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台灣傳感晶圓傳送解方 精準監控提升良率

本文共775字

經濟日報 黃奇鐘

台灣傳感科技公司日前以台灣三菱電機e-F@ctory Alliance合作夥伴身分,參與台北自動化展出,成為展會一大亮點。

台灣傳感科技提供晶圓傳送解決方案。黃奇鐘/攝影
台灣傳感科技提供晶圓傳送解決方案。黃奇鐘/攝影

台灣傳感科技主要聚焦於兩大項目,展現工業自動化領域的專業實力。針對半導體工廠的晶圓傳送解決方案,該方案是由泓偊科技進行軟硬體整合,並已成功應用於多家半導體大廠,採用德國Sensopart的FT 55系列雷射光電傳感器,能對wafer blade在取放片時進行精準的位移量監控,包含垂直軸與橫移軸的精確測量。這套系統搭配三菱的FX 5U PLC及GB2110人機介面,能夠即時處理訊號並進行反饋,成功預防撞片的問題,且有效檢測wafer是否有破片情形,這項應用在展會上吸引眾多半導體業者關注。

另外,三菱機械手臂搭載Sensopart Visor視覺傳感器,與工研院機械所Holon Robotics協同整合的應用。Holon Robotics的圖形化整合介面使機械手臂自動化整合更加便捷,尤其是搭配Sensopart Visor獨有的Target Mark 3D功能時,能實現精準的3D空間定位。這項技術廣泛應用於加工件鑽孔、塗膠、螺絲鎖附等的視覺定位,且是自主移動機器人(AMR)或自動導引車(AGV)在工作站進行精準上下料的理想解決方案。

使用AMR或AGV進行加工件上下料時,常會遇到自走車停車誤差的問題,導致無法在加工機內準確進行上下料操作。Sensopart Visor獨有的Target Mark 3D定位功能,能夠有效解決此問題,不論自走車的停車誤差如何,該系統皆能透過六軸座標進行誤差補償,從而實現精確的上下料操作。半導體業者也表示,這項技術非常適用在半導體廠內的AGV或AMR,應用於各個工作站進行Foup的自動上下料。

台灣傳感科技公司電話(07)732-3606,網址:www.e-sensors.com.tw

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