの構成により切換可能であったが、第2の実施形態の顕微鏡装置1は、結像光学系9として第1の結像光学系9aおよび第2の結像光学系9bの1組の光学系のみが固定して用いられるものとする。   In the microscope apparatus 1 of the first embodiment, the imaging optical system 9 can be switched by the configuration of the turret shown in FIG. 3, but the microscope apparatus 1 of the second embodiment is different from the imaging optical system. 9, only one set of the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b is fixedly used.

図6に示されるように、遮光板17は、第1の結像光学系9aと第2の結像光学系9bとの間に設けられている。そして、遮光板17の下端は対物レンズ8の近傍にあり、遮光板17の上端は撮像素子10の近傍にある。遮光板17を撮像素子10の方向から見た平面図は図7に示すとおりである。   As shown in FIG. 6, the light shielding plate 17 is provided between the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b. The lower end of the light shielding plate 17 is in the vicinity of the objective lens 8, and the upper end of the light shielding plate 17 is in the vicinity of the image sensor 10. A plan view of the light shielding plate 17 viewed from the direction of the image sensor 10 is as shown in FIG.

第2の実施形態の顕微鏡装置1によれば、第1の結像光学系9aと第2の結像光学系9bとの間に遮光板17が配置され、第1の結像光学系9aからの光が第2の撮像領域R2に結像されること、および第2の結像光学系9bからの光が第1の撮像領域R1に結像されることを確実に制限することができる。   According to the microscope apparatus 1 of the second embodiment, the light shielding plate 17 is arranged between the first imaging optical system 9a and the second imaging optical system 9b, and the first imaging optical system 9a Can be reliably restricted from being imaged in the second imaging region R2 and the light from the second imaging optical system 9b being imaged in the first imaging region R1.

このようにすることで、第1の結像光学系9aからの光が第2の撮像領域R2に結像されることや、第2の結像光学系9bからの光が第1の撮像領域R1に結像されることを防止することができる。従って、第1の結像光学系9aにより結像される第1の像と第2の結像光学系9bにより結像される第2の像が交ざり合うクロストークの発生を低減することができる。   Thus, the light from the first imaging optical system 9a is imaged on the second imaging region R2, and the light from the second imaging optical system 9b is imaged on the first imaging region. It is possible to prevent image formation on R1. Therefore, it is possible to reduce the occurrence of crosstalk in which the first image formed by the first image forming optical system 9a and the second image formed by the second image forming optical system 9b intersect. it can.

S 試料
1 顕微鏡装置
2 光源
4 視野絞り
8 対物レンズ
9 結像光学系
9a 第1の結像光学系
9b 第2の結像光学系
10 撮像素子
11 画像取得部
12 表示部
13 試料面
17 遮光板
20 照明光学系
S Sample 1 Microscope device 2 Light source 4 Field stop 8 Objective lens 9 Imaging optical system 9a First imaging optical system 9b Second imaging optical system 10 Imaging device 11 Image acquisition unit 12 Display unit 13 Sample surface 17 Light shielding plate 20 Illumination optics

Claims (4)

試料からの光を集光する対物光学系と、
前記対物光学系により集光された前記試料からの光を第1の像として結像させる第1の結像光学系と、
前記第1の結像光学系とは異なる光軸を有し、前記対物光学系により集光された前記試料からの光を第2の像として結像させる第2の結像光学系と、
前記第1の結像光学系および前記第2の結像光学系の焦点位置に配置され、前記第1の像が結像される第1の撮像領域と前記第2の像が結像される第2の撮像領域とを有する撮像素子とを備える顕微鏡装置。
An objective optical system for collecting light from the sample;
A first imaging optical system that forms light from the sample collected by the objective optical system as a first image;
A second image-forming optical system having an optical axis different from that of the first image-forming optical system and forming light from the sample collected by the objective optical system as a second image;
A first imaging region that is disposed at a focal position of the first imaging optical system and the second imaging optical system and forms the first image and the second image are formed. A microscope apparatus comprising: an image sensor having a second imaging region.
光源から発せられた照明光を前記試料に照射する照明光学系を備え、
該照明光学系が、前記光源から発せられた前記照明光を集光するコレクタレンズと、前記コレクタレンズにより集光される光の光束径を制限する視野絞りと、該視野絞りにより光束径が制限された光を前記試料が載置された試料面に照射するコンデンサレンズとを有し、
以下の条件式を満たす請求項1に記載の顕微鏡装置。
A×β<C (1)
A×β+C<D (2)
ここで、
A:前記照明光の前記試料面における照明範囲、
β:前記顕微鏡装置の総合倍率、
C:前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸との距離、
D:前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸とに直交する方向における前記撮像素子の撮像領域の全幅
である。
An illumination optical system for irradiating the sample with illumination light emitted from a light source;
The illumination optical system collects the illumination light emitted from the light source, a collector lens that condenses the light beam diameter of the light collected by the collector lens, and the light beam diameter is limited by the field stop A condenser lens that irradiates the sample surface on which the sample is placed with the light,
The microscope apparatus according to claim 1, wherein the following conditional expression is satisfied.
A × β <C (1)
A × β + C <D (2)
here,
A: an illumination range of the illumination light on the sample surface;
β: overall magnification of the microscope device,
C: the distance between the optical axis of the first imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system;
D: full width of the imaging region of the imaging device in a direction perpendicular to the optical axis of the first imaging optical system and the optical axis of the second imaging optical system.
前記第1の結像光学系および前記第2の結像光学系を一組の結像光学系とした複数組の結像光学系を備え、
該複数組の結像光学系は、前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸との距離および/または前記第1の結像光学系の光軸と前記第2の結像光学系の光軸の配置方向が互いに異なり、
前記複数組の結像光学系を切り換えて使用可能である請求項1または請求項2に記載の顕微鏡装置。
A plurality of sets of imaging optical systems in which the first imaging optical system and the second imaging optical system are a set of imaging optical systems;
The plurality of sets of imaging optical systems include a distance between an optical axis of the first imaging optical system and an optical axis of the second imaging optical system and / or an optical axis of the first imaging optical system. And the arrangement direction of the optical axes of the second imaging optical system are different from each other,
The microscope apparatus according to claim 1, wherein the plurality of sets of imaging optical systems can be switched and used.
前記第1の結像光学系と前記第2の結像光学系との間に配置され、前記第1の結像光学系からの光が前記第2の撮像領域に結像されること、および前記第2の結像光学系からの光が前記第1の撮像領域に結像されることを制限する遮光板を備える請求項1または請求項2に記載の顕微鏡装置。   Disposed between the first imaging optical system and the second imaging optical system, and light from the first imaging optical system is imaged on the second imaging region; and The microscope apparatus according to claim 1, further comprising: a light shielding plate that restricts light from the second imaging optical system from being imaged on the first imaging region.
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