전자총
전자총 (electron-gun, e-gun)은 고체내의 전자를 고온 및 강한 전기장에 의해 공간에 방출시키고, 이것을 전기장에 의해 가속시키고, 동시에 전자 렌즈에 의해 전자선 빔의 형태로 수렴시키면서 브라운관 등의 형광체 등에 조사하는 장치.
종류
[편집]열전자 방출형
[편집]열전자 방출형에서는 고체내에서 전자를 공간 내에 방출하는 전자원(電子源, 이미터 또는 음극)을 열 에너지를 이용하여 방출시킨다. 저렴하고 안정적인 전자원을 제공하기 때문에 브라운관 등에 널리 이용되고 있다. 가열에 의하여 아웃 가스의 흡착이 적고, 수명이 길고 안정적인 전자선 방출이 이루어진다.
- 열전자 원으로는 텅스텐과 육붕소 란타늄(LaB6) 등으로 제조되는 필라멘트가 사용된다.
- 열전자 방출을 쉽게하기 위해 쇼트키 효과를 이용한 것이 전자 현미경이나 전자선 리소그래피 등에 이용되고있다.
전계 방출(FE) 형
[편집]전계 방출형(Field Emission)는 강한 전기장에 의해 고체 표면 근방의 전위 장벽을 얇게 하여 양자 역학적 터널 효과를 이용하여 전자를 공간으로 방출시킨다. 미세한 전자원(점 전자 원)을 얻기 쉽고, 높은 전류 밀도를 얻을 수 있으므로, 고분해능 전자 현미경이나 전자선 리소그래피 장치 등에 이용되고 있다.