Getterpumpe er en høyvakuumpumpe der pumpevirkningen oppnås ved hjelp av getter.
getterpumpe
Virkemåte
Som gettermateriale i getterpumpene brukes titan eller molybden som reagerer lett med de fleste gasser unntatt edelgassene. Gettermaterialet varmes opp slik at det fordamper langsomt og slår seg ned igjen på en større flate. Denne flaten blir det aktive pumpeelementet. Pumpevirkningen holdes ved like ved at flaten stadig pådampes nytt getterbelegg.
For større pumpeeffekt brukes en getter-ionepumpe, hvor gassen ioniseres ved at den bombarderes med elektroner. Samtidig holdes getteret på negativ spenning slik at det trekker de positive ionene til seg.
Slutt-trykket som kan oppnås med getterpumper er cirka 10–8 Pascal. For å skåne getteret evakueres først vakuumsystemet med en mekanisk pumpe til et trykk på omkring 1 Pascal. Det blir så lukket slik at det ikke trenger oljedamp fra pumpen inn i systemet, og getteret overtar pumpingen. Hvis det ikke er for store lekkasjer, vil systemet kunne holdes under høyvakuum i flere måneder uten noen ytre pumping.
Kommentarer
Kommentarer til artikkelen blir synlig for alle. Ikke skriv inn sensitive opplysninger, for eksempel helseopplysninger. Fagansvarlig eller redaktør svarer når de kan. Det kan ta tid før du får svar.
Du må være logget inn for å kommentere.