前研發大將林本堅:台積電採浸潤式微影超車英特爾
2021/12/27 15:33
(中央社記者張建中新竹27日電)清大半導體研究學院今天揭牌,台積電前研發副總經理林本堅擔任院長,他透露,英特爾2002年曾組EUV聯盟,台積電無法參加,改採浸潤式微影技術,反而超越英特爾。
專精微影技術的林本堅,今天受訪時提起當年台積電導入浸潤式微影技術的往事。他表示,英特爾大約在2002年就與超微(AMD)及IBM等企業一起成立EUV LLC聯盟,希望共同研發極紫外光(EUV)相關設備,導入60、40奈米製程使用。
林本堅說,當時聯盟共有6家廠商,台積電無法加入,改採浸潤式微影技術,直到5奈米製程才採用EUV技術。除英特爾外,EUV LLC聯盟的其他成員廠商都沒有再持續下去。
對於中芯國際遭美國管制,林本堅表示,中芯雖然無法取得EUV設備,不過中芯目前設備,就可以推進到5奈米製程。
林本堅說,半導體製程技術推進成本越來越高,不一定要微縮,現在有很多方法可以降低成本、效能更好。
清大半導體研究學院與台積電、聯電、力積電及美光等11家企業合作;林本堅表示,也歡迎英特爾加入清大半導體研究學院的合作行列。(編輯:楊蘭軒)1101227
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